（材料学专业论文）绝缘体上应变硅和硅锗异质结的微结构研究.pdf

摘要 摘要 应变硅能够提高电子和空穴的迁移率，有希望成为高性能金属氧化物半导体场 效应管( m o s f e t s ) 的n 型和p 型沟道材料。以绝缘体上弛豫的s i g e 外延层作为衬 底，能够获得使电子和空穴迁移率得到提高的应变硅沟道n 型和p 型m o s f e t s 。此 项技术整合了绝缘体上硅( s i l i c o n o n i n s u l a t o r ，s 0 1 ) 和s i g e 技术的优点。 在s o l 衬底上生长的s i g e 结构中，s i g e 外延层的应变弛豫依赖于非晶氧化物埋 层在高温热处理时表现的粘滞流动性。为了简化外延生长工艺流程，避免引入更多的 位错和其它高温退化效应如g e 的偏析和表面粗糙化以及离位热处理引入的表面污染 和氧化，本文采用在s o l 衬底上连续外延生长s i 缓冲层、s i g e 层和s i 帽层随后进行 原位低温热处理的方法获得了应变s i s i g e s i s 0 1 异质结构。 利用在样品和探测器之间放置狭缝的高分辨x 射线三轴衍射实验得到了应变 s i s i g e s i s 0 1 异质结构( 0 0 4 ) 衍射倒易空间图谱，为了获得更高的分辨率，以三次 反射g e ( 2 2 0 ) 分析晶体代替狭缝得到了s i 层和s i g e 层的( 0 0 4 ) 和( 1 1 3 ) 衍射倒 易空间图谱。首次观察到具有双峰结构的s i 层衍射峰，确定了s i 层衍射双峰与s i 层衍射结构的对应变关系。经测量，s i 帽层发生了3 0 1 0 。4 的面内拉伸应变，s i g e 层下面的s i 层发生了6o 1 0 4 的面内拉仲应变。s i g e 层下面的s i 层在无应变状态下 的晶格常数大于无应变体s i 的晶格常数，表明s i g e 层中的g e 原子发生向下扩散， 扩散原子的平均浓度为08 4 a t 。s i g e 层中g e 原子的浓度为1 87 a t ，弛豫度为4 7 。 在s i g e 层( 0 0 4 ) 衍射倒易空间图谱中，s i g e 层衍射峰沿2 0 c o 扫描方向的角度宽化 大于沿扫描方向的角度宽化，说明组分或和应变变化引起的晶面间距的变化是s i g e 层的主要结构特征。提出s i s i g “s i 多层异质结构的取向差模型，对s i 层与s i g e 层 之间、s i g e 层与s i g e 层下面s i 层之间的倾斜进行了解释。 建立了s 0 1 衬底上s i s i g e s i 异质结构失配应变的分配模型。运用此模型对本文 样品进行计算得到s i 帽层和s i g e 层下面s i 层的应变量均为2 6 x 1 0 一，s i g e 层的应变 量为4 9 1 0 一。然而，高分辨x 射线三轴衍射的测量值却与理论预测值之间存在较大 偏差：s i g e 层下面s i 层的应变量较理论预测值低二个数量级，s i 帽层的应变量较理 论预测值低一个数量级。这是由于s i g e 层下面s i 层的应变来自于s i g e 层应变的向 下传递，应变的传递效率受到了温度和位错相互作用的制约。在原位热处理过程中， s i g e 层与s i 帽层之间的应变传递效率高于s i g e 层与s i g e 层下面s i 层的应变传递效 率，导致s i 帽层的应变量大于s i g e 层下面s i 层的应变量。s i 帽层的最终应变量受 s i g e 层弛豫度和s i 帽层厚度的限制。 摘要 在应变s i s i g “s i s o i 异质结构横截面高分辨电子显微像中观察到6 0 0 失配位错、 堆垛层错以及局部区域的晶格畸变。堆垛层错位于s o i 顶层s i 与s i 缓冲层的界面处， 堆垛层错周界的不全位错均为肖克莱型不全位错，b u r g e r s 矢量为1 6 - 1 2 。热应力 造成s o i 顶层s i 与s i 缓冲层界面附近原子堆垛次序的改变，进而导致堆垛层错的形 成。s i g e 层下界面处存在6 0 0 失配位错，说明s i g e 层发生了应变弛豫。s i g e 层的厚 度小于由p e o p l e 模型计算的临界厚度，在外延生长过程中，s i g e 层不会以形成失配 位错的形式进行塑性应变弛豫。进入到热处理阶段后，s i g e 层的应变弛豫由弹性应 变弛豫转变为塑性应变弛豫，位错在s i g e 层下面s i 层中的运动使该层继续发生拉伸 应变。 首次在应变s i s i c 耐s i s o i 异质结构中的s i g e 层下界面附近观察到位错偶极子。 构成位错偶极子的两根6 0 0 位错线分别存在于互相平行的( 1 1 1 ) 或( 1 1 1 ) 半原子 面边缘，b u r g e r s 矢量刃型分量的符号相反。根据平行6 0 0 位错之间的相互作用力对 位错偶极子稳定相对位置进行定量描述，部分位错偶极子稳定相对位置的测量值与理 论预测值之间存在偏差，这归因于局部晶格存在应力集中。应变s i s i g e s i s o i 异质 结构中，6 0 0 位错和位错偶极子不仅出现在s i g e 层的下界面处，也分布在s i g e 层下 界面附近的外延层中。位错分布范围的平均宽度与扩散区宽度十分接近，说明互扩散 引入的应力场对位错的运动及最终分布起到了重要的作用。界面上不同位置的互扩散 系数不同，导致位错在s i g e 下界面附近一定宽度范围内进行分布。提出两种位错偶 极子的形成机制：一种机制是，热场的不均匀分布导致在s i g e 层下界面处形成失配 位错，失配位错在界面处或者在互扩散应力场和热应力场的作用下运动到s i g e 层中 或s i g e 层下面的s i 层中，具有相反符号b u r g e r s 矢量刃型分量的两平行近邻失配位 错形成位错偶极子；另一种机制是，热应变在s i g e 层下界面处的不均匀分布等因素， 导致界面处不同位置的互扩散系数不同，造成在界面处或界面附近微小区域的成分偏 析，在发生成分偏析的微小区域边缘产生失配位错，具有相反符号b u r g e r s 矢量刃型 分量的两平行近邻失配位错形成位错偶极子。 