导进实例分享胡德旺精华课件

部 门： 工程部 编辑制定： 核 准： 版 本：A/0 页 数：26页 日 期：2008/05/30 ESD培训教材 旅 找 卧 吃 爱 鹏 殴 改 完 剧 命 溢 如 峦 歪 跨 加 颈 菲 香 旬 袭 敢 栗 汰 恬 吝 氏 牟 印 蹿 辛 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 静电放电(ESD) 简介 u静电放电（ESD）就是不同电位的两个物体之间产生的电 荷快速流动的现象，简而言之即电荷的快速中和 。 u静电电荷会不断积累，直到造成电荷产生的作用停止、电 荷被泄放或者达到足够的强度可以击穿周围物质为止。电 介质被击穿后，静电电荷会很快得到平衡，这种电荷的快 速中和就称为静电放电。 侮 啤 樱 噶 总 岳 枫 农 皆 钨 盅 嫁 域 漱 年 榷 际 可 秩 搬 彰 议 慰 检 熟 嗽 业 靖 瞒 搐 敬 训 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 静电是怎样产生的？ u我们知道所有的物质都由原子构成，原子中有电子和质子 。当物质获得或失去电子时，它将失去电平衡而变成带负 电或正电，正电荷或负电荷在材料表面上积累就会使物体 带上静电。电荷积累通常因材料互相接触分离而产生，也 可由摩擦引起，称为摩擦起电。 u有许多因素会影响电荷的积累，包括接触压力、摩擦系数 和分离速度等。 册 扮 将 钓 脓 寿 试 诱 乞 解 触 惊 箔 芝 畸 煎 泡 台 颊 略 书 半 崎 趋 爸 孟 耶 储 荐 食 旦 茸 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 静电的危害 uESD对半导体元件的损害可能是当今半导体界最 为头痛，也是最重要的一个问题，其造成的破坏 也是不易被觉察的。 u由于静电在很小的电阻上快速泄放电压，泄放电 流会很大，可能超过20安培，如果这种放电通过 集成电路或其他静电敏感元件进行，这么大的电 流将对设计为仅导通微安或毫安级电流的电路造 成严重损害。 网 并 翼 哈 快 崩 敝 沤 扭 板 妙 遗 裴 纹 雍 孔 渡 避 酥 泊 纪 揣 搓 昼 久 诗 搀 橱 册 冒 拆 船 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 靜電危害流程圖 枷 踏 迟 逆 吸 着 范 衅 搀 隅 荔 磨 基 久 跌 咖 幸 夜 嘿 滋 汲 唱 目 瓶 梨 吱 渤 壬 综 苇 巩 琼 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 日常生活中常遇到靜電造成的困擾 日常生活中常遇到靜電造成的困擾（如：尼龍衣服吸附身體 、梳子吸附頭髮、螢光幕吸附灰塵、手摸門把感到電擊等） ，工業界靜電的危害類型為化工製程中設備或產品摩擦產生靜 電，當大量靜電累積產生靜電放電現象時，若周遭為易燃性蒸 氣或粉塵則可能被引燃，造成火災或爆炸等不幸的事故，亦或 電子工業中靜電的放電造成CMOS 積體電路氧化層損壞，產品 良率下降，雖然靜電未放電，但累積在晶圓上的靜電根據布朗 定律也比未帶靜電的晶圓增加250倍的粒子吸附能力，而造成產 品的品質缺陷，有鑑於靜電在化工業與電子工業不同型態之危 害，將分別敘述其危害形成的原因與防制的方法。 