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(材料物理与化学专业论文)mwecr+cvd制备氢化非晶硅薄膜的微结构研究.pdf.pdf 免费下载
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文档简介
摘要 摘要 非晶硅 a s i 具有特殊的光学 电学性质 并且呈现出了巨大的应用前景 但是由于它含有大量的缺陷态 主要缺陷态是悬挂键 使其在实际应用方面受 到了约束 对于氢化非晶硅 a s i t t 由于氢的介入使得氢化非晶
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