首次利用同步辐射形貌术对应变s “s i ( 耐s i s o i 异质结构中缺陷的类型及其空间 分布进行研究。在同步辐射白光形貌像中，观察到样品表面划痕、6 0 。位错和穿透位 错、位错环以及局部品格畸变，并对6 0 0 位错的b u r g e r s 矢量进行了判断。通过对同 步辐射x 射线双晶形貌像的分析，明确了衍射结构与衍射峰之间的对应关系和取向 关系，获得了s i 帽层、s i g e 层、s i g e 层下面的s i 层和s o i 体s i 衬底的同步辐射x 射线双晶形貌像。观察到由位错偶极子引起的十字交叉线状衬度和由弹性应变引起的 凸起状衬度。在s i g e 层下界面处，失配应变能主要以形成失配位错的形式进行释放； 摘要 在s i g e 层内部，失配应变能的释放向弹性应变的形式进行转化，同步辐射x 射线双 晶形貌像开始表现凸起状衬度；在s i g e 层上界面附近，失配应变能的释放以表现为 凸起状衬度的弹性应变为主。同步辐射x 射线( 0 0 4 ) 衍射双晶摇摆曲线中s i 层衍射 峰的峰形表现非对称性，是晶面间距变化、晶体学取向差和晶格畸变的综合体现。 采用在s i 缓冲层上直接生长固定组分的低温( 5 0 0 0 c ) s i g e 层再生长常规( 6 5 0 0 c ) s i g e 层的方法制备了具有低温s i g e 层的s i g e 异质结构( 简称低温s i g e 异质结构) 。 为了进一步提高s i g e 层的应变弛豫度和充分发挥低温s i g e 层的应变弛豫机制，对生 长态低温s i g e 异质结构在不同条件下进行离位热处理。经7 5 0 0 c 5 分钟热处理后，低 温s i g e 异质结构发生表面氧化。在氧化作用下，样品表面的g e 原子被推斥进入到 剩余的s i g e 层中，并发生从表面g e 富集区向s i g e 层内部的扩散。剩余s i g e 层晶 格间距的变化是g e 原子扩散和应变弛豫的共同作用结果。经8 5 0 0 c 3 0 分钟热处理后， 样品表面形成富g e 层。富g e 层的形成是氧化速率快于g e 原子扩散速率的产物。生 长态和经热处理后的s i g e 层表面形貌和演化与g “s i 材料系自组装g e 量子点的形貌 和演化相类似，这归因于g e 原子比s i 原子具有更大的表面迁移率，因而可以将s i g e 合金薄膜的表面不稳定性等同于“纯g e ”薄膜。本研究表明低温s i g e 层在生长和热 处理过程中发生不同程度的应变弛豫，由于位错的形成和伸展被限制在低温s i g e 层 的下界面附近，从而降低了s i g e 层表面的穿透位错密度。 关键词：应变硅；微结构特征；应变弛豫；低温硅锗；热稳定性 a b s t r a c t t h ei n v e s t i g a t i o n0 1 1t h em i c r o s t r u c t u r a lc h a r a c t e r i s t i c so ft h e s t r a i n e d s io ni n s u l a t o ra n dt h es i g eh e t e r o s t r u c t u r e a b s t r a c t s t r a i n e ds iw i t hi n p l a n et e n s i l es t r a i ni sap r o m i s i n gm a t e r i a lf o rt h ena n dpc h a n n e l s o fh i g hp e r f o r m a n c em e t a l o x i d e s e m i c o n d u c t o rf i e l d - e f f e c tt r a n s i s t o r s ( m o s f e t s ) d u et o e n h a n c e de l e c t r o na n dh o l em o b i l i t i e s u s i n gr e l a x e de p i t a x i a ls i g el a y e r so ni n s u l a t o ra s s u b s t r a t e s s t r a i n e d s i c h a n n e ln a n dpm o s f e t sw i t he n h a n c e de l e c t r o na n dh o l e m o b i l i t i e sh a v eb e e nd e m o n s t r a t e dt h et e c h n i q u ec o m b i n e st h ea d v a n t a g e s o f s i l i c o n o n - i n s u l a t o r ( s o oa n ds i g et e c h n o l o g i e s i nt h ee p i t a x i a ls i g el a y e ro nas 0 1w i t has it h i nf i l m t h em i s f i ts t r a i nc a nb er e l a x e d w h e nt h eb u r i e do x i d ei nt h es o ib e c o m e sv i s c o u sa n dr e f l o w su p o nah i g ht e m p e r a t u r e a n n e a l i n gi nt h i st h e s i s t h es t