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文档简介

IX-210 LED激光划片机可以进行高精度、超窄切痕、高速LED划片，能够提高LED厂商加工晶圆的产量，每小时能够加工12片以上2英寸蓝光晶圆。这与传统砂轮切割、金刚刀钻石划片相比，成本节省了20-30倍。产品特点：l 加工产量高达每小时12片以上2英寸蓝光晶圆，器件优质率超过99。l 超窄切痕宽度可达到2.5m，使每片晶圆的芯片产量提高了24 。l 加工质量高：无表面裂痕，无Z形区，无芯片脱落chip-outs。l 可靠性高：激光器免维护，可以每天24小时运行。l 显微观察系统，微加工精度高达2m以内。l 大工作范围：X-Y轴行程范围150x150mm，Z轴行程范围10mm。产品应用：l 应用于高速LED激光划片l 微型钻孔l 喷墨嘴加工l 微流体器件加工l 薄膜图案化l MEMS微机械加工IX-260 LED激光剥离机采用紫外激光器，通过光剥离（Laser Liftoff）的工艺，对材料进行精密加工。采用JPSA专利技术，加工精度可达1100m采用248nm或157nm紫外准分子激光器，输出均匀矩形光斑连续、高速重复的激光脉冲，适合于切削微小、可控制的材料量应用于大尺寸、高亮度、高功率LED生产，

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