（材料学专业论文）晶体硅薄膜的低温制备技术及其光学性能研究.pdf

武汉理工大学硕十学位论文 摘要 晶体硅薄膜由于具有稳定、高效、生产成本低的特点，已经成为一种很有 潜力的光伏太阳能材料，引起了当今世界范围的广泛关注。如何提高非晶硅薄 膜的晶化速度和降低晶化温度是当前的研究热点之一。本文对两种晶体硅薄膜 氢化纳米硅薄膜、多晶硅薄膜进行了研究。通过射频等离子体增强化学气相沉 积( r f - p e c v d ) 在相对较高的沉积压力下( 1 0 0 - - - 5 0 0p a ) 在玻璃衬底上沉积氢 化纳米硅薄膜。对晶化度与沉积参数，如沉积压力，衬底温度，h 2 s i l l 4 流量比， 进行了深入的研究。在高沉积压力下( 5 0 0p a ) ，薄膜具有较高的晶化率和较快 的沉积速率。通过x 射线衍射以及场发射扫描电子显微镜对氢化纳米硅薄膜结 果进行表征，利用拉曼光谱，荧光光谱，紫外可见光谱对薄膜光学性能进行了 研究。由拉曼光谱分析得出薄膜的晶化率由5 提高到6 8 。对x r d 进行分析 得出薄膜平均晶粒尺寸为4 5 5 到1 8 2 9 纳米。通过紫外可见光谱用t a u c 法计算 出薄膜的光学带系为1 9 0e v 到2 4 3e v 本文对一种新型的金属诱导方法晶化非晶硅薄膜进行了研究。化学镀制备 金属镍薄膜是一种不需要外加电场，以及使用大型薄膜沉积设备，简单易行的 薄膜沉积方法。首先在玻璃衬底上通过化学镀的方法沉积一层约为2 0 0 纳米厚 的金属镍层，然后通过r f - p e c v d 在该层之上沉积一层约2 0 0 纳米厚的非晶硅薄 膜。然后将该双层薄膜式样在氮气保护的气氛下5 0 0 退火数小时。晶化后的薄 膜通过x 射线衍射、拉曼光谱、场发射扫描电子显微镜和能谱仪进行分析。利 用x r d 和拉曼光谱分析得知薄膜已经晶化，并且晶体为( 11 1 ) 面取向；通过 场发射扫描电镜观察薄膜表面形貌可知多晶硅横向生长距离可达5 微米；镍元 素在薄膜中的分布也通过能谱得到分析。 关键词：氢化纳米硅，多晶硅，射频等离子体增强化学气相沉积， 镍诱导横向晶化，薄膜。 武汉理丁大学硕士学位论文 a b s t r a c t t h e c r y s t a l l i n es i l i c o nt h i nf i l m sw i t ha d v a n t a g e ss u c ha ss t a b l e ，h i g h - e f f i c i e n c y , a n dc o s t e f f e c t i v e ，i th a sb e c o m eo n eo ft h em o s tp r o m i s i n gc a n d i d a t e sf o r a p p l i c a t i o n so fp h o t o v o l t a i c s h o wt op r o m o t et h ec r y s t a l l i z a t i o nr a t ea n dd e c r e a s e a n n e a l i n gt e m p e r a t u r eh a sb e e no n e o ft h eh o n e s ts c i e n t i f i cr e s e a r c ha r e a sa tp r e s e n t i nt h i ss t u d y , t w ok i n d so fc r y s t a l l i n es i l i c o nt h i nf i l m s ，h y d r o g e n a t e dn a n o c r y s t a l l i n e s i l i c o n ( n c - s i ：h ) a n dp o l yc r y s t a l l i n es i l i c o nh a v e b e e ns t u d i e d t h ed e p o s i t i o no fh y d r o g e n a t e dn a n o c r y s t a l l i n es i l i c o n ( n c - s i ：h ) o nf l o a tg l a s s s u b s t r a t ea tar e l a t i v eh i g hw o r k i n gp r e s s u r e ( 10 0p a - 5 0 0p a ) i sp e r f o r m e db yu s i n ga c o n v e n t i o n a lr a d i of r e q u e n c yp l a s m ae n h a n c e dc h e m i c a l v a p o rd e p o s i t i o n ( r e p e c v d ) t h ep r o p e r t i e so fn c - s i ：h ，s u c ha sc r y s t a l l i n i t y , o p t i c a lb a n dg a pa n d p h o t o l u m i n e s c e n c eh a v e b e e ns t u d i e di nt e r m so fp r o c e s s p r e s s u r e ，s u b s t r a t e s t e m p e r a t u r e ，a n df l o wr a t er a d i oo fh 2 s i h 4 i tw a sf o u n dt h a ta tar e l a t i v eh i g h p r e s s u r e ( 5 0 0p a ) t h ef i l mh a sg o o dc r y s t a l l i n i t ya n df a s t e rd e p o s i t i o nr a t e s t r u c t u r a l c h a r a c t e r i z a t i o n so ft h ef i l m sw e r ep e r f o r m e db yx r a yd i f f r a c t i o n ( x r d ) a n df i e l d e m i s s i o ne l e c t r o nm i c r o s c o p y ( f e s e m ) o p t i c a lc h a r a c t e r i z a t i o nw a sp e r f o r m e db y r a m a ns p e c t r o s c o p ya n du v j v i ss p e c t r aa n dp h o t o l u m i n e s c e n c e ( p l ls t u d i e s