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文档简介

1、表面粗糙度的检测,0505309 张士强 0505345 杨 旭 0505342 梁桂平 0505315 解光胜,课件综述：,一：引言 二：常用表面粗糙度的测量方法 三： 两 种 典 型 的 测 量 方 法,一：引言,表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌最常用的参数, 它反映的是机械零件表面的微观几何形状误差, 随着机械加工行业的发展表面粗糙度测量技术也得到长足进步, 特别是 70 年代中后期, 随着微电子计算机应用的逐步普及和现代光学技术、激光应用技术的发展, 使粗糙度测量技术在机械加工、光学加工、电子加工等精密加工行业中的地位显得愈发重要。,二：常用表面粗糙度的测量方法,表面粗糙度的测量

2、方法基本上可分为接触式测量和非接触式测量两类: 在接触式测量中主要有比较法、印模法、触针法等; 非接触测量方式中常用的有光切法、实时全息法、散斑法、像散测定法、光外差法、涡流传感器法等。下面就接触式和非接触式两类测量方法分别作介绍与讨论。,比较法: 一般只用于粗糙度评定参数值较大的情况下, 而且容易产生较大的误差。 印模法: 对于某些大型零件的内表面不便使用仪器测量, 可用印模法来间接测量, 但这种方法的测量精度不高且过程繁琐。 触针法: 触针法又称针描法, 它是将一个很尖的触针 (半径可以做到微米量级的金刚石针尖) 垂直安置在被测表面上作横向移动。触针将随着被测表面轮廓形状作垂直起伏运动。将

3、这种微小位移通过电路转换成电信号并加以放大和运算处理。,光切法: 光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法, 它将一束平行光带以一定角度投射与被测表面上,光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状, 解决了工件表面微小峰谷深度的测量问题, 避免了与被测表面的接触。,散斑法：当相干性很好的激光照射光学粗糙表面时，会出现激光散斑。表面粗糙度必须是在照明光波波长同一数量级或略大一些。从任意适当远处的点出发的光波构成了许多相干子波，每一子波都是由表面单元引起的，由表面粗糙度散射的子波不仅具有随机相位，而且具有随机实振幅。带有相位差并且是相干的二次球面子波相遇产生了强度分布的颗粒的斑纹，称为散斑。,三：

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