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工具 : 保存到我的收藏我的下载给朋友发送Email打印页面支持和服务 产品特性观察和测量原理使用两种光源（短波形激光和白色光源）关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。测量原理VK-9700 采用了短波长紫色激光和白色光源。通过这两种光源获得构建彩色超深度高清3D图像所需要的颜色、光亮、高度等信息。测量原理之示意图短波形激光束检测反射的光强和高度VK-9700 的激光光源是点光源，所以通过 X-Y 扫描光学系把观察视野以 1024 X 768 的像素来分割扫描，用这样的受光素子来获得每个像素的反射光亮。在 Z 轴方向移动对物镜并重复扫描来获得每个像素的Z轴位置的反射光亮。光亮最强的 Z 轴位置为焦点获取高度信息和反射光亮。由此获得全图像都聚焦的高清超深度图像和显示高低的图像 (信息) 。CCD 摄像机获取颜色信息使用彩色 CCD 摄像机检测白光源的发射光。CCD 摄像机在每个像素的基础上，使用激光束获取峰值 (焦点) 的颜色信息。因此 VK-9700 可以完成 SEM 无法实现的真彩观察。获得的数据说明平面上的每个像素 (1024 X 768 像素)，如下图所示在每个Z 轴位置获得反射光亮的信息，取得反射光亮最强的 Z 轴位置 (焦点位置) 及在此点上的反射光亮和颜色信息。基于此信息构建彩色超深度光亮超深度高低图像。测量后创建的三种图像彩色+光强信息彩色超深度图像SEM 和光学显微系统都无法提供的高清图像。光强信息光强超深度图像SEM 提供的黑白高度对比度图像。显示目标物表面上的反射率差。高低信息高低图像突出目标物不规则性的图像。使用针孔共聚焦光学系统进行高精度测量传统的虚拟共聚焦光学系统使用 CCD 作为光接收元件，由于存在峰值 (焦点) 以外的点的反射光或临近像素的干扰光，所以无法进行高精度的测量和高清晰度的检查。针孔共聚焦光学系统能够完全消除峰值 (焦点) 以外的反射光，可以进行高精度的测量和高清晰度的观察。针孔共聚焦系统和传统系统的差异针孔共聚焦光学系统和传统系统的峰值 (焦点) 检测。传统的光学系统从峰值 (焦点) 以外的点接收光，使图像散焦。针孔共聚焦光学系统只从焦点接收反射光。针孔共聚焦光学系统以高精度找出峰值 (焦点)，并提供聚焦的清晰图像。通常光学显微系统提供的图像VK-9700 系统提供的
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