r a i n e ds i s i g e s i s o ih e t e r o s t m c t u r e sw e r ea c h i e v e db yt h e s u c c e s s i v ed e p o s i t i o no f t h es ib u f f e r ，t h es i g el a y e ra n dt h es ic a pl a y e ro nab o n d e ds o l w a f e ra n dt h ef o l l o w i n gi n - s i t ul o wt e m p e r a t u r ea n n e a l i n gt h i ss o l u t i o nw a sa d o p t e dt o s i m p l i f yt h ee p i t a x i a lp r o c e s s ，o v e r c o m et h ei n t r o d u c t i o no fe x t r ad i s l o c a t i o n sa n do t h e r h i g h - t e m p e r a t u r er e l a t e dd e g r a d a t i o ns u c ha sg es e g r e g a t i o na n ds u r f a c er o b g h e r r i n g ，a n d s u p p r e s st h ee x s i t ua n n e a l i n gi n d u c e ds u r f a c ec o n t a m i n a t i o na n do x i d i z a t i o n i nt h i sc a s e ，( 0 0 4 ) r e c i p r o c a ll a t t i c ep o i n t ( r e l p ) c o n t o u rp l o t so ft h es t r a i n e d s i s i g e s i s o h e t e r o s t m c t u r e sw e r ea c q u i r e db yh i g hr e s o l u t i o nx - r a yt r i p l e a x i s d i m 。a c t o m e t e r ( t a d ) w i t ha s l i tf i x e db e t w e e nt h es p e c i m e na n dt h ed e t e c t o r f o rt 1 1 e r e s o l u t i o ne n h a n c e m e n t ，w ed i s p l a c e dt h es l i tw i t hat h r e e b o u n c eg e ( 2 2 0 ) a n a l y z e r c r y s t a lt od e p i c t ( 0 0 4 ) a n d ( 11 3 ) r e l pc o n t o u rp l o t so ft h es il a y e r sa n dt h es i g el a y e r r e s p e c t i v e l y t h ed o u b l ed i f f r a c t i o np e a k sf r o mt h es il a y e r sw e r eo b s e r v e df o rt h ef i r s t t i m et h ec o r r e s p o n d e n c e sw e r ec l a r i f i e db e t w e e nt h ed o u b l ep e a k sa n dt h es il a y e r st h e m e a s u r e m e n t ss h o w e dt h a tt h et e n s i l es t r a i ni nt h es ic a pl a y e rw a s30 1 0 1a n dt h e u n d e r l y i n gs il a y e r s6 0 x1 0 t h el a t t i c ec o n s t a n t so ft h eu n s t r a i n e ds il a y e r su n d e r n e a t h t h es i g el a y e rw e r el a r g e rt h a nt h o s eo ft h eu n s t r a i n e db u l ks i i ts u g g e s t e dt h a ts o m eg e a t o m si nt h es i g el a y e rd i f f u s e di n t ot h eu n d e r l y i n gs il a y e r s t h ea v e r a g ec o n c e n t r a t i o n o ft h eg ea t o m si nt h eu n d e r l y i n gs il a y e r sw a s08 4a t t h eg ec o n t e n to ft h es i g e l a y e rw a s1 87a t a n dt h er e l a x a t i o nr e a c h e d47 i nt h e ( 0 0 4 ) k e l pc o n t o u rp l o t s ，t h e d i f f r a c t i o np e a kf r o mt h es i g el a y e re x t e n d e dm o r eb r o a d l