FM-67-005 安全关键作业及对应作业文件一览表.doc

xx公司安全关键作业及对应作业文件一览序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门1.外延区未按规定配备灭火器按规定定点配置与管理灭火器安全防火管理规定WI-91-003安全主任2.外延区外延岗位生产过程石英件破损定期更换石英件使用前检查外延车间安全操作要求WI-91-007外延工艺3.外延区外延岗位可燃、可爆的特气泄漏装氢气报警装置设立浓度超标排风连动使用防爆电器使用非铁器工具外延设备安全配置与要求外延安全生产操作规程WI-91-007外延工艺4.外延区外延岗位有毒特气的泄漏安装特气检测仪设置抽风指示标识外延设备安全配置与要求WI-91-007外延工艺5.外延区外延岗位冷却水接头未接好或阀门未开引起炉子超温定期检查接头、阀门安装冷却水报警装置外延设备安全配置与要求WI-91-007外延工艺6.外延区外延岗位密封圈损坏定期更换密封圈；外延安全生产操作规程WI-91-007外延工艺7.外延区外延岗位镀金板烧熔溅到钟罩定期检查及时更换有黑点的镀金板外延安全生产操作规程WI-91-007外延工艺8.外延区更换特气钢瓶泄漏配备防毒面罩；气柜抽风；用检漏液检查；用检漏仪检查外延安全生产操作规程WI-91-007外延工艺9.仓库。危化品储存风扇通风口没有遮蔽罩或遮蔽罩孔太大包装物或容器被老鼠咬破溶液逸出按规格装好遮蔽罩仓库安全管理制度WI-91-004管理部10.仓库。危化品储存危化品禁忌物同库存放按危化品配伍表执行仓库安全管理制度WI-91-004管理部11.仓库特气储存特殊气候雨水进入特气库与遇水反应的化学品接触关门窗遇特殊气候调整危化品位置仓库安全管理制度WI-91-004管理部12.仓库化学试剂:运送危化品禁忌物混合运输运输装车时按危化品配伍表执行仓库安全管理制度WI-91-004管理部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门13.仓库特种气体储存阀门或密封圈损坏泄露A. 强制通风B. 定期检查阀门有无泄漏.C. 不允许使用铁制工具；D. 气瓶带防护帽仓库安全管理制度WI-91-004管理部14.仓库特种气体储存阀门未带防护帽A、气瓶带防护帽仓库安全管理制度WI-91-004管理部15.仓库特种气体储存气瓶承压不够A.定期检定钢瓶；B入库时检查钢瓶的有效期限。仓库安全管理制度WI-91-004管理部16.仓库特种气体:到货卸车跌落或不规范卸车按规定卸车,使用搬运工具特种气体安全管理制度WI-91-019管理部17.送料特种气体:运送钢瓶运送时坠落 专用搬运工具、限制、捆扎、固定搬运、包装、防护及交付控制办法WI-78-008管理部18.送料特种气体:运送遇水反应的特气雨天运送时沾水避免雨天运送若雨天运送时用防护罩密封防水处理搬运、包装、防护及交付控制办法WI-78-008管理部19.设备部机械维修试机时触电在插座前安装一个漏电保护器强电设备维修安全管理规定WI-91-013设备部20.设备部手电钻、冲击钻无漏电保护器设置额定漏电动作电流不大于毫安、动作时间不大于.秒的漏电保护器移动式工具的管理、使用、检查和维护的管理规定WI-62-012设备部21.设备部手电钻、冲击钻手电钻/冲击钻漏电定期测绝缘电阻：大于1兆欧移动式工具的管理、使用、检查和维护的管理规定WI-62-012设备部22.设备部手电钻、冲击钻电线破损更换破损接线移动式工具的管理、使用、检查和维护的管理规定WI-62-012设备部23.设备部设备开关更换更换时未断电操作前进线电源处用电笔测试做好防护措施或使用绝缘垫特殊设备装置检修规定WI-62-001设备部24.设备部设备开关更换在前级电源开关处未挂标志牌按规定悬挂表识牌特殊设备装置检修规定WI-62-001设备部25.设备部真空设备高压维修断电维修时未对高压设备放电设置警示标志高压部位悬挂放电棒高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部26.设备部真空设备高压维修维修时未断电，进入高压区做好防护措施或使用绝缘垫高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门27.设备部真空设备高压维修试机或恢复时门未关试机或恢复时人在门外按规定设定监护人在明显位置设置警示标志高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部28.设备部真空设备高压维修试机或恢复时无监护人按规定设定监护人高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部29.设备部真空设备高压维修未查明高压状态进入维修操作人查明高压状态，监护人确认后方可进入维修高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部30.