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ESD的意義及防護簡介 DMD- QA 李錦光 序序 言言 (ELECTROSTATIC DISCHARGE) “靜電放電” 已被認為是造成對靜電放電 敏感電子零件的失效、劣化、潛在失效的主要 凶手,而導致戰艦、飛機、發射和導引系統、電 子和資訊設備出現故障,使得如此昂貴的設備變 得毫無可靠度可言。 目目 錄錄 一.靜電系列概念及產生原理 二.靜電對電子工業的危害 三.靜電控制原理 四.靜電標示及其意義 五.如何建立抗靜電的工作站 六.生產現場靜電防護須知 静电的概念 靜電是物體表面過剩或不足的靜止電荷 1、静電是一种電能,它留存物体表面;静 電是正電荷和负電荷在局部范围内失去平衡 的结果;静電是通过電子或离子转移而形成 的。 2、静電现象是電荷的产生 和消失的过程中产生的電现 象的总称。 靜電產生的原理 電子圍繞原子核運動,一有外力即脫離軌道,離開 原來的原子而侵入其他的原子 A原子因缺少電子數而帶有正電現象, 稱為陽離子。 B原子因增加電子數而帶有負電現象, 稱為陰離子。 外力包含各种能量, 如動能,位能,熱能,化學能,電磁能等. 靜 電 識 知 靜電的概念 靜電是電荷的產生與消失過程中產生的 電電 現現 象象 的 總 稱 特特 點點 高電位 低電量 小電流 作用時間短 復現性差 瞬間現象多 受濕度影響較大 1. 接触起電 當兩個不同的物體相互接触時就會使得其中一個物體 失去一些電荷带正电,而另一个体得到一些剩余电子的物 体而带负电。若在分离的过程中电荷难以中和,电荷就会 积累使物体带上静电。 A. 剥离塑料薄膜时就是一种典型的“接触分离”起 电B. 脱衣服产生的静电也是“接触分离”起电。 C. 摩擦起电是一种接触又分离的造成正负电荷不平 衡的过程。实质上是接触分离起电。 例 当带電物体接近不带電物体时会在不带電的导体的两 端分别感应出负電和正電 2. 感應起電 A B C 3. 热電和压電起電、喷射起電等 气体, 液体的流動與噴射 靜 電 識 知 靜電產生的物理過程 接 觸 電荷轉移 偶電層形成 電荷分離 靜電 產生的方式 接 觸 摩 擦 沖 流 冷 凍 電 解 壓 電 溫 差 . 靜電產生 在各種SMT生產現場易產生的靜電壓值 靜 電 識 知 靜電產生的物理效應 力學效應(靜電吸附) 放電效應(ESD) 放電感應效應(靜電感應) 何謂靜電放電(ESD): Electro-Static Discharge 由不同靜電電位的物體因直接接觸或因靜電場 的感應而導致物體間電荷的移動;靜電放電的快速電 荷移動會產生很大的瞬間電流. 強的電場和電磁輻射等,它們如通過或接近電子 零件時,便會加以破壞. 通常,放電是電荷迅速流動,在一靜電放電過程 中,電荷的迅速流動會引起很大的瞬間電流,強烈的 電場和電磁輻射。當放電通過或接近電子零件時,會 損毀電子零件。 靜電放電敏感項目(ESDS): 對15.000伏特以下的靜電放電敏感的電氣和電 子零件及裝配品和設備;CMOS,NMOS,JFET和其 他低功率零件對靜電入電最敏感 具有限制靜電放電電壓低於靜電放電敏感零件 的敏感水準的靜電放電保護材料和設備的區域 靜電防電保護區(ESD PROTECTED AREA): 局部處理(TOPICAL INTESTATE): 加在一絕緣材料的表面以降低其摩擦生電的能力 的一種化學劑 在一局部的表面上利用對空氣分子充電形成正.負 離子來消耗靜電電荷的設備 游離器(IONIZER) 電場屏蔽(FIELD SHIELDING): 利用傳導容器當做靜電和電磁線的障礙物,使被包 裝的東西不會感覺到容器表面的電荷 硬接地(HARD GROUND): 將一金屬棒或金屬板埋入地下,使其接地電阻在 1.0以內 軟接地(SOFT GROUND) 藉由一電阻(一般為1M)來限制從可評估的電壓源 而來的電流在5mA以下,來隔離一硬接地的任何點. 