蔓 涎 汪 杂 渐 彻 遍 莫 颁 箭 朵 勒 裤 拯 抢 妥 拧 索 呛 挚 拌 疟 吸 骚 筹 振 诚 顽 频 丹 争 闸 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 ESD 影響電子系統的四種基本模 式 uESD 電流直接貫穿系統較弱部份並且造成系統混亂或損害 u藉由靜電電場感應而造成系統混亂 uESD 電流流經系統接地線路影響而造成系統混亂或損害 uESD 發生時產生的高頻電磁場因耦合而造成系統混亂 蹈 刃 赠 竿 敞 邢 戳 已 吾 陇 敞 啄 链 绥 丁 圈 询 难 席 瞬 腔 唱 柯 氛 炊 蹲 操 咋 捍 测 雇 吉 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 ESD 引起的失效模式 u直接損壞線路元件並使線路故障失去功能 u消弱線路元件功能並在一段時間後失去功能 (潛在失效) u此種潛在失效不可見亦無法於功能測試中顯現 出來 络 甥 辛 疼 盎 领 罪 皑 碍 渗 绚 追 柑 关 除 斋 铸 奢 痰 完 脑 脐 懂 材 俘 双 雅 菏 纹 温 抄 牛 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 為什麼要作ESD 控制? u避免灰塵吸附 u減低元件被破壞 u減少產品失效或運作不穩定 u避免人員受傷 u預防火災或爆炸發生 u每年因靜電不當釋放所造成損失高達數十億美金以上 践 众 羹 瘸 讨 佰 丈 韶 伺 崔 验 咨 泛 朴 量 嚼 滑 憨 拖 竿 养 范 卷 不 休 粘 宏 窃 窒 砾 困 闻 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 如何做好ESD控制 1. 設立ESD小組與聯絡人 2. 確定損失程度 3. 評估設備，製程與需求 4. 確認ESD敏感元件 5. 建立評審制度 6. 獲取高階管理的支持 7. ESD控制步驟與規範 8. 人員訓練 9. 審視，監督，分析，報告，回饋，改善 惯 届 墩 掖 盾 絮 畦 茨 讣 碗 楷 逞 配 捣 不 辫 俄 邹 梅 倒 襄 臂 肘 撞 郡 汰 禁 撰 琼 簧 累 吊 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 常用静电使用设备 uElectrostatic Voltmeters/fieldmeters : 静电表 uDigital OHM Meter : 数字欧姆表 uAir Ionizer : 离子风扇 uWrist strap or Foot Strap (Optional) : 静电手环或脚环 uConductive Bag 此時每一電源插座建議需有漏電斷路器(GFCI). 3.當使用不銹鋼工作桌面處理材料時,必需在其上覆蓋一層已接地的靜電傳 導性桌面或其桌面電阻要符合靜電傳導性桌面電阻的要求,10E5到10E9 ohms. 讹 薯 颇 橇 持 压 怖 参 脂 艰 励 炼 剐 幸 肤 辈 沃 眼 叛 冰 议 庶 身 淆 逼 窥 描 状 渴 钎 僻 荡 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 u靜電接地 1. 靜電接地應使用設備接地或大地接地. 設備接地是電源插中的電氣接 地 (綠)線它需經過測試.當兩種接地方式於同一靜電防護工作站均 被採用時,在接地系統上它們必須被連結在一起. 2. 每個靜電工作站必須個別的連結到靜電接地. 當一個靜電工作站上 有很多靜電工作面時則每一個靜電工作面需個別的接到靜電接地點.接 地線也不可串接, 為的是防止增加衰減時間, 並防止同時斷路的發生. 3.電性測試設備上的任何絕緣物若會接觸到或靠近半導體材料12 英吋 （30厘米）以內時應以抗靜電或靜電傳導物取代之.如果不可能的話,則 該絕緣物必須用抗靜電溶液處理過. 此外,測試機臺上的金屬零件部份 若會接觸到半導材料時則該金屬部份無論何時均要接地.是非常重要的, 可以避免高敏感的半導體材料因靜電而受損傷 4. 設備接地導線的阻抗需小於 1 歐姆. Note: 鱷魚夾頭禁止使用. 霓 眯 氖 账 陈 暂 禾 侨 填 渺 锚 獭 勤 釜 正 侩 商 慢 蓟 泌 馒 椰 依 狰 野 芥 橇 倘 窒 怎 葛 墨 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 u手套/手指套 1.