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电池背场黄斑片分析处理 潞安太阳能电池分厂 电池片黄斑区域 黄斑区域 黄斑区域 设备工艺气体溢流区域 数据分析 双轨同时走片时黄斑比例10%,单轨走片或者间断走片黄 斑比例减少 在8线使用儒兴25U3铝浆,试走20片,其中有一片背场发 黄片,使用单晶线硕禾铝浆,试走20片,未发现背场发黄 片,怀疑目前使用的铝浆容易造成电池背场发黄。 经过计算,目前所用铝浆在现有浆重下单片在炉腔内挥发 的有机溶剂为0.296g,生产4000片后,有机废油收集量 为1353.80-478.30=875.5g ,而实际产生有机溶剂 4000*0.296=1184g,溢流量为1-875.5/1184*100%= 26%。 HTO烘干区抽排示意图 压差传感器 B112、B113 废气流量传感 器B102 工艺气体流动方向 冷凝器:冷凝有机溶 剂并收集 冷凝器过滤网 造成黄斑的原因 铝浆中的有机溶剂冷凝后附着在硅片上 而造成有机溶剂残留的原因有两个: 1.浆料本身有机溶剂没有完全挥发 2.挥发出的有机溶剂没有被抽排干净 造成设备工艺气体溢流的原因 炉腔内与外界环境负压太小导致工艺气体溢出 工艺气体 溢流处 文丘里系统: 带出工艺气体 工艺气体补充 处理措施 提高烘干炉温度,使有机溶剂充分挥发 加强有机溶剂抽排能力 1.清理抽排系统 2.增加外围抽风 3.优化工艺气体补偿,保持炉腔气压稳定 优化烘干炉工艺 3月16日烘干炉温度设定 优化烘干炉工艺 3月16日烘干炉温度设定 4月1日调整后结果 1.烘干炉温度提升50-80; 2.热风补偿由140上升到 170; 3.消除烘干炉温度上升对 Rs的影响,对FF1、2区温 度微调。 1 2 3 调整前后温度曲线 调整后,烘干炉电池片峰值温度由280度上升到330度 加强有机溶剂抽排能力 主要工作有以下几个方面; 1.动力车间提高有机排风风机频率; 2.电池分厂清理HTO冷凝器过滤网(拆借10线)、清 理FF文丘里系统、检查炉腔内部情况; 3.电池分厂对FF烧结区工艺气体补偿和冷却区风扇转 速进行调整,确保炉腔内负压状态。 调整结果 1.B102、B112、 B113大幅度提升 ,其中102由340 上升到400以上, 112、113压差达到 27Pa以上; 2.炉腔工艺气体 补偿优化; 1 2 冷却风扇转速设定 后续措施 经过调整,黄斑比例大幅度
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