t h e c r y s t a l l i n ev o l u m ef r a c t i o na n dt h ec r y s t a l l i t es i z eo ft h ef i l m se s t i m a t e df r o mt h e r a m a ns p e c t r aa n dx r di sf o u n dt ov a r yf r o m5 t o6 8 a n df r o m4 5 5n l t lt o18 2 9 n l t li nd i a m e t e r , r e s p e c t i v e l y a n dt h et a u c so p t i c a lb a n dg a pi sv a r i e df r o m1 9 0e v t o2 4 3e v a n dan o v e ld e p o s i t i o nw a yo fn i c k e lf i l mf o rc r y s t a l l i z a t i o no fa m o r p h o u s s i l i c o nf i l mi si n t r o d u c e d e l e c t r o l e s sn i c k e lp l a t i n gi sac o n v e n i e n ta n di n e x p e n s i v e w a yt od e p o s i tn i c k e lw i t h o u tu s i n gt h ee l e c t r i cf i e l do ra n yc o m p l i c a t e df a c i l i t i e s a 2 0 0n l nn i c k e lf i l mi sd e p o s i t e do nt h eg l a s ss u b s t r a t e sa n dt h e na2 0 0 n ma - s if i l mi s d e p o s i t e do nt h en i c k e lf i l m t h eb i l a y e rf i l mi sa n n e a l e da t5 0 0 。cf o rs e v e r a lh o u r s i nt h en i t r o g e na t m o s p h e r e t h ec r y s t a l l i z e ds it h i nf i l m sw e r ec h a r a c t e r i z e db yx r d ， r a m a ns p e c t r o s c o p y , f e - s e ma n de n e r g yd i s p e r s i v es p e c t r o s c o p y ( e d s ) t h er a m a n i l 武汉理工大学硕士学位论文 d e m o n s t r a t e st h a tt h ea - s ih a sb e e nc r y s t a l l i z e da n dx r ds h o w st h a tt h ec r y s t a l l i n eo f s i l i c o ni s ( 11 1 ) 一o r i e n t e d f u r t h e r m o r e ，t h el a t e r a lc r y s t a l l i n em o r p h o l o g ys h o w ni n t h ef e - s e mp h o t o g r a p h s ，m a n i f e s t st h a tt h el e n g t ho fs i l i c o ng r a i ni su pt o5 p ma n d t h ee d sr e v e a l st h en i c k e ld i s t r i b u t i o ni nt h em i l ca n dm i ca r e a k e y w o r d s ：n c s i ：h ；p o l y s i ；r f - p e c v d ；n i c k e li n d u c e dl a t e r a lc r y s t a l l i z a t i o n ； t h i nf i l m i i i 独创性声明 本人声明，所呈交的论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人 已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得武汉理工大学或其它教育机构的 学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已 在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 龇名单帐剥 关于论文使用授权的说明 本人完全了解武汉理工大学有关保留、使用学位论文的规定，即学校有权保 留、送交论文的复印件，允许论文被查阅和借阅；学校可以公布论文的全部或部 分内容，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。 ( 保密的论文在解密后应遵守此规定) 一缉铷虢祧期：半7 武汉理t 大学硕士学位论文 c h a p t e r 1i n t r o d u c t i o n 1 1r e n e w a b l ee n e r g ya n dp h o t o v o l t a i c s t h ec o n s u m p t i o no fw o r de n e r g yi sg r o w i n gr a p i d l yw h i l ec o m m o ne n e r g ys o u r c e h a sb e e nm a i n l ys u p p l i e db yf o s s i lf u e l s ( o i l ，c o a l ，a n dn a t u r a lg a s ) h o w e v e r , t h eu s e o ff o s s i lf u e l sf o rp o w e r g e n e r a t i o nc a u s e sp o l l u t i o na n das i g n i f i c a n tr e l e a s eo fg r e e n h o u s ee f f e c tg a s e s ，s u c ha sc 0 2a n dn o x i na d d i t i o n ，f o s s i lf u e l s ，e s p e c i a l l yo i