當需要用手套或手指套時, 只有棉手套,抗靜電/導電手套或抗靜電/ 導電手指套可用來處理靜電敏感材料. 2. 處理靜電敏感材料時,可只用手套,手指套或手套加上手指套. u儲存地區 1.若儲物架不是一個靜電防護區域或工作站, 則靜電敏感材料必須置於 靜電防護包裝物中. 2. 裝載材料成品的推車必須要有接地鍊條, 其長度要能夠完全與地面 接觸, 並保持乾淨整潔, 若不潔淨則必需更換之. 撰 办 百 词 津 秸 棺 豆 始 归 受 富 危 鳖 咀 口 梨 垫 籍 愿 掺 垮 爱 赌 睫 棍 擎 铝 枣 颤 苹 查 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 u可移動的設備 可移動的設備(例如:車子,椅子,桌子)在使用時若接近未 受保護的靜電敏感材料 12 英吋（30厘米）以內不得產生大於 +/-200(TCP100V) 伏特之靜電壓. u低靜電的方法 1. 相對濕度的控制 相對濕度對靜電產生有很大的影響如有能力最好要加以控 制. 註 : 建議最小的濕度為 40% R.H. 2. 訓練 每一區域的主管必須確定其操作靜電敏感材料的人員,須 受過 ESD的訓練. 註:進入靜電防護區域之人員必須受過靜電認知訓練. 洛 敌 寥 昭 尽 涕 雇 黑 疫 娩 轿 班 混 阎 锄 碎 雄 夯 斑 征 啼 咆 贬 瓷 率 傣 下 笼 烫 观 敲 寥 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 廠內其他靜電防護措施介紹 导电地板： 為確實消除靜電對電子產品造成的危害，工廠區全面舖設導電型 PVC地毯；廠區工作人員穿導電衣導電鞋等。 門禁管制 為有效維持導電PVC地磚之導電性，除廠區工作人員全副抗靜電打 擊裝備，所有進入廠區人員（含外賓）均需穿著導電衣導電鞋（或導電 鞋套）。因此廠區入口處均設有門禁管制憑指定識別碼刷卡入廠，外賓 或無法刷卡人員則由專人陪同在入口處換穿導電衣及導電鞋套後引導入 廠參觀。 铅 丸 稳 育 锻 斑 乘 骑 网 眩 器 来 序 赤 肘 寻 黔 滨 执 咙 垫 煮 挚 爱 菏 宋 溪 洁 裳 睁 嫉 疤 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 原物料管制(仓储&SMT) 電阻類- 電容類- 電感類- 绅 雏 擂 矣 鸟 宇 赵 合 漾 姥 奥 肯 忻 核 貉 束 绦 躬 功 唾 钱 左 感 酞 核 裁 邢 粱 伦 顶 廊 积 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 附录1：ESD 各項設施、材料之Resistance List 跟 词 集 龟 疙 镇 克 杭 莎 缝 禄 炊 阐 蛇 葬 钒 引 毯 炕 汐 富 二 谱 寓 捡 扛 雇 坯 洋 苛 淖 佑 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 附录1：ESD 各項設施、材料之Resistance List 乳 芭 汀 用 晶 潜 惮 饰 槽 兢 基 掌 码 裂 铀 溶 扣 筷 蒲 唤 郑 园 勇 香 个 霍 革 灌 奄 争 颇 悯 E S D 培 训 教 材 E S D 培 训 教 材 石棉 兔毛 醋酸纖維 玻璃 雲母 頭髮 耐龍 羊毛 獸毛 鉛 蟬絲 鋁 紙 棉 鋼 木 琥珀 蠟 橡膠 密拉(聚 酯膜) 鎳 銅 銀 抗紫外 線材 黃銅 金/白金 硫 醋酸嫘 瑩 賽路璐 奧龍 亞克力 賽侖 聚氨酯 聚酯 聚乙烯 聚丙烯 聚氯乙 烯 KELF 矽 鐵弗龍 矽橡膠 附录2：磨擦靜電序列 趋 沁 居 低 悠 链 锨 批 骏 制 纸 佰 匀 嘿 佯 罕 然 馁 亡 阵 俏 愤 纹 守 奠 尾 烦 鸭 渣 旺 河 嗓 E S D