E型电子束蒸发器.doc

E型电子束蒸发器（电子枪）使用说明书 成都南仪电子电气有限责任公司目 录一、 概述二、 主要技术参数三、 结构说明四、 使用方法及注意事项五、 常见故障及消除六、 备件E型电子束蒸发源一.概述 本蒸发源系坩埚由电机直接驱动、电子束偏转角为270、用于蒸镀各种金属和非金属材料的磁偏转式E型电子束蒸发装置。二、主要技术参数1、电子束偏转角 2702、阳极电压 6KV、8KV二档3、阴极加热电源 AC 3V+3V，60A可调4、束流 间冷坩埚0500mA 直冷坩埚01A5、坩埚容量（标准型）4孔间冷 417 mL4孔直冷 422 mL环形直冷 85 mL6、磁场电源 X偏转电流 2A可调扫描频率 10250HZY偏转电流 2A可调扫描频率 10250HZ7、启动真空度 6.710-3Pa8、坩埚定位(四孔坩埚) 电控自动或手动点控9、坩埚冷却水进水温度 25进水压力 0.2MPa水流量 8L/min10、电子枪体接地电阻 4 三.结构说明1. 电子枪电子枪是产生电子束的部件,由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。加速电压采用负高压，阴极和栅极处于相同的负电位，阳极接地电位。阴极由交流供电加热，使之发射电子，电子受栅极电位的影响，在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在X方向磁场（左为S极、右为N极）的作用下，电子束得到进一步聚焦并偏转270射入装有被镀膜料的坩埚中，其动能变成热能使材料蒸发沉积于基片上，达到所需膜层的要求。2X、Y偏转和扫描 X、Y偏转线圈采用铝金结构。 改变X线圈电流大小，电子束可作前后移动；改变Y线圈电流大小，电子束可作左右移动。通过调整X、Y线圈电流大小，可使束斑射于膜料的所需位置上。通常使Y线圈偏转电流为零，调整X线圈电流，使束斑居于坩埚中心位置。 若再给X、Y线圈加上交变电流，则电子束可在膜料上作不同幅度（圆或其它形状）和频率的自动扫描。3冷却水 正常的冷却水是保证不损坏坩埚及密封胶圈等部件的关键，欲达到技术指标中的供水要求，请用户给电子束蒸发源单独供水，而不要由主机的供水管供水（参见图1）；并在工作中随时监视水流情况。未达到供水要求，严禁使电子枪工作。4四孔坩埚的定位 坩埚由电机直接驱动，电机加电则转动，失电则停止。用户可选用手动点控或电控自动任一方式定位。 手动点控是电机的加电、失电由手动控制，这种方式可使坩埚孔停在您需要的位置处，比较随意。 电控自动系借转动轴上的碰块与四个分度90的微动开关相互作用使坩埚停在规定的位置处。出厂前碰块与微动开关相对位置已调好，不许乱动。若出现坩埚孔穴与铜遮板孔错位时，可按照以下方法调整：a. 坩埚孔偏离遮板孔左侧（如图2）。发生这种情况是因为转轴上的碰块偏右而提前将微动开关接通所致，可将转轴上三个螺钉松开，将碰块微微向左转一点，再拧紧三个螺钉后通电试之，直至二孔对中为止。b. 坩埚孔偏离遮板孔右侧（如图3）。这种情况与a情况相反，可按与a相反方法处理即可。c. 四孔中仅一个孔不对中时，可仅调整与之对应的微动开关的进出量即可，即把固定微动开关的二个螺钉松开，将开关向内或向外调一点后,再拧紧螺钉即可。 四、使用方法及注意事项 供安装的组件 高压绝缘子组件 件 水管接头 件 、偏转供电端子组件 件 坩埚主轴组件 件 磁极组件 件 以上组件在真空室底板（厚22mm）上的安装孔为33.5mm。 