酸洗作业指导书1.doc

江西豪安能源科技有限公司酸洗作业指导书目的：对硅多晶、复拉料、埚底料、籽晶、母合晶、石英坩埚进行化学腐蚀清洗，消除其杂质玷污，以满足硅单晶生产的需求。规范拉单晶的作业操作程序，提高作业效率，从而保证拉出合格的单晶。用材料及使要求硅多晶：经检验合格的块状多晶（用于直拉单晶）复拉料：经分选测试合格埚底料：经分选测试腐蚀合格籽晶：经检验合格母合晶：经检验合格石英坩埚：经检验合格去离子水：水质15M、8T/h定性滤纸：规格550550mm无尘塑料袋：规格33.556cm，壁厚0.45mm（多晶硅10kg/袋）化学试剂（分析纯）：硝酸、氢氟酸其他辅助材料：纱布、毛巾、口罩、塑料围裙、塑料袖套、耐酸袖套、耐酸雨鞋、薄膜手套。石英坩埚（无尘包装）规格：406（16”）-606（宽）670（高）；456（18”）-457（宽）700（高）设备及常用工具设备1） 腐蚀柜、酸雾处理塔2） 排风机 15KW，7000L/h3） 电热烘箱 24KW，温度150-1804） 电加热器5） 电光分析天平 型号TG328B6） 磅秤、电子称7） 塑料袋封口机 型号FKR-4508） 脱水机常用工具不锈钢盘、不锈钢镊子、螺丝刀、剪刀、塑料钳、塑料勺、塑料棒、塑料桶、塑料盆、塑料花篮（取氟乙烯塑料）、塑料漏斗、平光眼镜。技术要求硅多晶原料1） 硅多晶尺寸范围：块状硅多晶具有无规则的形状和随机尺寸分布，基线性尺寸最小为5mm，最大为100mm。2） 结构：硅多晶应无石墨及石墨扩散层，表面结构应致密、平整（断面边缘颗粒不在于3mm）。3） 经酸蚀去硅多晶表面玷污，外观应无色斑、变色、无可见的污染物。复拉料、埚底料1） 要求每块不分大小先用单晶型号鉴别仪测导电类型，N型和P型严格分开，绝对不能混淆；2） 要求每块不分大小用四探针电阻率测试仪测电阻率， a、 0.2-0.5.CM,b、0.5-1.0.CM,c、1-3.0.CM,d、3-5.0.CM,e、5-10.0.CM,f、10-30.0.CM,g、30-50.0.CM,h、50.CM以上；各为一档；3）尺寸要求直径长度超过100mm的，用不锈钢锤破碎，尺寸在5-100mm之间。籽晶、母合金：籽晶及母合晶的型号、掺杂物浓度等都必须符合要求，此外，籽晶尚有晶向的要求，经酸腐蚀后外观应无色斑、变色，无可见的污染物。石英坩埚电弧石英玻璃坩埚外观要求：1） 内表面必须抛光，不允许有未熔融的原料粉、杂质附着物、无光泽凹坑以及距内表面1mm以内的气泡。2） 口边端部无明显的切割毛刺，不得有缺口，口边内外必须倒角均匀。3） 表面不允许有裂纹、波纹。4） 外表面经研磨后未熔融的附着物（石英粉末），若经氢氟酸腐蚀仍呈砂状消落，则不允许。操作步骤配置酸腐蚀液1） 硅的腐蚀液配比：HF:HNO31:82） 籽晶、母合晶的腐蚀液配比：HF:HNO31:93) 石英坩埚的腐蚀液配比：HF:H2O10:100硅原料（碳硅料、复拉料、埚底料）酸洗，有沾油污和油性笔迹的复拉料必须先用丙酮纱布擦净。1） 开启排风机，将多晶料倒入塑料篮内（每篮重量约10-15kg左右）。放入按5.1 1）配比好的腐蚀液旧液，直至完全浸没多晶为止。2） 用塑料棒不断地搅动多晶，时间约3-5分钟，当冒出大量黄烟，并看到硅多晶表面发亮时，立即取出放入按5.1 1）配比好的腐蚀液新液直至完全浸没多晶为止，（旧酸液腐蚀过第一次多晶后为废酸，旧废酸灌装回空酸桶回收）。3） 用塑料棒不断搅动多晶约3分钟，当冒出少量红棕色烟时，立即取出迅速放入一盛有去离子水的槽里用大量冷去离子水冲至中性，冲洗时注意不能让多晶露出水面，以免多晶氧化，腐蚀槽内的旧酸液可用于下批多晶料的第一次酸洗。4） 把冷去离子水冲至中性的多晶放入热去离子水池中洗数遍，用PHG-2000智能酸度仪检测直至达到要求为止。5） 冲洗完，塑料篮中的多晶装入甩干机甩干，帅干完的多晶装入不锈钢盘中送入电热加温烘箱烘干控制温度150度，时间4小时。6） 烘干取出待温度降至常温，带上薄膜手套，装包装袋前每块多晶都要目检，如发现现有带石墨氧化未洗干净的挑选出来冲洗。在磅秤上称多晶重量（按产品要求分类），再分装入塑料袋内在封口机上封口，准确填写多晶编号，附在塑料袋上，然后入库（中间仓库）。玷污的石英坩埚酸洗（电弧石英玻璃坩埚酸洗）1） 把石英坩埚浸入按配比好的清洗液中（坩埚完全浸没为止）浸泡10分钟，然后戴上防酸手套，小心取出立即用去离子水冲洗数遍，先用冷去离子水，后用热去离子水。2） 把冲洗干净的石英坩埚放入电热烘箱内烘干。3） 烘干的石英坩埚取出后自然冷却至室温，用无尘塑料袋包装好，再放入泡沫塑料盆后入库。注意事项1. 操作者工作前要穿戴好工作服、工作帽、口罩、手套，开启排风机，检查吸风是否正常。2. 硅多晶按生产厂地不同分类清洗，并做好产品编号，以防混料。3. 清洗干净的硅多晶、籽晶、母合晶石英坩埚不宜长时间暴露在空气中，应及时包装。4. 清洗石英坩埚，注意轻拿轻放，以防相互碰撞而崩裂、损伤。5. 酸洗时注意安全操作，防止氢氟酸、硝酸溅到皮肤上，如被酸烧伤则立即用大量自来水冲洗，严重的应马上送医院治疗。6. 下班前关上总电