等位結合,分路 (EQUIPOTENTIAL BONDING,SHUNTING): 一零件或裝配品的零件腳和端子連接在一起后, 通過一低阻抗, 可大大地降低靜電放電的損害 高傳導材料(BULK CONDUCTIVE MATERIAL): 在熱塑性樹脂或其它一般性的絕緣材料內加入 一傳導物質或金屬(一般是碳膜)以降低電阻系數在 傳導范圍內 抗靜電材料(ANTISTATIC MATERIAL): 在一熱塑性樹脂或其它一般性的絕緣材料內加入 一抗靜電物質使它有抗拒摩擦生電的電荷和降低電 阻系數在抗靜電范圍內 由靜電作用對各類SMD的擊穿電壓 靜電對電子工業的危害形式 1、靜電吸附 2、靜電放電引起的器件擊穿 3、靜電感應 4、靜電放電時產生的電磁脈沖 硬擊穿:一次性造成芯片介質擊穿, 燒毀等永 久性失效。 軟擊穿:造成器件的性能劣化或參數指標下降 而成為隱患。 電磁脈沖導致電路出現錯誤, 設備 誤動作。 靜 電 識 知 靜電對半導體元件的不良影響(一) 靜 吸 附 電 靜電 粒子 塵埃 粒子 靜電吸附使 IC等半導體 制程良率受 到影響,同時 為了防止靜 電吸附工廠 對於制程空 氣的潔淨投 入極大成本 靜 電 識 知 靜電對半導體元件的不良影響(二) 靜電放電(ESD)引起器件擊穿 接觸-分離,摩擦,感應致人體 /設備等產生並釋放靜電荷 芯片局部被形成硬擊穿或軟擊穿 靜 電 識 知 靜電對半導體元件的不良影響(三) 靜電感應之靜電源使半導體蕊線,工具 ,包裝容器等產生較高靜電壓,會對半 導體蕊片介質放電 芯片局部被形成硬擊穿或軟擊穿 容器等上感應靜 電形成靜電壓,電 靜 電 識 知 靜電對半導體元件的不良影響(四) 1 0 1 0 靜電放電時產生 的電磁脈沖信號 計算機正常工 作時電平信號 受幹攏后計算機 產生翻轉信號 靜電放電時產生的電磁脈沖 可使計算機產生誤動作, 強能量脈沖,可使靜電敏感器件破壞 電子產品生產中的典型靜電源 地板 工作面 主要設備 清潔室 原材料 生產輔助物 包裝材料 身體 衣服 程序 牆壁 天花板 光源固定器 通風架 靜 電 識 知 電子廠典型靜電源 電子裝配生產中的靜電源(1) 工作服工作服: 同外物摩擦可產生6000V以上的靜電電壓並使人體電, 從而通過人體放電使器件電介質擊穿. 工作鞋工作鞋: 達1013 OHM以上的一般工作鞋同地面摩擦產生的靜 電傳致人體及衣服,使人體靜電不能快速泄漏從而對元 器件產生不良影響. 樹脂、浸漆封裝表面樹脂、浸漆封裝表面:該類物件包裝后,於運輸過程中同外物摩 擦,在其表面可產生幾百伏以上的靜電電壓,造成器件產 生不良影響. 靜 電 識 知 電子廠典型靜電源 電子裝配生產中的靜電源(2) 各種包裝容器各種包裝容器: 用PE、PP 、PS 、PVC 、PUR等高分子材料制備 備的包裝及元件盒其摩擦靜電壓可達1.53.5 KV. 終端台、工作台終端台、工作台: : 表面摩擦靜電,可對放置其上的電子器件放電. 各種絕緣地面各種絕緣地面: : 易產生摩擦靜電,同時也不利於靜電泄漏. 溫箱溫箱: : 熱循環空氣同箱體摩擦產生靜電,對器件熱烘處理不利. 空氣壓縮機空氣壓縮機: : 空氣的劇列流動或介質與噴嘴摩擦產生靜電可損壞 電子器件. 某些電子生產設備某些電子生產設備: : 焊烙鐵,波峰焊機等某些元件裝配設備可因 其本身的電流/電壓變化感應靜電電壓而損壞電子器件. 靜 電 識 知 電子廠典型靜電源 人體靜電源 步 行 起 電 摩 擦 起 電 靜 電 感 應 起 電 人體靜電 產生原因 人體對地的電阻 不同布料制成的服裝和濕度關系 人體電容 影響人體 帶電因素 靜電控制原理 一、靜電泄漏和耗散 1、防靜電材料 2、泄漏與接地-軟接地 硬接地 二、靜電中和 將正負離子與靜電源上的正負電荷中和, 從而消 除靜電源上積累的靜電 離子風扇, 靜電刷, 抗靜電劑 三、静电屏蔽与接地 四、增湿 對ESD敏感的符號,用來表示該物 体對ESD引起的傷害十分敏感 對ESD防護的符號,用來表示該物 体經過專門設計具有靜電防護能力 不僅表示靜電場, 同時也包括電 磁場,磁場. 