设备部维修溅射台未关闭射频电源关闭需要维修的高压电源，并确认高压显示表头没有高压显示高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部31.设备部干刻设备高压测试高压测试时人太靠近测试点测试时人必须在门外；测试仪器接线时确认高压已断电和已放电高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部32.设备部干刻设备高压维修维修时未对高压设备放电设置警示标志高压部位悬挂放电棒高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部33.设备部干刻设备高压维修维修时未断电做好防护措施或使用绝缘垫高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部34.设备部干刻设备高压维修试机或恢复时门未关试机或恢复人在门外按规定设定监护人在明显位置设置警示标志高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部35.设备部干刻设备高压维修试机或恢复时无监护人按规定设定监护人高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部36.设备部干刻设备高压维修未查明高压状态进入维修操作人查明高压状态，监护人确认后方可进入维修高压设备维修安全管理规定WI-91-012设备部37.设备部干刻电磁阀维修拆卸前未断电测试时人必须在门外；测试仪器接线时确认高压已断电和已放电特殊设备装置检修规定WI-62-001设备部38.设备部干刻RF 电源维修拆卸时未断电在电源开关处挂牌、操作前先关空开，拔下插头、监护人再确认特殊设备装置检修规定WI-62-001设备部39.设备部干刻RF 电源维修试机或恢复时，外壳未装人员触电先装好外壳再开机监护人再确认特殊设备装置检修规定WI-62-001设备部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门40.溅射台维修RF 电源维修未关闭射频电源规范操作关电源后开机盖监护人再确认特殊设备装置检修规定WI-62-001设备部41.设备部光刻维修拆激光发生器时未关机规范操作关电源后开机盖监护人再确认特殊设备装置检修规定WI-62-001设备部42.腐蚀清洗间腐蚀清洗岗位配液时酸液溅出操作时沿槽壁缓慢倒入；佩戴耐酸手套，围裙，防护眼镜，袖套湿法工艺化学试剂规格及使用管理规定WI-75-709湿法工艺43.腐蚀清洗间腐蚀清洗岗位有机物与无机物，酸与碱、氧化剂混放分类别隔离存放湿法工艺化学试剂规格及使用管理规定WI-75-709湿法工艺44.腐蚀清洗间腐蚀清洗岗位放片时酸液溅起佩戴围裙，防护眼镜，袖套湿法工艺化学试剂规格及使用管理规定WI-75-709湿法工艺45.扩散区换源大量BBr3接触水保持换源柜清洁干燥；缓缓倾倒、源溅出时，将源转移到干燥的强抽风处，人员撤离换源作业指导书WI-75-108扩散工艺46.扩散区换源抽风停止源气挥发戴自给式防护面罩、关紧操作窗口，停止作业、通知空调班恢复抽风、紧急疏散人员换源作业指导书WI-75-108扩散工艺47.扩散区换源换源未戴防护用具配自给式防护面罩按规定换源时须两人在场；换源作业指导书WI-75-108扩散工艺48.扩散区换源开关阀门失误特气误排一人操作一人确认、气柜设置管路图设置阀门开关标识换源作业指导书WI-75-108扩散工艺49.扩散区扩散炉氢气泄漏H/O比例保护、点火温度保护、通氮气保护、炉口强制排风扩散停水、电、气应急处理规定WI-75-104扩散工艺50.扩散区扩散炉扩散炉超温设置温度报警、设置超温报警并有连锁装置、定期守炉巡视扩散停水、电、气应急处理规定WI-75-104扩散工艺51.干刻区换源更换过程误操作导致源气泄漏制定操作规范，对操作培训做到熟练上岗相关作业文件WI-75-6XX干刻工艺52.干刻区生产操作误操作制定操作规范，对操作培训做到熟练上岗相关作业文件WI-75-6XX干刻工艺53.干刻区设备维护误操作制定操作规范，对操作培训做到熟练上岗相关作业文件WI-75-6XX干刻工艺序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门54.真空区换源阀门误操作源气大量泄漏1、 对阀门进行标识和编号2、 阀门开启方向和限位标识3、 一人操作一人监护4、 设置排风装置NV3204注入设备维护规范NV1080注入设备维护规范NV3206注入工艺操作与设备维护规范WI-75-302WI-75-304WI-75-306真空工艺55.真空区注入过程开设备门开启设备门，人进设备区1、 规范操作2、 设置高压连锁装置3、 设置警示标志NV3204注入设备维护规范NV1080注入设备维护规范NV3206注入工艺操作与设备维护规范WI-75-302WI-75-304WI-75-306真空工艺56.真空区注入后开设备门未对高压部位放电设置高压放电棒；设置放电警示标志NV3204注入设备维护规范NV1080注入设备维护规范NV3206注入工艺操作与设备维护规范WI-75-302WI-75-304WI-75-306真空工艺57.