单晶工艺--热场安装ppt课件.ppt

单晶工艺,-热场安装编制：-审核：-,1,单晶炉操作工艺流程,1、单晶炉操作工艺流程作业准备热态检漏取单晶和籽晶石墨件取出冷却真空过滤器清洗真空泵油检查更换石墨件清洗单晶炉室清洗石墨件安装石英坩埚安装硅料安装籽晶安装抽空、检漏充氩气、升功率、熔料引晶、缩颈、放肩、转肩等径生长收尾降功率、停炉冷却,2,I石墨件安装,a.石墨大件安装（1次/4炉）。1.用不锈钢小车将清理完毕的石墨大件平稳移到单晶炉侧边。2.依次装好石墨电极炉底碳毡炉底压片下保温罩两侧排气管炉底上压片下碳毡炉底上压片埚杆护套电极护套石英护套。3.石墨电极上下接触面要垫一层石墨纸，并检查接触面是否平整，防止打火。4.装入下保温筒，再将排气管与下炉筒两边排气孔对正,3,I石墨件安装,4.将清理后的加热器装好，拧上石墨螺丝，要拧紧，防止引起打火，并盖上石墨螺丝盖。5.将清理后的中保温罩装好，卡口到位。并校正与加热器的间距，要均匀一致，否则需调整好。6.打开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精的无尘纸擦洗下炉筒上下的结合部，同时转动炉筒到适当位置。7.下降炉筒降到位后，校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控。8.安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。9.将清理后的上保温罩装好，并卡口接到位。,4,b石墨小件安装1.用专用工具装好埚杆。要拧紧埚杆螺丝，检查托杆是否晃动，防止长晶时液面晃动。2.打开埚转及埚快速升降，检查有无卡滞现象3.依次装好埚托、三瓣埚，安装时要确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合。4.装好后要打开埚转旋转一下，以检验三瓣埚与加热器间距上是否一致。若不一致，需及时调整。,5,J石英坩埚安装,1.炉筒、炉盖的外侧及周遍，用沾有酒精的无尘纸擦洗平干净，炉体周围地面认真打扫。2.取来石英坩埚，带好防尘口罩、装料用的洁净手套。3.检查石英坩埚包装上标识与配料单上否一致，打开石英坩埚包装，对光确认有无裂纹,划痕，污物，杂质点，气泡。若有异常及时处理并报告班长及品管。4.石墨三瓣埚内放一块石墨纸，再装好石英坩埚（防止渗硅），注意坩埚上沿水平及四周间隙一致。5.在操作记录上记好所用石英坩埚编号，生产厂家，同时保管好石英坩埚标签号，放入指定地方。,6,K硅料安装,1.取来装料不锈钢车和硅料，仔细核对配料单的各项内容是否与单晶炉号、配料实物一致，若有异常及时处理并报告班长及品管。2.更换装料用的手套，如有母合金先放入石英坩埚。再将碎料、小料平铺在埚底。3.再将大块料集中均匀放置底部，用中型料固定，小硅料填隙。其余中型料放中部和上部，间隙尽量用小硅料填实。4.硅料与坩埚接触的面选择有弧线的平滑面，处于石英坩埚下2/3容积的硅料接触面尽可能大，上1/3容积的硅料接触面尽可能小。,7,K硅料安装,5.装料时高出石英坩埚上沿的硅料应呈锥形（倾角小于60垂直高度不超过100mm），否则会在熔料过程中引起硅液流下，损坏石墨件，甚至焖炉。6.装料时要慎重作业，轻拿轻放，防止碰撞石英坩埚，不要使料掉在保温罩的缝隙，以免造成打火。7.装料完成后打开埚转旋转一下，确认四周间隙一致，再快速将埚降至下限。停止旋转。8.埚上部、加热器上部、保温罩上部再用干净吸尘刷吸净浮尘及硅渣。9.依次装好保温盖、导流筒。安装保温罩、导流时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与硅料发生接触时要调整硅料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅。,8,L籽晶安装,1.用沾有酒精的无尘纸擦洗炉盖和炉筒接合部的密封圈，再将炉盖旋转至炉筒上部。2.打开液压泵电源，按炉盖降按钮降下炉盖。炉盖降到位后确认炉盖是否合好，防止漏气。3.用沾有酒精的无尘纸擦洗付室下部的接合部和炉盖上部的接合部，转动付室，降下与炉盖合炉。要缓慢转动付室，防止重锤与付室内壁碰撞。4.从指定的场所将腐蚀好的籽晶取来，用沾有酒精的无尘纸认真擦洗籽晶。注意不要直接用手接触籽晶，防止汗渍污染籽晶。5.下降籽晶夹头到一定位置，从付室小门中把籽晶装在夹头上，装好钼销。用力向下拉一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后按晶快升使其上升至适当位置。6.用沾有酒精的无尘纸擦洗付室小门的密封圈和接合部，关闭付室小门，拧上付室小门螺丝，打开翻板阀,9,