li s l i k e l yt ob e c o m ee x h a u s t e d w i t ht h ec o n t i n u o u si n c r e a s eo ft h ew o r l d w i d ec o n c e r no nt h es e c u r i t yo fe n e r g y s u p p l ya n dt h ee n v i r o n m e n t a lp r o b l e m so ff o s s i l ，r e n e w a b l ee n e r g i e ss u c ha sw i n d e n e r g y ，h y d r o - e n e r g ya n ds o l a re n e r g ya r ec a t c h i n gm u c hm o r ea t t e n t i o nt h a ne v e r b e f o r e p h o t o v o l t a i c ( p v ) ，c o n v e r s i o no fl i g h tt oe l e c t r i c a le n e r g yw i t hz e r oe m i s s i o n ，i so n e o ft h em o s tp r o m i s i n gp o t e n t i a le n e r g yt e c h n o l o g i e st h a tc a ns o l v et h ee n e r g ya n d e n v i r o n m e n t a lp r o b l e m ss i m u l t a n e o u s l yb e c a u s et h es o l a re n e r g yi se s s e n t i a l l yf r e e ， u n l i m i t e d ，a n dn o tl o c a l i z e di na n yp a r to ft h ew o r l d i nt h el a s tt e ny e a r s ，t h eg l o b a ls o l a rc e l lp r o d u c t i o nh a sb e e ng r o w i n gw i t h3 0 a n n u a l l ya n dn e a rf u t u r ef o r e c a s t ss h o wt h a ti nt h ey e a r s2 0 0 5t o2 0 10a ni n c r e a s eo f af a c t o r3i se x p e c t e d ，r e s u l t i n gi na na n n u a lp r o d u c t i o no f18 0 0m w ( i n s t a l l e dp e a k p o w e r ) i n2 0 1 0 1 】 b a s e do nc o s ta n dp e r f o r m a n c e ，d i f f e r e n tt y p e so fs o l a rc e l l sc a r lb ec l a s s i f i e da sf i r s t ， s e c o n d ，o rt h i r dg e n e r a t i o n s t a t eo ft h ea r tt h i n f i l ms i l i c o ni so n eo ft h e r e p r e s e n t a t i v e so ft h es e c o n dg e n e r a t i o n w h i l et h et h i r dg e n e r a t i o nr e f e r st on o v e l f u t u r ec o n c e p t s t h e r ei san e wt r e n di nf u n d a m e n t a lr e s e a r c h w i t ht h ec o n t i n u o u s i n c r e a s eo ft h ew o r l d w i d ec o n c e l t lo nt h es e c u r i t yo fe n e r g ys u p p l ya n dt h e e n v i r o n m e n t a lp r o b l e m so ff o s s i la n dn u c l e a re n e r g yp r o d u c t i o n r e n e w a b l ee n e r g i e s s u c ha sw i n de n e r g y ，h y d r oe n e r g ya n ds o l a re n e r g ya r ec a t c h i n gm u c hm o r ea t t e n t i o n t h a ne v e rb e f o r e p h o t o v o l t a i cd e v i c e sb a s e do ns o l a re n e r g y , n a m e l ys o l a rc e l l s ， d i r e c t l yc o n v e r ts u n l i g h tt oe l e c t r i cp o w e ra n dp r o v i d eac l e a n ，s u s t a i n a b l es u p p l yo f e n e r g y ，m a k i n gt h e mu n i q u ea m o n ga l lo t h e l e n e r g ys o u r c e s 武汉理工大学硕十学位论文 1 2c r y s t a l l i n es i l i c o ns o l a rc e l la n ds i l i c o nt h i nf i l ms o l a r c e l l a r o u n d9 0 o ft h es o l a rc e l l st h a ta r ea l r e a d yi nt h em a r k e ta r em a d eo fc r y s t a l l i n e s i l i c o n ( c - s i ) w a f e r ，d u et ot h ea b u n d a n c eo fi t sb a s em a t e r i a la n dt h em a t u r i t yo f r e l a t e dt e c h n o l o g i e s 2 h o w e v e r ，t h ee n o r m o u si n c r e a s ei nt h ed e m a n do fr a w m a t e r i a lh a sm a d et h ec o s to fs i l i c o ni n g o t si n c r e a s ed r a m a t i c a l l yi nt h ep a s tf e w y e a r s 3 a t y p i c a lc - s ib a s e ds o l a rc e l lc o n t a i n sat w o 。