LD-10单梁桥式起重机总体及主梁设计（全套含CAD图纸）
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毕业设计（论文）外文资料翻译 学院： 机械工程学院 专业： 机械电子工程 班级： 姓名： 学号： 外文出处： J ()， 2011， 16 (4) ： 436 440 指导教师评语： 签字： 年 月 日 刀具序列基于通过 化的机器人控制的三种逻辑模式的优化 文摘 :集群工具有短周期 ,发展过程快 ,和少污染物收益高的优势。双臂集群工具在半导体生产过程中是一个复杂的物流生产过程 用有效的计算方式并保证要求的质量来生成一种优化序列是提高车间的生产用以提高半导体制造业的生产率的重要因素。皮特里网建模介绍了三种逻辑模式的最小完工时间，并通过比较三种逻辑模式选出了较好的逻辑模式。刀具序 列优化问题是基于皮特网制定优化的变迁序列然后通过标准商业软件 特殊的方法对于线性转换是非常突出的。实际生产和问题的规模造成有限的时间要求，特殊方法对于效率优化的应用取决于问题的特点。数值试验通过一个最先进的半导体企业支持，计算结果表明，与传统人工序列相比有重大改进。 0 简介 随着工艺技术的进步半导体工厂的资本投资已经发展到 30随着半导体产业的迁移为了更大的晶圆尺寸和更小的器件尺寸集群工具的刀具序列优化变得越来越重要。为了提高半导体制造的 生产孤立的制造系统的集成环境由过程，运输和暗盒模式连接在一起，物理气相沉积（ 供了更精确的控制，例如均匀的膜厚度和更好的晶体结构。这是非常有用的尤其是在化合物半导体和薄膜沉积方面，广泛应用于超大规模集成电路。在 冲室和传送室是主要运输设备。他们是负责移 动晶片从 一个房间到另一个室。机器人的运动序列是一个复杂的过程。有效使用集群工具对于竞争晶圆业务的生产很重要。在本文中，提出了关于刀具序列问题的描述，这些问题的制定被提出来并且一些特殊方法在将非线性约束转化为线性约束上非常 突出。在基于分支切割算法的技术和理论的数学公式的分析后，有效的搜索效率，适当的时间单位和合适的解决方案的差距被选择并适当的管理为了稀疏矩阵来减少 1 问题描述 统简介 个室集群工具与两个双臂机器人。每一个双臂机器人处理室执行一个独立的过程并且无室冗余。处理室保持晶片为了能让机器人拾取；存储位置只有明确负载锁。最后，该模型假设任何两室之间的运输时间是常数并且机器人的挑选时间被省略。当一个装 25 晶片的圆盒被机器人装载时，卸载晶片的机器人装载并移动它 到对齐。视觉系统的对准检查晶片对准并调整在机器人臂将晶片保持位置。经过卸载晶圆对齐，它被移动和装载进 。完成这一过程后，晶片被缓冲溶液室机器人运输，并发送到实习生地方在最短时间内。实习的地方有两个时间位置的晶片，一个是从室 到室 ，另一种是相反的路线。然后传送室从实习生地方移动晶圆，再发送到晶片室C 或 D。根据完工时间的优化决策，传送室送出腔室 C 或 D 中的晶片到室 A 或 B，最后到晶片室 在此过程中 ,每片晶圆必须在序列中从室 ， ， ，最后室 圆从室 ，以实习生的运动，而其他人将通过转移室使用运输 . 个逻辑模式简介 推模式是从原来的材料要求规划 ,这是一个翻译的基本过程生产进度为最终产品的一组时间对于所有的子组件的基于需求和需要部分进行了一系列成品。拉模式是从原来刚刚在时间，其目的是在正确的时间交付产品适量。我们的目标是减少工作过程中的库存降到最低。与推相比拉模式，没有约束模式是指有没有限制的群集工具的操作。在这种模式中，目标函数是让 25传入晶圆用最少的时间来完成他们的过程。那里对于双臂机器人无特殊规定。 2 数学公式 基于皮里 特网，刀具序列优化问题制剂可以被改变成下面的基于所述的皮里特网数学公式。皮里特网被定义的 P = (.， 一个有限组可表示进程或资源。一个地方是输入（输出）处的过渡的，如果有一个向弧连接这个地方（转换）到转换（地方）。初始标识被表示为 0， 1， 2， 。 牌流式约束 约束描述的令牌数在每一个地方是等于原始的令牌数减去传出令牌加上传入令牌。对于一般的皮里特网，柱阵列的 令牌在每个地方数量。 +代表输出和输入矩阵为设计皮里特网。并 示时间的过渡发射顺序。假设转 换时间是 1 次单位；令牌流方程是 1，作为皮里特网在生产的 时间的过渡和零时间转换。时间转变描述的 集工具的实际操作和零时间转换描述了用于不同模式的逻辑运算。因为有连接三个零转换时间没有任何时间转换中断序列描述的基础上 学公式表示为：随着时间的过渡， 1没有时间的过渡， M， CM k。 发条件 约束描述每个过渡可以是发射时，所有相关的输入地都有记号。基于令牌流方程，数发射条件限制应该对应瓷砖令牌流方程，所以烧成条件约束是 0 M k 0M C ， 0M C 。 期操作约束 这种约束描述了交换操作的根据所构造的 图 2 所示， 表零时间推控制过渡 1 和一键控制 2，分别： w 表示传入的总和标记（晶片）中的计数；如果 w 是小于或等于 2，晶圆会去 换器，否则该晶圆将进入 期操作被表 示为 10c 1 ）（。 