安装中的主要尺寸 坩埚主轴组件（如图所示）2. 导磁组件（如图所示） 电子枪打火及减少打火次数的措施电子枪在蒸镀时，由于电子束中的电子与气体分子和蒸发材料的蒸汽发生碰撞产生的离子轰击带负电高压电极及其引线，即产生打火。另外，若这些带负高压电的部分有尘粒等杂物，会使该处电场集中也容易打火。故电子束蒸镀设备的高压电源都附有高压复位装置，在打火时自动切断高压，然后又自动恢复，切断与恢复的时间愈短，愈不会影响蒸镀工艺。 此外，为了减少打火次数，在安装和使用中应注意以下几点： 高压引线（汇流条或3铜线）应尽量短，并用接触良好的不锈钢板屏蔽住（由用户实施），不要追求美观把引线弯来弯去。 枪头金属件（阳极、栅极及其支架）和引线定期用细砂纸打光，然后用丙铜清洗干净。更换灯丝时灯丝座上的螺孔应用丝锥理孔，以便螺钉上下方便并保证螺钉压的很紧。 所有陶瓷件污染后应予更换。 电子枪体应可靠接地。 对放气量大的材料应充分预热以彻底除气。蒸膜时功率要适当，不可过大而造成材料飞溅。 高压馈线（真空室内外）与高压绝缘端子的金属件的接线一定要可靠并经常检查。以免增大接触电阻造成发热而烧坏。 蒸发档板应高一于蒸发源70mm。 束斑与功率 束斑的大小与阴极位于栅极孔中的位置密切相关，图所示给出一般常用位置关系。H小则束流亦小，h大则束斑大束流亦大。 调整时应兼顾束流（不宜过大）、功率和蒸发速率，一般追求高的功率密度而又不使膜料飞溅，再配以动态扫描使膜料不致产生凹坑最为理想。此外，每次应将膜料加满坩埚，以利于提高蒸发速率。但膜料不可高出坩埚的上平面，以免有碍转动。5.工艺方法:用户可根据不同的材料,选用以下两种工艺方法.6.操作及注意事项 电子枪工作前必须检查水流是否正常.工作过程中务必保证水压、水流量指示,否则将造成坩埚损坏。 电子枪起动真空度6.710-3Pa。 蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热，预热电流为0.6A，预热时间新阴极5分钟以上（应缓慢调至0.6A，以防阴极变形），旧阴极2分钟即可。 蒸发前对材料先预热除气。 蒸发完后，按下列顺序关闭高压电源：关蒸发档板关闭高压灯丝电源调至预热0.6A的位置关闭束流调节电源并调至最低位置关闭磁场电源。工作时操作顺序与此顺序相反。 电子枪灯丝停止加热后，要停留10分钟以上才能向蒸发室放气。五 常见故障及消除故障原因消除高压加不上1冷却水未打开或水压不足2门未关好，门开关未闭合1打开冷却水，加足水压2使门开关闭合高压跳火1蒸发速率过快2，材料放气量大3束斑位置不对4高压绝缘不佳1适当调整功率2延长材料除气时间3调整束斑至坩埚内4更换枪头的瓷件高压正常，线圈电流正确，但坩埚中没有束斑1，主磁场极性不对2线圈匝间短路3没有束流1调整X线圈引线位置2检查线圈阻值3灯丝引线松动，取下拧紧，灯丝已老化，更换新灯丝材料飞溅1.束功率密度过大2.材料形态不佳1加上扫描电源，减少束流2.对材料先作造型或进行预熔处理注： 此说明书适用于5KW、6KW、8KW及同类型电子束蒸发器。六 备件表序号名称材料数量1密封圈7.535261真空橡胶62密封圈28.535261真空橡胶23密封圈32.535261真空橡胶44密封圈7045261真空橡胶25密封圈16362(真空)5261真空橡胶46密封圈14.834. 92(水封)5261真空橡胶47