E8机台115钢线项目试验报告(第二阶段).doc

试验报告一、 试验名称115钢线项目试验二、 试验对象E8、E9切片机台三、 试验目的增加出片率，降低单片硅片制造成本。四、 试验步骤（第一阶段）1、 由切片二部从仓库领取直径115um贝卡尔特钢线，使用前分别在E8、E9机台上安装好0.345mm、0.348mm槽距的导轮，同时选择1200#碳化硅； 2、 工艺设置如下：E8、E9机台砂浆循环方式如下：100%旧砂100%旧液，单刀抽全部打450KG； 3、 本次试验采用32工艺切割，试验晶棒长度定在920-950mm； 4、 由研发技术部技术员跟踪每刀距1F尾部15-20mm左右处的硅片和1F位中间位置的硅片，查看是否存在线痕，拍照记录，进行归档； 5、 每卷钢线使用完毕，由研发技术部技术员取每个工字轮的废钢线样品，交由贝卡尔特工程师钱培君，由其负责测量椭圆度、磨损率，记录并收集数据； 6、 由品管安排IPQC跟踪本次试验，如有异常须及时通知研发技术部当班技术员； 7、 最后由研发技术部对本次试验得出结论。 补充说明：本次为115项目第三次试验（项目RD号：020），期间涉及到的物 料可以由切片二部安排好物料员单独开单领取。 五、 试验分析1、本阶段只在E9上进行了切割，具体数据如下：切割编号A品率装载长度(mm)台速(mm/min)线速(m/s)液砂抽打量E9-110717-2-192.09%9080.3213和荣100%佳明100%全抽+440kgE9-110718-1-294.21%9240.3213和荣100%佳明100%全抽+440kgE9-110718-2-394.91%8870.3213和荣100%佳明100%全抽+440kgE9-110719-1-444.75%9110.3213佳明100%佳明100%全抽+440kgE9-110719-2-574.62%9010.3213佳明100%佳明100%全抽+440kgE9-110720-1-668.24%9230.3213奥克100%佳明100%全抽+440kgE9-110720-2-70.00%9050.3213奥克：佳明=5:5佳明100%全抽+440kg2、将上面主要数据绘制成折线图，如下： 备注：E9从第4刀开始A品率急剧下滑，原因主要BA品标准的出现，导致一些轻微 崩边和轻微线痕不能判为A品，以BA品出货。3、 考虑到BA品标准的导入，大大影响着E9的A品率，在此将E9 与其他机台做如下对比：BA品标准实行前日期砂浆使用机台理论片数A品数A品率崩边率线痕率硅落率TTV率脱胶破片率隐裂率断线率7.117.17100% 回收砂E1-E10（从15号开始增加E11-E13）39276635145789.49%1.51%1.90%1.01%1.07%0.96%0.24%4.67%7.177.18100% 回收砂E97843735393.75%1.96%0.66%0.84%0.09%0.54%0.23%0.00%BA品标准实行后（7.197.20）砂浆使用机台理论片数A品数A品率崩边率线痕率硅落率TTV率脱胶破片率隐裂率断线率BA崩边率BA线痕率100% 回收砂E1-E10（从15号开始增加E11-E13）1128489806586.90%1.86%1.36%0.97%0.61%1.19%0.28%1.66%3.03%1.42%100% 回收砂E9（包含断线的第7刀）10468492147.01%1.90%4.38%1.10%0.13%1.31%0.32%25.00%7.30%31.52%100% 回收砂E9（不包含断线的第7刀）7867492162.55%2.02%5.59%0.95%0.18%1.35%0.33%0.00%9.62%15.02%分析：（1）BA品标准实行前，较使用100%回收砂的E1E13机台相比，E9实验机台A品 率高，仅崩边率高于E1E13机台； （2）BA品标准实行后，不论是包含断线还是不包含断线，E9实验机台A品率低于 E1E13机台，主要不良为BA崩边率、BA线痕率。 （3）包含断线的第7刀，E9机台A品率=47.01%+7.30%+31.52%=85.83% 不包含断线的第7刀，E9机台A品率=62.55%+9.62%+15.02%=87.19% 不难看出，85.83%86.90%87.19%，不考虑BA的话，E9机台切割A品率与 120钢线相当。4、 实验机台硅片厚度硅片厚度落在区间【189,195】内硅片厚度落在区间【188,198】内硅片厚度落在区间【186,198】内 通过对实验机台前三刀1F位硅片厚度进行正态分布统计，可以看出硅片厚度均在【180,220】标准范围内。5、 钢线磨损量 通过对每刀收集的废线进行线径的测量，发现钢线磨损量均在910m之间，不难看出在E9机台的切割工艺下，钢线的性能完全可以满足实验需求。六