ya l o n g2 0 0 b a x i st h a n 一a x i s w h i c hi l l u s t r a t e dt h a tt h ec o m p o s i t i o no r a n ds t r a i nm e d u l a t i o ni n d u c e dl a t t i c es p a c i n g v a r i a n c ew a sad o m i n a n te f f e c to v e rt h em o s a i c i t y ag e o m e t r i c a lm o d e lf o rt h e a b s 仃a e t c r y s t a l l o g r a p h i cm i s a l i g n m e n tw i t h i nt h es i s i g e s ih e t e r o s t r u c t u r e sw a sd e v e l o p e dt o d i s c u s st h et i l t sb e t w e e nt h es il a y e r sa n dt h es i g el a y e r an o v e lm o d e lw a sp r o p o s e dt oc a l c u l a t et h ep a r t i t i o no ft h em i s f i ts t r a i nw i t h i nt l l e s i s i g e s ih e t e r o s t r u c t u r e so ns o i t h ec a l c u l a t i o n ss h o w e dt h a tt h es t r a i n si nt h es ic a p l a y e ra n d t h eu n d e r l y i n gs il a y e r sw e r e2 6 x1 0 。a n dt h es t r a i ni nt h es i g el a y e r4 9 x1 0 一 o b v i o u s l y t h e r ew a sal a r g ed i s c r e p a n c yb e t w e e nt a dm e a s u r e m e n t sa n dt h e o r e t i c a l p r e d i c t i o n t h es t r a i ni nt h es ic a pl a y e rw a so n eo r d e ro fm a g n i t u d es m a l l e rt h a nt h e t h e o r e t i c a lv a l u ea n dt h es t r a i ni nt h eu n d e r l y i n gs il a y e r sw a st w oo r d e r ss m a l l e rt h a nt h e t h e o r e t i c a lv a l u et h es t r a i ni nt h eu n d e r l y i n gs il a y e r sr e s u l t e df r o mt h es t r a i nt r a n s f e r f r o mt h es i g el a y e r w h i c hw a sl i m i t e db yt h et e m p e r a t u r ea n dt i l ed i s l o c a t i o ni n t e r a c t i o n t h eh i g h e re f f i c i e n c yo f t h es t r a i nt r a n s f e rb e t w e e nt h es ic a pl a y e ra n dt h es i g el a y e rl e d t ot h el a r g e rs t r a i ni nt h es ic a pl a y e rt h a nt h a ti nt h eu n d e r l y i n gs il a y e r st h ef i n a ls t r a i n i nt h es ic a pl a y e rw a sd e t e r m i n e db yt h es t r a i nr e l a x a t i o no ft h es i g el a y e ra n dt h e t h i c k n e s so f t h es ic a dl a y e r 6 0 0m i s f i td i s l o c a t i o n s s t a c k i n gf a u l t sa n dl o c a ld i s t o r t e dl a a i c e sw e r eo b s e r v e di n c r o s s s e c t i o n a l h i g hr e s o l u t i o ne l e c t r o ni m a g e so ft h es t r a i n e d s i s i g e s i s o i h e t e r o s t r u c t u r e st h es t a c k i n gf a u l t sl o c a t e da tt h ei n t e r f a c eb e t w e e nt h es o it o ps il a y e r a n dt h es ib u f f e r , w h i c hw e r ea l lb o u n d e db ys h o c k l e yp a r t i a l s 1 6 