l a y e rs t r u c t u r eo fap t y p ea n da nn t y p e r e g i o n ，o n eo fw h i c hi sm u c ht h i c k e rt h a nt h eo t h e r a ne l e c t r i cf i e l di sf o r m e do v e r t h ep - nj u n c t i o n p h o t o c a r r i e r sa r em a i n l yg e n e r a t e di nt h ef i e l df r e er e g i o ni nt h e t h i c kl i g h t l yd o p e dl a y e r t h e yd i f f u s et o w a r d st h ee l e c t r i cf i e l dr e g i o n ，w h e r et h e y a r es e p a r a t e d f i n a l l y ，t h e ya r ec o l l e c t e di na ne x t e r n a lc i r c u i t a sar e s u l t c s ib a s e d s o l a rc e l l sa r ed i f f u s i o n t y p ed e v i c e s a l t h o u g ht h ee n e r g yc o n v e r s i o ne f 矗c i e n c yo f t h e s es o l a rc e l l sc a nb eo v e r2 5 am a j o rd r a w b a c ko fc r y s t a l l i n es i l i c o ni st h ef a c t m a ti ti sa ni n d i r e c tb a n dg a pm a t e r i a l a sa c o n s e q u e n c e ，t h ea b s o r p t i o ni nt h e m a t e r i a li s1 0 w ，a n dt h i c kl a y e r sa r en e e d e df o re f f i c i e n tl i g h ta b s o r p t i o n a sar e s u l t n e a r l y4 0 o ft h em o d u l ec o s ti sd u et ot h es i l i c o no n l y s o l a rc e l lb a s e do nt h i nf i l ms i l i c o na n di t sa l l o y si sag o o da l t e m a t i v e c a p a b l eo f f u l f i l l i n gt h ef a s ti n c r e a s i n gd e m a n do far e l i a b l es o l a rc e l ls u p p l y a l s ob a s e do n s i l i c o n ，i th a st h ea d v a n t a g eo fb a s em a t e r i a la v a i l a b i l i t y , y e t i tu s e ss i l i c o nm u c h m o r ee f f i c i e n t l y s i n c et h ew h o l ec e l lo n l yn e e d ss il a y e r st h a ta r ea tm o s taf e w m i c r o n st h i c ki nt o t a li n s t e a do fh u n d r e d so fm i c r o n sa si nt h ec a s eo fc s ib a s e ds o l a r c e l l t h i si sd u et ot h em u c hh i g h e ro p t i c a la b s o r p t i o nc o e f 矗c i e n to fs u c hm a t e r i a l s u n l i k ec r y s t a l l i n es i l i c o n ，t h i nf i l ms i l i c o nm a t e r i a l sa r em a d ev i ad e p o s i t i o no na f o r e i g ns u b s t r a t e ，m o s t l yb yc h e m i c a lv a p o rd e p o s i t i o n ( c v d ) o ns u b s t r a t e ss u c ha s g i a s s ，s t a i n l e s ss t e e l ，o re v e np l a s t i cf o i l s t h ep o s s i b i l i t yt ou s eal o wc o s ts u b s t r a t e ， t h er e l a t i v el o wp r o c e s s i n gt e m p e r a t u r e 卜2 0 0 ) ，a n dt h ee a s eo fm a s sp r o d u c t i o no n l a r g ea r e as u b s t r a t e sm a k et h i nf i l ms it e c h n o l o g yas t r o n gc o m p e t i t o rt oc s ib a s e d s o l a rc e l l s a tp r e s e n t ，t h el i m i t i n gf a c t o r sf o rt h em a r k e te x p a n s i o no ft h i nf i l m s i l i c o nb a s e ds o l a rc e l