如图 2 交换操 作数学数学公式说明 工时间目标 根据要求，从实际生产，数学数学公式要求完工时间 大于或等于最后的晶片在去年开始的时间过程加上中的最后一道工序加工时间： _.m a 在最 后的第 。例如，有四发射序列中的一个小例子； 们需要记录最后一次操作的价值，标志着它作为整个过程的完成时间，如图 3所示。 如图 3所示，基于皮里特网的时间变换 3 码效率优化 解决刀具序列优化效率一般取决于通过使用 原因是对于某些问题的连续的边界放松可能不紧张，并产生有效的削减收紧的边界以获得凸包，至少周围的最佳解决方案也可能是困难。因此有大 量的分支操作，从而导致效率低下。也许，进度在计算机技术和高效设计算法及其实现与数学提前铅在某些情况下，以满意的解决方案， 而不幸的是，纯问题制定 0 分钟或更少。本文重点介绍了一些模型的改进和基于分支的方法中，切一些变化。所有这些方法都可以帮助计算机以降低 些技术主要是基于的多面体优化技术。我们提高该 过有效的不平等或削减和放松做一些预处理导致系数降低和固定或可变的以琳萌发的。 数降低和微量定义的变量 为了 减小 往往是有益的采取仔细看看该工具序列的结构问题优化问题。其中令牌流的代码方程，不是每个过渡由双方表示时间过渡和零时过渡。我们基于删除不必要的变量和系数准时过渡和零时间跃迁的定义。有关触发条件的限制也将以下令牌流动方程的变化来大幅减少。 整周期启发式 定期启发式决定多久应用定期启发式。我们的周期值设置为转向周期性启发式。周期值设置为 0，则默认情况下，应用周期性启发式在自动选择的时间间隔。 时间价值为正数的应用，在启发式请求节点间隔。我们设置 发式从 0 到 50 的频率。经过 算时间大大缩短。 低矩阵计算的尺寸 该 图 4 所示。将计算规模急剧增加之后的涨幅矩阵。因为该稀疏矩阵对输入矩阵的和输出矩阵，该 在矩阵计算的“专家”，作为用于常，有一半的时间会在准备花时间。根据字符稀疏矩阵，我们需要手动计算来在 可以有效地减少 图 4所示。例子是测试中的下一个部分来说明。 4 数值结果 于推 /拉模式 在本实施例中，为了减少计算时间并确保物理逻辑原例子，时间单 位被设定为 5秒和过渡时间是从 5 7 48 2 7 0 50 2 7 0变更为 1 2 10 1 2 0 10 1 2 0。相关的结果示于实施例在图 5和表 1分别。 表 1 相关成果的基础上推动模式上面的例子 时间单位 /s 晶圆数量 约束 变量 果 运行时间 / 15 98342 82343 51 42 与结果的效率调整前推模式相比， 率调谐表 2所示。基于该 制和决策变量的数量减少，从而导致 表 2 推模式为例效率调整后的结果 时间单位 /s 晶圆数量 约束 变量 果 运行时间 / 15 29345 24564 51 58 于无约束模式 在这个例子中，时间索引被设置为 5 和 25 秒。这种方法可以减少计算时间，并确保物理逻辑的没有任何约束原始的例子，其结果示于表 3 相比于与结果示于表 3， 间被减小效率调谐后，如表 4所示。 表 3 效率调整前 时间单位 /s 晶圆数量 约束 变量 果 运行时间 / 15 36786 29712 120 33 25 15 72341 64523 251 240 表 4 效率调整后的 时间单位 /s 晶圆数量 约束 变量 果 运行时间 / 15 23432 8933 120 1 25 15 37342 28213 251 9 5 结论 在本文中，混合时间皮里特网造型建议为刀具序列问题。我们使用数学方法来把所有的约束转化为线性的制定和通过执行 果表明，该方法可以在计算上高效的方式获得更好的优化结果，可以有效地提高生产。这个问题的数据是原来从一个最先进的半导体企业，并且这种方法有助于调度以实现高 效率和高品质的生产的目的。 参考文献 1 克里斯托夫 0/1D，海德堡：海德堡电气工程系大学， 1997。 2 炫洙 C，销毁垂直整合的神话在日本电子业重组在半导体制造设备行业尝试 J，杂志区域研究， 1997,31（ 1）： 25 3 斯里尼瓦桑 模和性能分析使用皮里特网集群工具 J,易在半导体制造，1998,11（ 3）： 394 4 钲 M D,蚀刻区域中的 模，定性分析，和性能评估 J,晶圆制造系统制造， 1998年， 11（ 3）： 394 5 钲 M D，建模与分析与退化半导体制造系统使用皮里特网和虹吸管行为 J，机器人与自动化 2001,17（ 5）： 576 6 新 Y H，李 T E，金 J H 等，建模和实现实时调度的双重武装集群工具 J,计算在工业， 2001,45（ 1）： 13 7 文卡塔斯 S,达文波特 群工具稳态通量分析：双刀和单刀机器人 J,在半导体制造， 1997 年， 10（ 1）： 418 8 雄 G，尼伯格 T R，推 /
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