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文档简介

1、籽晶晶体定向的检测 Detection of seed crystal orientation,检测依据及设备、原理,检测作业指导书,检测数据分析,2,3,4,采样及其样品处理,1,检测报告书,5,采样及其样品处理,一、采样 1、单晶棒 2、单晶片：取头部、中部、尾部各三片，要具有代表性 二、样品处理 1、试样待测面用2842m或2028m金刚砂研磨或喷砂。 2、 对圆片试样，用514m氧化铝或金刚砂研磨上下表面。,检测依据,检测设备,射线晶体定向仪原理： 如果波长为的单色X射线入射到晶体上，要使其能在某晶面产生衍射，使得该晶面的放置位置相对于入射X射线来说满足布喇格方程2dsin=n，对不同

2、结构的晶体和不同的晶面其衍射线出现的方位不同，在与入射线的角度为2的位置上便会出现衍射线，根据衍射线的方位就能确定晶体的取向。 X射线的性质： 感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能力强、X射线的折射率近似等于1、 衍射作用,一台X射线定向仪主要由下几个部份组成： （1）X射线发生部分 （2）X射线检测部分 （3）样品台及转角测量部分,检测作业指导书,1、对晶体要求： 在检测前首先确认被测晶体是否为单晶； 定向前需先判断定向面的大致取向，如无法判定则可先假定一个，逐一实验，直到找到正确晶面； 记住样品假定的方向。 2、实验仪器： X射线定向仪、硅片,3、实验步骤： 用前，开机预热5-10min； 查表，找与之对应的布喇格角； 调节盖革计数管放置在2的位置上； 开x光电源，按下开关，调电压，0.8-1.0A之间； 开气阀，吸上标准石英，拉开x光挡板，调数率旋钮，摇动手轮找到峰值； 换硅片，重复第5步操作； 当计数表达到峰值，记下转角，求水平偏离角，旋180，重复上面步骤，两次测量结果取平均值； 将样品位置复原后，旋转90 后，重复操作，测得两个垂直的偏离角，取平均值 利用 公式，当 时，

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