RSG-I(II)(P)使用说明书0912.doc

RSG-I（P）、II（P）射 频 电 源使用 说明 书常州瑞思杰尔电子科技有限公司 目录一概述.2二工作原理简述. 2三主要技术性能.3四操作方法及注意事项.3（一）面板、背板布局及操作说明.3（二）使用操作方法.5五注意事项.6六常见故障现象及维修.7七产品标准 . 7八射频脉冲控制器.8九安装尺寸说明.9一 概述RSG-I(P),RSG-II(P)型射频电源采用先进的射频电源技术和元器件，以及精心的设计，保证了整机的可靠性，稳定性。其特点具有超长寿命，功率输出稳定，效率高，整机体积小，电压低，安全性高，操作便捷，无需预热，频率漂移小，低谐波。 RSG全固态射频源国外进口全固态射频源国产传统电子管射频源核心器件晶体管晶体管电子管产品寿命20万小时以上20万小时以上1000多小时连续工作时间24小时24小时48小时频率稳定度+/-2KHz+/-2KHz+/- 0.65MHz功率稳定度+/- 1%+/- 1%+/- 5%安全性安全性高安全性高高电压可操作性瞬时启动，程序简单瞬时启动，程序简单需预热，程序复杂结构体积小，结构紧凑体积小，结构紧凑体积庞大价格适中昂贵便宜表1 瑞思杰尔电子全固态射频源与市场上同类产品性能比较本产品设有完善的保护功能和控制功能。内置过热保护，驻波报警保护；具有手动操控和计算机遥控操控；射频输出具有连续和脉冲两种形式。 本电源可广泛应用于等离子清洗，等离子镀膜，质谱分析，医疗等行业。二 工作原理简述石英晶振产生所需工作频率信号，经过（调制）放大滤波得到所需频率标准正弦波小信号，再经过多级放大合成滤波后即得到所要求的功率输出。控制电路控制射频电源的开关机，功率检测处理、显示以及保护电路等。保护电路提供驻波保护和过热保护。 计算机接口控制射频输出开/关，向控制主机发出保护通知，调节输出功率大小。三 主要技术性能输出功率：额定功率 （10%100%）,精确到1瓦，连续可调。信号形式： 连续波/脉冲调制输出阻抗：50 输出信号频率： 额定频率MHz 2KHz功率稳定度：1设定功率谐波输出： -40dB寄生调制： 1环境温度： 0 40相对湿度： 85% 冷却方式： 强制风冷供电： 220V 15V ,50Hz/60Hz 单相交流；输出接口： L16、SL16标准同轴接头；长寿命: 进口晶体管，24小时连续工作，使用30年以上。整机效率： 65操控模式： 手动操控；远程操控保护电路： 驻波保护，过热保护显示： 正反向输出功率数码管显示；本地/遥控，连续波/脉冲，功率输出开关，过热，驻波保护LED显示四 使用操作方法（一）面板、背板布局及操作说明射频电源前后面板示意图如下： 注：RSG-I、RSG-II 连续波输出，无脉冲调制功能。RSG-IP、RSG-IIP 有脉冲调制功能，如用户需要脉冲调制器，则需另外配置1. 电源开/关 压下整机电源接通2. 正向功率 显示射频电源输出正向功率3. 反向功率 显示射频电源输出反射功率4. 本控/遥控 按下电源工作状态切换到计算机控制状态（合计算机接口使 用），弹出则工作于手动调节控制状态5. 连续/脉冲 按下射频源切换到脉冲状态（需用户从背板Q9接头输入TTL脉冲电平）；弹出则工作于连续状态，输出连续波6. 输出开/关 按下射频源输出功率7. 功率调节 调节输出功率输出大小8. 电源指示灯 电源开/关按下时点亮9. 本控指示灯 本控/遥控弹出时点亮10.遥控指示灯 本控/遥控按下时点亮11.输出指示灯 输出开/关按下时点亮12.连续指示灯 连续/脉冲弹出时点亮13脉冲指示灯 连续/脉冲按下时点亮14.过热指示灯 机器内部过热时点亮闪烁15.驻波指示灯 反射过大时点亮闪烁16.控制接口 连接主机控制射频电源17.射频输出 L16,SL16标准接头18.脉冲输入 外接脉冲信号19.保险丝 10A20.交流输入 AC 220V/50Hz（二）使用操作方法1. 按照系统接线图连接，连接示意图如下：2. 通过同轴电缆将射频电源后面板“射频输出”与匹配箱后面板“射频输入”连接，匹配箱“射频输出”与负载的射频输入接口正确连接。3. 将射频电源后面板“交流输入”和匹配箱后面板“交流输入”接口（RSG-II匹配箱自带风冷）连接到220V/50Hz交流电源上。4. 将射频电源“功率调节”旋钮逆时针调至最小，按下射频电源前面板“电源开/关”按钮，使射频电源开机，射频电源前面板“电源”指示灯亮。5. 操控模式：（1）本控模式：a. 射频输出 断开射频电源“本控/遥控”开关，使机器处于本控模式，此时“本控”灯亮。