蒸发坩埚清理刮刀与坩埚内镍金属刮擦产生火花被吸入吸尘器中刮刀清理坩埚后，再用吸尘器清理SE-1000蒸发台PM和QC规范WI-75-308真空工艺58.真空区配酸、碱溶液操作配置酸液时酸液溅出佩戴耐酸手套，围裙，防护眼镜，袖套背洗工艺作业规范WI-75-313真空工艺59.动力机房空压设备电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部60.动力机房空压设备运行时的噪声A、减少现场停留时间；B、戴耳塞。噪声控制管理规定WI-63-124动力部61.动力机房真空泵电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部62.动力机房空调系统电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门63.动力机房空调系统电加热系统超温安装超温报警传感器并连锁加热装置；定期检查超温报警传感器动力部64.动力机房水泵及其系统电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部65.动力机房冷水机组安全阀门损坏定期送检动力部66.动力机房冷水机组电机漏电机壳带电做好双接地；定期检查电机绝缘动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部67.制水车间制水设备氢氧化钠、酸溶液倾倒时的飞溅佩戴护目镜和防酸手套；规范操作超纯水制备反掺透系统作业指导书WI-63-101动力部68.制水车间设备控制柜触电/起火关好配电箱门；定期检查配电箱动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部69.制水车间电机电机漏电接地保护动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部70.污水站电机电机漏电接地保护动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部71.污水站设备控制柜触电/起火关好配电箱门；定期检查配电箱动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部72.配电房电工作业未配戴安全帽作业配戴安全帽；作业时相互检查动力部电气安全运行管理制度WI-63-116动力部73.配电房电工作业操作时未使用绝缘用具及用品按规范佩带与使用动力部低压电力安全作业规程WI-63-116动力部74.配电房电工作业绝缘用具及用品没有定检按规范执行动力部低压电力安全作业规程WI-63-116动力部75.配电房配电房配电房未设置警示标识按规范设置并定期检查动力部低压电力安全作业规程WI-63-116动力部76.配电房电工操作带电作业时无措施制定带电作业规范按规定设定监护人动力部电气安全运行管理制度电气管理制度、WI-63-116动力部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门77.全厂汽车汽车带故障运行出车前例行检查、定期维护保养交通安全管理规定WI-91-014管理部78.全厂汽车司机违章驾驶定期交规学习、进行事故案例教育交通安全管理规定WI-91-014管理部79.全厂汽车在危险路段行驶车辆减速、谨慎驾驶交通安全管理规定WI-91-014管理部80.全厂汽车在恶劣气候条件下驾驶尽量减少出车、减速谨慎驾驶交通安全管理规定WI-91-014管理部81.全厂上班途中穿越道路定期交规学习交通安全管理规定WI-91-014管理部82.办公大楼电梯货梯人货混装张贴警示标识电梯安全管理规定管理部83.福日股份制氢氢气爆炸定期提醒安全检查消防应急预案 管理部84.全厂雷击设置避雷针（强电）、设置隔离装置（弱电）异常天气生产应急预案异常天气动力应急预案WI-68-002生产部动力部85.全厂暴雨关窗、停止户外作业、检查排水系统异常天气生产应急预案异常天气动力应急预案WI-68-002生产部动力部86.全厂台风关窗、转移物资、加固危险设施、停止户外作业异常天气生产应急预案异常天气动力应急预案WI-68-002生产部动力部87.全厂消防系统烟感报警装置失效定期校验动力部88.设备维修电焊机无漏电保护器按规范配置电焊安全操作规程WI-91-016设备部89.设备维修电焊机无二次防触电保护装置按规范配置电焊安全操作规程WI-91-016设备部90.设备维修电焊机一次线大于5米按规范配置电焊安全操作规程WI-91-016设备部序号部门场所关键作业对应主要危害因素参考措施文件名文件编号负责部门91.设备维修电焊机一次线拖地架空设置电焊安全操作规程WI-91-016设备部92.设备维修电焊机电焊机接线端子无屏蔽罩上电前检查损坏及时修复电焊安全操作规程WI-91-016设备部93.设备维修电焊机电焊机外壳未接地上电前检查电焊安全操作规程WI-91-016设备部94.设备维修电