第二节表面粗糙度的测量方法

42表面粗糙度的测量方法 主要内容：1、光切法量表面粗糙度2、干涉显微镜测量表面粗糙度 3、触针法测量表面粗糙度 电感轮廓仪激光干涉式轮廓仪压电式轮廓仪重点：光切显微镜的原理和定度任务： 表面粗糙度的 测量测量对象和被测量v 问题 1：工件特点？（大小、轻重、材料）v 问题 2：测哪里的粗糙度？ （内、外表面；平面、柱面、球面、齿面、牙型面）v 问题 3：测量有什么特点？v 问题 4：与长度、角度测量有何不同？测量单位和标准量v 长度单位 -umv 表面粗糙度样板v 光波波长v 电压、电流标准测量方法v 测量方案设计 测量方法 测量仪器 接触形式、定位测量精度v 方法精度v 仪器精度v 影响因素v 改善精度的措施 、表面粗糙度的测量方法概述表面粗糙度反映的是机械零件表面的微观几何形状误差，对表面粗糙度的测量方法很多，主要方法见下表。对表面粗糙度的评价主要分为 定性和定量 两种评定方法。定性评定 是将待测表面和已知表面光洁度级别的标准样板相比较，通过目估或借助于显微镜以判别其级别。定量评定 则是通过一定的测量方法和相应的仪器，测出待测表面的不平度数值。实际工作中，对加工表面粗糙度的评定可归纳为如下四种方式。 与表面粗糙度标准样板比较的方法v 表面粗糙度样板： 按各种加工方法做成的不同几何形 状的一套标准表面样块，用来与被测的表面相比较。 表面粗糙度样板v 测量方法： 目测法： Ra值 2.5-80m的表面 ； 用 5 10倍放大镜比较： Ra值 0.32-2.5m的表面 ； 用比较显微镜： Ra值 0.08-10m的表面 。 触觉比较法：被加工表面 Ra值 0.63-10m。v 注意点： 样板与被测件的加工方法、材料、形状都相同。v 适用范围： 工厂比较常用，尤其是车间检验中常用。一般只用于粗糙度评定参数值较大的情况下，其判断的准确性很大程度上取决于检验人员的经验，当有争议时可用仪器进行测量。在选定截面上直接测量表面微观不平度数值的方法v 普遍采用、定量测量、严格按照定义测、本节重点。v 常用的有光切法、干涉法、触针法等各种测量原理的光学或电学仪器。3印模法测量表面粗糙度v 对于大型零件或零件内表面等不易直接测量的情况下可用此法。v 印模表面的峰谷值总要比被测表面的峰谷值要小些，因而对此结果需加以修正。其修正系数值与所用材料等有关，应由实验来确定。4间接测量方法这类方法是利用被测表面的某种特性来间接评定表面粗糙度的数值。例如：v 气动法： 是利用流经测量头与被测表面间气体流量的大小或其所引起的压力变化来评定表面粗糙度。v 电容法： 是利用测量头与被测表面间形成的电容量大小来评定表面粗糙度。不能直接测出表面参数 Ra或 Rz， 而需进行比对定标，且要配备一些和被测表面几何形状相适应的测量头。v 其他方法： 激光散射法、激光散班法、激光全息法等。二、光切法测量表面粗糙度所谓光切法就是用一狭窄的扁平光束以一定的倾斜角照射到被测表面上，光束在被测表面上发生反射，将表面微观不平度用显微镜放大成象进行观测的方法。图 4-5是光切法的测量原理图。v 若倾斜角取 45 ，则得：h=h/cos45 v 若观测显微物镜的倍数 V，则：N hv 用显微镜测出象的大小 N，即可求出 h值：h=N/(Vcos45) v 测量表面粗糙度峰谷距离的原理与上述相同。图 4-5 光切原理1光切法原理：图 4-6 光切显微镜光路 2测量仪器原理及定度v （ 1）原理 光切显微镜的光路原理如图 4-6所示。