微电子机械技术教学大纲

1、微电子机械技术教学大纲课程编号： MI3321037课程名称：微电子机械技术英文名称： MEMS Technology学时：30学分： 2课程类型：任选课课程性质：专业课适用专业：微电子学先修课程：电子器件基础集成电路设计与集成系统集成电路制造技术开课学期： 6开课院系：微电子学院一、课程的教学目标与任务（黑体小四）目标：通过本课程的学习，使学生了解典型微电子机械系统基本原理，为微电子机械系统的设计和研制提供必要的基础知识。任务：了解微电子机械系统的概念和基本原理，掌握微电子机械系统的基本加工技术与设计方法，熟悉微电子机械系统中微传感器与微执行器等基本机械部件的结构，二、本课程与其它课程的联系

2、和分工微电子机械是半导体技术和机械技术结合的一种新技术，本课程在半导体制造技术的基础上对学生的知识进行扩充。先修课程为半导体物理、半导体器件电子学和集成电路制造技术等。三、课程内容及基本要求（一）概论（ 2 学时）具体内容：微电子机械系统概念，微电子机械系统起源，微电子机械系统的现状。1. 基本要求（ 1） 了解微电子机械的概念（ 2） 了解微电子机械的现状2. 重点、难点重点：微电子机械的概念和应用难点：微电子机械的概念3. 说明：本节内容使学生对微电子机械有一个基本的了解。（二）微机械系统基本原理（4 学时）具体内容：电容效应，压阻效应，静电效应，压电效应，电磁效应，其他效应。1. 基本要

3、求1 / 3（ 1） 掌握微电子机械的基本原理（ 2） 掌握制造微电子机械的各种效应2. 重点、难点重点：各种形成微电子机械的各种效应难点：压阻效应，静电效应，压电效应，电磁效应3. 说明：本节内容使学生对微电子机械原理有一个基本的了解。（三）微细加工技术（6 学时）具体内容：表面加工工艺，体硅加工工艺，LIGA 工艺，键合工艺，封装工艺，特种加工工艺。1. 基本要求（ 1） 了解微电子机械的加工原理和过程（ 2） 掌握制造微电子机械的主要工艺技术2. 重点、难点重点：制造微电子机械的主要工艺技术难点：表明加工，键合工艺，封装工艺3. 说明：本节内容使学生对微电子机械加工制造技术有一个基本的了

4、解。（四）微传感器和微执行器（6 学时）具体内容：物理量传感器，微型化学量传感器，微型生物传感器，静电执行器，压电执行器，电磁执行器，热执行器，其他执行器1. 基本要求（ 1） 了解微传感器和微执行器的基本概念（ 2） 掌握各种微传感器的原理和加工技术（ 3） 掌握各种微执行器的原理和加工技术2. 重点、难点重点：微传感器和微执行器的原理和主要工艺技术难点：微型生物传感器3. 说明：本节内容使学生对微电子机械系统有一个基本的了解（五）微电子机械系统设计技术（4 学时）具体内容：设计的概念与本质，设计内容，设计过程，计算机辅助设计技术，常用设计软件1. 基本要求（ 1） 了解微电子机械系统的设计

5、流程（ 2） 掌握微电子机械设计软件的使用方法2. 重点、难点重点：微电子机械系统的设计流程和主要内容难点：计算机辅助设计技术3. 说明：本节内容使学生对微电子机械系统设计有一个基本的了解（六）典型微电子机械系统及其应用（ 8 学时）具体内容：微加速度计与微陀螺，微型机器人，微分析系统，微型飞行器。微电子机械系统在汽车工业中的应用，在军事中的应用，在医学中的应用，在生物科学中的应用，在信息技术中的应用1. 基本要求2 / 3（ 1） 了解一些典型的微电子机械系统（ 2） 了解微电子机械系统的应用范围及现状2. 重点、难点重点：典型微电子机械系统及其应用难点：典型微电子机械系统3.说明：本节内容使学生对微电子机械系统及其应用有一个基本的了解。四、教学安排及方式总学时 30 学时，讲课28 学时，多种教学形式2 学时。教学环节讲实习讨上小教学时数看 参题论录 观课程内容课验课课机像 或计概论22微机械系统基本原理44微细加工技术516微传感器和微执行器66微电子机械系统设计技术44典型微电子机械系统及其718应用五、考核方式笔试（半开卷）各教学环节占总分的比例: 平时测验及作业：30%，期末考试： 70%六、推荐教材与参考资料教学用书：1.莫锦秋等微机电系统设计与制造 ，化学工业出版社。2004 年 3月。2.苑伟政，马炳和微机械与微细加工技术，西北工业大学出