【11 2 t h et h e r m a l s t r e s sc h a n g e dt h es t a c k i n gs e q u e n c eo ft h ea t o m sa r o u n dt h ei n t e r f a c eb e t w e e nt h es o i t o ps il a y e ra n dt h es ib u f f e r ，a n dr e s u l t e di n t ot h ef o r m a t i o no ft h es t a c k i n gf a u l t s t h e e x i s t e n c eo f6 0 0d i s l o c a t i o n sa tt h el o w e ri n t e r f a c eo ft h es i g el a y e ri n d i c a t e dt h ep l a s t i c s t r a l nr e l a x a t i o ni nt h es i g el a y e r a st h et h i c k n e s so f t h es i g el a y e rw a st h i n n e rt h a nt h e c r i t i c a lt h i c k n e s sp r e d i c t e db yp e o p l e sm o d e l ，i ti si m p o s s i b l ef o r t h es t r a i ni nt h es i g e l a y e rt ob er e l a x e db yt h ei n t r o d u c t i o no fm i s f i td i s l o c a t i o n sd u r i n gt h ee p i t a x i a lg r o w t h t h ep l a s t i cs t r a i nr e l a x a t i o nt o o kp l a c ei n s t e a do ft h ee l a s t i cs t r a i nr e l a x a t i o nf o rt h e f o l l o w i n ga n n e a l i n g t h em o v e m e n to fd i s l o c a t i o n se n l a r g e dt h et e n s i l es t r a i ni nt h e u n d e r l y i n gs i l a y e r s ac o u p l eo f6 0 0m i s f i td i s l o c a t i o n sc o n s t i t u t e dd i s l o c a t i o nd i p o l e s ，w h i c hw e r e o b s e r v e da to rn e a rt h el o w e ri n t e f f a c eo ft h es i g el a y e rf o rt h ef i r s tt i m e t h ed i p o l e d i s l o c a t i o n sr e s p e c t i v e l yl o c a t e da t t h ee d g e so f t w op a r a l l e l ( 1 7 1 ) o r ( t n ) h a l f p l a n e sa n d t h ee d g ec o m p o n e n tv e c t o r sa r eo fo p p o s i t es i g n t h es t a b l er e l a t i v ep o s i t i o n so f d i s l o c a t i o nd i p o l e sw e r ec a l c u l a t e di nt e r m so ft h ei n t e r a c t i o nf o r c eb e t w e e nt h et w o p a r a l l e l6 0 0d i s l o c a t i o n s w h e r e a st h ee x p e r i m e n t a lm e a s u r e m e n t sw e r en o ta l lc o n s i s t e n t w i t ht h et h e o r e t i c a lp r e d i c t i o n t h ed i s c r e p a n c yw a sd u et ot h el o c a ls t r e s si nt h es t r a i n e d s i s i g e s i s o ih e t e r o s t m c t u r e s t h e6 0 0d i s l o c a t i o n sa n dd i s l o c a t i o nd i p o l e sd i dn o to n l y a p p e a ra tt h el o w e ri n t e r f a c eo f t h es i g el a y e rb u ta l s oi nt h el i e i g h b o r h o o do f t h ei n t e r f a c e a b s t r a c t t h ea v e r a g ew i d t ho ft h ed i s l o c a t i o nd i s t r i b u t i o na p p r o a c h e dt ot h a to ft h ei n t e r d i f l u s i o n z o