用测微目镜量出a、 a 的距离，即可求出峰谷间的高度。 由于物镜分辨率及景深的限制，光切法测量范围一般为： Rz= (80 0.8)m（ 旧国标 3 9）。 式 h=N/(Vcos45) 中有无理数，计算、使用不便，在仪器设计时采用机械方法加以有理化 ，其方法如图 4-7所示。此时：h= a/2V式中 : a 用仪器测微目镜瞄准峰谷象高度 N（图 4-7中十字线位置 I与 II） 时两次读数差值；h 表面粗糙度的某一峰谷高度； V 所选用物镜的放大倍数。 双管显微镜双管显微镜视场图双管显微镜光切显微镜读数v （ 2）定度： 在光切显微镜上，把确定测微目镜的鼓轮上每小格所对应的被测峰谷高度值的过程叫作 “ 定度 ” 。 (h= a/2V) 定度首先是求物镜的放大倍率。求物镜放大倍率的方法是用一个标准刻线尺（通常为专用附件，刻度间隔为0.01mm，共 101条刻线）来测定各个物镜的实际放大率。如图 4-8所示，物镜放大率为：V= 令 C=5/V， 则： h=cn (um)式中， n为测量峰谷高度时两次读数的差值（格数）。显然，上式使用简便。 C值的物理意义就是测微鼓轮一小格所对应的峰谷方向的高度值。 3测量方法测量前，选择相应的物镜（表 4-2）并已知定度值 C。 然后调节显微镜使视场呈现清晰的狭缝象及表面象，且至狭缝象的一个边缘最清晰为止。v （ 1）测量 Rz值 其测量方法应符合定义。 Rz值可按下式计算：Rz=Cv （ 2） 测量 Ry值：Ry=Cv （ 4）测量平均间距 SmSm =2C v （ 3）测量单峰平均间距 S值S= Cv （ 5） 用光切法测量 Ra值因测量与计算都很麻烦，故很少应用 。为什么 C前乘为什么 C前乘 24仪器的测量误差和示值相对误差的检定v （ 1） 测量误差的主要因素有： 瞄准误差、测微目镜制造误差、估读误差、 定度用标准尺误差、被测工件定位误差、仪器使用调整误差等。v （ 2） 仪器示值误差的检定： 根据国家计量检定规程，仅检定其示值相对 误差是否在要求的范围内，测量范围不同（既物镜不同），要求不同。v （ 3）仪器示值相对误差的检定是用受检定的光切显微镜去实测已知其刻线深度的单刻线样板（也可用阶梯量块代替），则该仪器示值的相对误差为 :三、干涉显微镜测量表面粗糙度v干涉显微镜测量原理：联合运用干涉原理和显微放大原理。对测量面垂直高度方向的微观不平度通过光波干涉法进行放大测量，对表面粗糙度的水平参数通过显微放大系统测量。v干涉显微镜 测量范围： Rz =0.8m 0.025m。v6JA干涉显微镜测量光路见图 4-12。干涉显微镜1986年 WYKO公司研制成功的 TOPO非接触微表面测量系统。测量精度达自动完成测量。Mirau干涉仪的改进：R被固定在 PZT上。带有旋转检偏器测相的改进的微分干涉显微镜（清华）垂直分辨率优于 1nm，水平分辨力 0.4mNomarski干涉显微镜及改进图 4-12 干涉显微镜光路 6JA干涉显微镜测量光路见图 4-12。四、 触针法测量表面粗糙度1触针法的测量原理v 触针法又称针描法，它是一种接触式测量方法，是利用仪器的测针与被测表面相接触，并使测针沿其表面轻轻划过以测量表面粗糙度的一种测量法。v 将一个很尖的触针（半径可以做到微米量级的金钢石针尖）垂直安置在被测表面上作横向移动，由于工作表面粗糙不平，