l sa r et h es t i l lr e l a t i v eh i g hp r i c ec o m p a r e dt o 断de l e c t r i c i t y ， a n dt h er e l a t i v el o we n e r g yc o n v e r s i o ne m c i e n c i e s 2 武汉理工大学硕士学位论文 1 3h y d r o g e n a t e da m o r p h o u ss i l i c o n ( a - s i ：h ) s o l a rc e l la n d s t a e b l e r w r o n s k ie f f e c t h y d r o g e n a t e da m o r p h o u ss i l i c o nm a d ef r o mag l o wd i s c h a r g ew a sf i r s tr e p o r t e di n t h el a t e19 6 0 s i t sd e v e l o p m e n ts t a r t e dt of l o u r i s ha f t e rt h ed i s c o v e r yo fs u b s t i t u t i o n a l d o p i n gb ys p e a ra n dl e c o m b e ri n 19 7 5 ，a n dt h ef a b r i c a t i o no f t h ea - s i ：hs o l a rc e l lb y c a r l s o na n dw r o n s k ii n19 7 6 as o l a rc e l lb a s e do ns i l i c o nt h i nf i l m sc o n t a i n sn o to n l yp a n dn d o p e dl a y e r s b u t a l s oa ni n t r i n s i cl a y e r 。w h e r em o s to ft h el i g h ti sa b s o r b e d ( f i g 1 1 ) t h er e a s o no f u s i n gs u c has a n d w i c hs t r u c t u r e ，t h es oc a l l e dp i ns t r u c t u r e ，i sd u e t ot h ev e r yh i g h d e n s i t yo fd o p a n t i n d u c e dd e f e c t sp 10 w c m 。j ) t h a te x i s ti nt h ed o p e dm a t e r i a l s ， w h i c hm a k e si t i m p o s s i b l et oe 瓶c i e n t l yc o l l e c tp h o t o g e n e r a t e dc a r r i e r sf r o m a c o n v e n t i o n a lp ni u n c t i o n t h ed o p e dl a y e r sg e n e r a t ea ne l e c t r i cf i e l do v e rt h e i n t r i n s i cl a y e r ，w h e r et h ee l e c t r o n i cd e f e c td e n s i t yi sc o n t r o l l e dt ob em i n i m a l ， t y p i c a l l y - 10 t i n 。f o rh y d r o g e n a t e da m o r p h o u ss i l i c o nf a - s i ：h ) c h a r g ec a r r i e r sa r e g e n e r a t e dw h e nl i g h ti si n c i d e n to no n es i d eo ft h es t r u c t u r e t h e va r es e p a r a t e da n d t h e l lm o v ei no p p o s i t ed i r e c t i o n su n d e rt h ei n f l u e n c eo ft h ee l e c t r i cf i e l d t h e e l e c t r o n sd r i f tt o w a r d st h en 1 a y e ra n dt h eh o l e st ot h ep 1 a y e r w h e r et h e ya r e c o l l e c t e d a n dac u r r e n ti sg e n e r a t e di nt h ee x t e r n a lc i r c u i t t h i sp r o c e s si s s c h e m a t i c a l l yi l l u s t r a t e di nf i g 1 2 s i n c et h ed i f f u s i o n1 e n g t ho ft h ec h a r g ec a r r i e r s i nas i l i c o nb a s e dt h i nf i l mi ss m a l l ( t y p i c a l l ya r o u n daf e wh u n d r e dn m ) c o m p a r e dt o t h a to fc s i ( u pt o 一1m m ) t h ec h a r g ec o l l e c t i o ni sd o m i n a t e db yd r i f tt r a n s p o r t a s i l i c o nb a s e dt h i nf i l ms o l a rc e l li st h e r e f o r ead r i f t t y p ed e v i c e d u et ot h e1 a r g e a m o u n to fd e f e c t sp r e s e n ti nt h ei l a y e r ，c h a r g ec a r r i e r sa r et r a p p e dd u r i n gt r a n s p o r t ， r e s u l t i n gi nah i g hr e c o m b i n a t i o nr a t e t h ep r e s e n c eo fa ne l e c t r