n e i td e m o n s t r a t e dt h a tt h es t r e s sf i e l dr e l a t e dt ot h ei n t e r d i f f u s i o ns i g n i f i c a n t l ya f f e c t e d t h em o v e m e n ta n df i n a ld i s t r i b u t i o no ft h ed i s l o c a t i o n st h ei n t e r d i f f u s i o nv a r y i n ga l o n g t h ei n t e r f a c ec a u s e dt h ed i s l o c a t i o n sl y i n ga c r o s st h el o w e ri n t e r f a c eo ft h es i g el a y e r t w om e c h a n i s m so nt h ef o r m a t i o no f d i s l o c a t i o nd i p o l e sw e r es u g g e s t e do n ew a st h a tt h e u n e v e nt h e r m a lf i e l da c t i v a t e dt h ef o r m a t i o no fm i s f i td i s l o c a t i o n sa tt h el o w e ri n t e r f a c eo f t h es i g el a y e r t h et w op a r a l l e lm i s f i td i s l o c a t i o n sw i t ht h eo p p o s i t ee d g ec o m p o n e n t v e c t o r sc o n s t i t u t e dd i s l o c a t i o nd i p o l e sa tt h ei n t e r f a c e ，o rm e te a c ho t h e ra f t e rt h e yw e r e p u s h e di n t ot h en e i g h b o r i n gl a y e r sb yt h ei n t e r d i f f u s i o n - i n d u c e da n dt h e r m a ls t r e s sf i e l d s a n dc o m p o s e dd i s l o c a t i o nd i p o l e s t h eo t h e rm e c h a n i s mw a st h a tt h ef a c t o r ss u c ha st h e u n e v e nt h e r m a ls t r a i na tt h el o w e ri n t e r f a c eo ft h es i g el a y e rr e s u l t e di n t ot h ev a r i a n t i n t e r d i f b s i o nc o e 疖c i e n t s a l o n g t h ei n t e r f a c ea n dt h e ns t i r r e dt h e c o m p o s i t i o n a l s e g r e g a t i o nw i t h i nt h em i c r or e g i o n sa to rn e a rt h ei n t e r f a c em i s f i td i s l o c a t i o n sf o r m e da t t h eb o u n do ft h em i c r or e g i o n st h et w op a r a l l e la d j a c e n tm i s f i td i s l o c a t i o n sw i t ht h e o p p o s i t ee d g ec o m p o n e n tv e c t o r sf o r m e dd i s l o c a t i o nd i p o l e s s y n c h r o t r o nr a d i a t i o nt o p o g r a p h yw a su t i l i z e dt oi n v e s t i g a t et h et y p ea n ds p a t i a l d i s t r i b u t i o no ft h ed e f e c t si nt h es t r m n e ds i s i g e s i s o ih e t e r o s t r u c t u r e sf o rt h ef i r s tt i m e t h es c r a t c h e s ，6 0 0d i s l o c a t i o n sc o n n e c t e dw i t ht h r e a d i n gd i s l o c a t i o n s ，l o o pa n dh a l fl o o p d i s l o c a t i o n sa sw e l la sl o c a jd i s t o r t e dl a t r i c e sw e r eo b s e r v e di nt h ew h i t er a d i a t i o n t o p o g r a p h sa n dt h eb u r g e r sv e c t o r so f6 0 0d i s l o c a t i o n sw e r