不是專門針對ESD的 閃電符號的標准含義是指電 力供電的高壓對人体有危險 不應該用此符號于ESD 理想的防靜電工作台 可接受的防靜電工作台 一工作站的表面或桌面完全不需要是傳導的,只要它 不產生傷害性的靜電電荷即可. A.桌墊: 在此工作站的工作人員的皮膚一定要接地,而腕帶( 靜電手環)是最安全,最方便,最易監督和最便宜的方法.腕 帶不是只接到桌面而已,而是接到桌面后再由桌面接到大 地.桌面的接地,是連在腕帶連接到大地接地的同一點.腕 帶一定要有最少250K的電阻才能排除電擊的可能. B.接地: C.腕帶: 珠鏈式腕帶附件手鐲式腕帶FRED腕帶 D.抗靜電包裝材料 1-1.生產場地防靜電規定 f.使用三相五線制供電,其大地線可以作為防靜電地線; a.禁止直接使用木質地板或鋪設毛.麻.化縴地毯; b.可選用防靜電活動地板或在普通地面上鋪設防靜電地 墊,並有效地接地; c.允許使用經特殊處理的水磨石地面; d.防靜電系統必須有獨立可靠的接地裝置,接地電阻一般 小于10; e.防靜電地線不得接在電源零線上,不得與防雷地線共用; g.接地主干線截面積應不小於100mm2,支干線截面積不 小于6mm2,設備與工作台的接地線應采用截面積不小于 1.25mm2的多股塑料導線; h.接地主干線的連接方式應采用縴焊; i. 設備的防靜電連接端應保証接觸可靠,易裝拆,允許使 用各種夾式連接器; j. 天花板材料應選用抗靜電型材料制品,一般可使用石膏 板制品,禁止使用塑料制品; 1-2.生產場地防靜電規定 k.生產場所的牆面可使用抗靜電牆紙,一般右使用石 灰涂料牆面,禁止使用普通牆紙和塑料牆紙; l. 生產場所的環境相對濕度以不低于50%為宜; m.在不對產品造成有害情況下,允許使用增濕設備,以 增加溫度; n.防靜電工作區的進口處,應設明顯標記,警示標記要 符合國家標准;進口處應配置離子化空氣風浴裝置 1-3.生產場地防靜電規定 a. 靜電安全工作台:由工作台.防靜電桌墊.腕帶接頭和接 大地線等組成; b. 防靜電桌墊上應有兩個以上的腕帶接頭; c. 靜電安全工作台上不允許堆放塑料盒等易產生靜電的雜 物,圖紙資料應放入防靜電文件袋內; d. 防靜電腕帶:直接接觸靜電敏感器件的人員均須帶防靜 電腕帶,腕帶與人體皮膚有良好接觸,腕帶系統對電阻值 應在106-108范圍內; 2-1.生產場地防靜電設施 e. 防靜電容器:生產場所的元件承料袋,周轉箱,PCB料架 等應具備靜電防護作用,不允許使用金屬和普通容器, 周轉箱等必須接地; f. 防靜電工作服:進入靜電工作區的人員和接觸SMD的人 員均應穿防靜電工作服,工作服面料應符合國家標准; g. 在相對濕度大于50%環境中,防靜電工作服允許范圍選 用純棉制品; 2-2.生產場地防靜電設施 h. 進入工作區的人員必段穿防靜電工作鞋,防靜電工作鞋 應符合國家標准,穿普通鞋者應使用導電鞋束或腳跟帶; i. 生產線上用的傳送帶和傳動軸,應裝有防靜電接地的電 刷和支杆; j. 對傳送帶表面可使用離子風靜電消除器; k. 生產場所使用的組裝夾具,檢測夾具,焊接工具,儀器等 都應設制良好的接地線. 2-3.生產場地防靜電設施 防静电用品 一、人体静电防护系统 二、防静电地坪 三、防静电操作系统 四、特殊用品 一、人体静电防护系统 防静电用品 静电手环 1、必须与皮肤接触 2、每天进行点检 3、工作时必须接地 静电服 静电鞋、袜、手套、帽 二、防静电地坪 防静电用品 1、防静电橡胶板地面 2、防静电塑

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