i cf i e l di nas o l a rc e l l i n c r e a s e st h ed r i f tv e l o c i t yo ft h ec h a r g ec a r r i e r s a sac o n s e q u e n c e ，t h er a t eo fc h a r g e c a r r i e rt r a p p i n gi nd e e pc e n t e r sa n dt h er e c o m b i n a t i o nr a t ea r eb o t hd e c r e a s e d t h u s ，t oa v o i dr e c o m b i n a t i o no fc h a r g ec a r r i e r s t h ee l e c t r i cf i e l ds h o u l db ea sh i g ha s p o s s i b l e ，w h i c hm e a n st h a tt h ei n t r i n s i cl a y e rs h o u l db em a d ea st h i na sp o s s i b l e o n t h eo t h e rh a n d ，t h et h i c k e rt h ei 1 a y e ri s ，t h em o r e1 i g h ti sa b s o r b e d ，a n dt h em o r e c h a r g ec a r r i e r sa r eg e n e r a t e d t h e s et w oo p p o s i t er e q u i r e m e n t sr e s u l ti na no p t i m a l t h i c k n e s so ft h ei n t r i n s i cl a y e r f o ra m o r p h o u ss i l i c o n a l lo p t i m a li l a y e rt h i c k n e s si s a r o u n d2 0 0 - 5 0 0n l t lf o ras i n g l ei u n c t i o np i nc e l l t h i st h i c k n e s si sm u c hs m a l l e r t h a nt h a tn e e d e df o rc s ib a s e ds o l a rc e l l s a sar e s u l t t h ec o s to ft h es i l i c o ni nt h i n f i l ms i l i c o ns o l a rc e l l sa c c o u n tf o ro n l yaf e wp e r c e n to ft h em o d u l ec o s t 武汉理i 大学硕十学何论文 p - t v p es i 1 t oc o n t a c t f i g 1is c h e m a t i cs t r u c t u r eo f ac s i “nc e l la n dat h i nf i l ms i l i c o np - i - n c e l f i g1 2t h e p o t e n t i a lp r o f i l e i na p - i - nc e l lt h e f i e l d ( p o t e n t i a ld r o p ) i n t h e m i d d l e p a r to f t h e i - l a y e r i s w e a k e n e dd u e t o t h ec h a r g e dd e k d sn e a r p a n dn s i d e o f t h e i - l a y e r h y d r o g e n a t e da m o r p h o u ss i l i c o nr a s i ：h 1c o n s i s t so f ac o v a l e n tr a n d o mn e t w o r ko f s i - s 1 a n ds i - hb o n d st h em a t e r i a ld o e sn o th a v eal o n g r a n g eo r d e r , i nc o n t r a s it oi t s c o u n t e r p a r t ，c r y s t a l l i n es i l i c o nh o w e v e r ，s h o r t r a n g eo r d e ri sp r e s e n t ，a st h es i l i c o n a t o m sa r e m a i n l y p o s i t i o n e d i n t e t r a h e d r a lc o o r d i n a t i o n w i t h & t la v e r a g es i s ib o n d l e n g t h o f02 3 5t i mt h i sc o n f i g u r a t i o ni ss i m i l a rt ot h et d m h e d r a ls t 兀l c w f ep m s e mi n c r y s t a l l i n es i l i c o ns i n c et h e r ei si i ol o n g r a n g ep e r i o d i c i t yi na - s i ：h ，v a r i a t i o n si ns i s i b o n da n g l e sa n ds is ib o n dl e n g t h se x i s tw h i c hf i r e a p p r o x t m a t e l y1 0 a n d1 r e s p e c t i v e l yt h e r e f o r e ，a m o r p h o u ss i l i c o nh a sd i f f e r e n to p t o e l e c t r o n i cp r o p e n i e st h a n c r y s t a l l i n es i l i c o n d u et ot h ed i s t r i b u t i o ni nb o n da n g l e sa n db o n dl e n g t h s ，ac o n s i d e r a b l yh i g hd e n s i t y o fs t r a i n e ds i s ib o n d si sp r e