er e c o g n i z e d t h es y n c h r o t r o n r a d i a t i o nx - r a yd o u b l e c r y s t a lt o p o g r a p h yw a su s e dt om a k ec l e a rt h ec o r r e s p o n d e n c eo f t h es t r u c t u r e st ot h ed i f 行a c t i o np e a k sa n dt h em i s a l i g n m e n tw i t h i nt h es i ，s i g e s i s o i h e t e r o s t r u c t u r e s t h es y n c h r o t r o nr a d i a t i o nx - r a yd o u b l e c r y s t a lt o p o g r a p h sw e r et a k e na t t h ed i f f r a c t i o np e a k so ft h es ic a pl a y e r ，t h es i g el a y e r ，t h eu n d e r l y i n gs il a y e r sa n dt h e s o ib u l ks it h e c r o s s h a t c h i n gc o n t r a s t sa n db u m p yc o n t r a s t sw e r ef o u n ds p a t i a l l yr e l a t e d t ot h ed i s l o c a t i o nd i p o l e sa n dt h ee l a s t i cs t r a i n ，t h es t r a i ne n e r g yw a sr e l e a s e db yt h e i n t r o d u c t i o no f m i s f i td i s l o c a t i o n sa tt h el o w e ri n t e r f a c eo f t h es i g el a y e rw i t h i nt h es i g e l a y e r t h ee l a s t i cs t r a i nr e l a x a t i o ni n c r e a s e di n s t e a do ft h ef o r m a t i o no fm i s f i td i s l o c a t i o n s t h e b u m p y c o n t r a s t sa p p e a r e di nt h es y n c h r o t r o nr a d i a t i o nx - r a yd o u b l e c r y s t a lt o p o g r a p h s o ft h es i g el a y e rt h ee f f e c to ft h em i s f i td i s l o c a t i o n sf a d e da tt h eu p p e ri n t e r f a c eo ft h e s i g el a y e r , a n dt h er e d u c t i o no fs t r a i ne n e r g ya l m o s td e p e n d e do nt h ee l a s t i cs t r a i n c o r r e s p o n d i n gt ot h eb u m p yc o n t r a s t s t h ed i f f r a c t i o np e a kf r o mt h es il a y e r sa p p e a r e d a s y m m e t r i c a l l yo ns y n c h r o t r o nr a d i a t i o nx - r a y ( 0 0 4 ) r o c k i n gc u r v e s t h ea s y m m e t r yw a s a s c r i b e dt ot h ec o m p r e h e n s i v ee f f e c t so fl a t t i c es p a c i n gd i f f e r e n c e ，c r y s t a l l o g r a p h i c m i s a l i g n m e n ta n d1 a r i c ed i s t o r t i o n a b s 订a c t t h es i g eh e t e r o s t r u c t u r ew i t hal o w - t e m p e r a t u r es i g el a y e r 。t s i g e ) w a s f a b r i c a t e db ys u c c e s s i v ee p i t a x i a lg r o w t ho fal o w - t e m p e r a t u r es i g el a y e r ( a t5 0 0 0 c ) a n da c o n v e n t i o n a ls i g el a y e r ( a t6 5 0 0 c 1o nas ib u f f b r i no r d e rt oi m p r o v et h es t r a i nr e l a x a t i o n a n dt h o r o u g h l ys t i m u l a t et h es t r a i nr e l a x a t i o nm e c h a n