按下前面板“输出开/关”按钮，射频输出，“输出”灯亮；调节“功率调节”旋钮，即可输出所需要的射频功率。b. 关闭射频 调节“功率调节”旋钮，使输出功率为零；按下射频电源前面板“输出开/关”按钮，射频停止输出，“输出”指示灯灭。（2）遥控模式： 将功率调节旋钮逆时针调至最小，弹出“输出开/关”，按下“本控/遥控”开关，使射频源工作于遥控状态，此时“遥控”灯亮。通过射频电源后面板“控制接口”与外控电路连接。miniD型插头引脚功能如下： 1脚 控制射频输出开关机； 2脚 GND 3、4脚 故障报警，正常状态下为常开，出现故障时（驻波保护或过热保护）两脚闭合 5脚 输出功率大小控制6脚 GND注：5、6脚功能根据用户要求选配a. 射频输出 在“控制接口”的1针和2针加+24v电压（1针接，2针接），射频输出，“输出”灯亮；调节“功率调节”旋钮，即可输出你所需要的射频功率。若用户需计算机控制输出功率大小，则在5、6脚加0-5V模拟电压即可控制输出功率b. 关闭射频 调节输出功率，使其处于较小值；在“控制接口”的1针和2针加0 v电压（1针接，2针接），射频停止输出，“输出”指示灯灭。6. 按下“输出开/关”，顺时针调节射频电源前面板“功率调节”旋钮，逐渐增加射频电源输出功率。7. 若使用脉冲调制，将调制器输出与射频源后面板“脉冲输入”相连接，调整调制器重复频率、占空比，按下“连续/脉冲”按钮，即可得到所需射频输出。脉冲调制器具体使用见附录。8. 在低输出功率下，调整射频网络匹配箱的“匹配调节I”和“匹配调节II”，使反射功率较小，入射功率较大状态，调节完成之后，调整“功率调节”旋钮，增加输出功率，微调网络匹配，使其处于最佳匹配状态。 机器内部设有驻波保护电路，当反射功率较大时，射频源前面板“驻波”指示灯将闪烁，蜂鸣器响起，若在30秒之内未将驻波调至安全状态下，射频源将停止功率输出。遥控状态下，控制接口3、4两脚将由“常闭”变为“常开”。五 注意事项1 使用时保持射频电源两侧进出风口畅通，以免造成散热不良。2 开机前检查同轴电缆是否开路和短路，负载是否可靠连接，绝对禁止负载开路或短路时开机，否则将损坏机器。3 在系统初始调试或更换系统终端时，应在射频电源输出功率在满功率1/4左右，仔细调节匹配箱，将反射功率调至较小，然后才可进一步将功率加大。否则，驻波过大，将引起频繁驻波保护，系统不能正常工作，甚至损坏设备。六常见故障现象及维修1. 射频电源无法开机 检查220V交流电是否接通，射频源交流输入插座是否接触不良，保险丝是否烧断。2过热保护检查风机是否正常工作。散热不佳，机器内达到一定温度，系统会自动保护，切断射频功率输出。3驻波保护射频电源反射较大时，驻波保护报警，系统会延时30秒左右，供用户把反射功率调到最小。如30秒后反射功率仍然太大，系统会切断射频功率输出，“驻波”指示灯亮，蜂鸣器长鸣。检查射频源与匹配箱同轴电缆、匹配箱与终端负载同轴电缆，是否有开路、短路现象，有则更换同轴电缆。4. 机箱静电 检查射频电源，匹配箱所接3孔插座是否真实接地。七产品标准1 产品执行GB8702-88 电磁辐射防护规定。2 产品执行GB4824.1-84 工业、科学、医疗射频设备无线电干扰辐射允许值。八射频脉冲控制器1. 前后面板示意图如下：2. 各按键、接口功能作用脉冲调制器为一个单独模块，频率由“F+”和“F”手动控制，用户既可以通过手动方式控制其脉冲占空比，也可利用控制接口使用模拟信号控制其占空比。脉冲形式为方波输出。用户如若不使用脉冲功能，可不将脉冲调制器联入系统中，并使射频输出处在“连续波”工作模式下即可。(1) 前面板功能键说明F+ 频率增高 F 频率降低 D+ 占空比增大 D 占空比减小M 控制模式切换键(2) 界面a. 控制接口 9芯D型插座，0-10V电压控制信号，指针1接，指标2接。b. 信号输出接口 Q9插座，接到射频电源的“信号输入”接口，调制脉冲。c. 信号监测接口 Q9插座，供调试及维修人员专业使用。(3) 控制模式 “M”控制模式切换键。有“A”和“b”两种模式可供用户切换。“A”模式： 此模式为全手动模式，在此模式下，频率和占空比通过“F+”、“F”、“D+”、“D” 四个功能键设置。 “b”模式： 在此模式下，频率由“F+”和“F”两个功能键设置，占空比由外部010V信号（由外控接口输入）控制。电压及占空比范围如下线性关系变化：(4) 调制频率用户可选择的脉冲重复频率为：100Hz、200Hz、500Hz、1KHz、2KHz、5KHz、8KHz、10KHz、12.5KHz、13.5KHz、15KH、