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1、TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介,Contents,2,减薄的作用,1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性,3,减薄工艺简介,4,封胶,一般在这之前还会进行检查。,涂胶后静置1min。,清除多的UV胶。,UV固化后检查,5,封胶,UV固化,UV灯,涂胶后检查,涂胶,加盖遮光垫,6,原理及方式,单片直立喷洒,瀑布流,多片直立浸泡,原理,1,2,3,4,减薄原理及方式,6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O,液体+固体（玻璃）-液体,7,单片直立喷洒,瀑布流,优点： 1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点： 1.蚀刻表面易产生凹点。,优点： 1.表面最光滑，甚至可以不用抛

2、光,三种方式优缺点,8,Text in here,蚀刻,清洗,减薄,减薄流程,9,10,减薄设备,其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置,11,减薄工艺参数,1.反应时间与玻璃质量损失的关系,图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系,12,减薄工艺参数,2.反应速率与反应温度的关系,图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系,13,减薄工艺参数,3.反应速率与HF酸浓度的关系,图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系,说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的HF键比HF分子中的HF键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。,14,减薄清

3、洗单元（后）,清洗,外观检查,Polishing,外观检查,Reject,研磨,15,16,减薄工艺自身不良,17,减薄工艺自身不良,玻璃本身含有杂质.,1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净,1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）,玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致,工艺设备,玻璃表面,玻璃本身,18,Slimming后划伤,19,Slimming后划伤,Lift Pin 凹点,20,Slimming后划伤,2.Robot吸盘凹点,21,Slimming后划伤,3.轮印,22,造成B-ITO不良,现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性,1.

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