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2020 2 9 1 部門 內层課DES線報告人 盧岩報告日期 09 01 05 PCEBG CBD 營口 事業處 結業報告 2020 2 9 2 一 目的二 方法三 工作參數四 主要原物料五 日常保養六 參考資料 報告大綱 2020 2 9 3 一 目的 將感光膜上的線路影像 轉移成實際內层的銅面線路 2020 2 9 4 二 方法 1 DES線流程圖 2 設備名稱及設備示意圖 3 各設備或槽次工作目的及原理 2020 2 9 5 2 1DES線流程 顯影Develep 蝕刻Etching 剝膜Strping 1 顯影 Develop 利用未經過紫外線光照射的油墨溶於弱堿的原理 經碳酸鈉溶液去除掉露出的銅層 2 蝕刻 Etching 利用蝕刻藥液與銅的化學反應將顯影后所露的銅面蝕刻掉 3 剝膜 Strping 利用氫氧化鈉溶液將蝕刻后剩餘的油墨去除掉 2020 2 9 6 顯影段流程圖 顯影1 1 顯影1 2 顯影1擺动 顯影2加熱 顯影2 顯影2擺動 顯影1加熱 顯影新液洗 顯影新液洗加熱 液切風車 中壓循環水洗2 中壓循環水洗1 中壓循環水洗3 複合水洗1 複合水洗2 複合水洗3 顯影傳送 2020 2 9 7 蝕刻流程 蚀刻循环 蝕刻3摆动 蝕刻3加热 蝕刻1 1 蚀刻1摆动 蝕刻1 2 蝕刻1加热 蚀刻2 1 蝕刻2摆动 蝕刻2 2 蝕刻2加热 蝕刻3 1 蝕刻3 2 蚀刻补偿 中壓復合水洗1 1 循环水洗2 蝕刻輸送 中壓復合水洗1 2 中壓復合水洗1 3 中壓復合水洗1 4 循环水洗1 2020 2 9 8 剥膜段流程 剝膜1 1 剝膜1过滤 剝膜1加热 剝膜1 2 剝膜2 2 剝膜1风车 剝膜2 1 剝膜2過濾 剝膜2风车 剝膜2加热 中壓復合水洗2 3 中壓復合水洗2 1 中壓復合水洗2 2 中壓復合水洗2 4 酸洗处理 中压复合水洗3 1 中压复合水洗3 2 中压复合水洗3 3 中压复合水洗3 4 剝膜輸送 冷風吹1 冷風吹2 冷風吹3 烘乾加熱 熱風車 2020 2 9 9 2 3各設備或槽次工作目的及原理 水帘的作用1 清潔板面2 防止氣體漫出在蝕刻的反應中 會有少許的氯氣產生 在蝕刻前加水帘 一方面氯氣微溶于水生成的鹽酸可再參加反應 另一方面 由于水帘的作用和板的傳動帶動氣體形成回流氣體 從而防止氣體溢出 為了防止板面將水帶入蝕刻槽 固須在水帘后加阻水滾輪 2020 2 9 10 噴嘴 噴嘴的分類錐型噴嘴 扇型噴嘴 錐型噴嘴 扇型噴嘴 扇形噴嘴的橫斷面是狹長的扇形 其形成面積小 壓力大 蝕刻段均采用此種噴嘴 2020 2 9 11 噴嘴清洗與安裝 1 清洗 從噴管上卸下噴嘴 用清水沖洗其表面臟物 噴口處的殘膠則需用牙籤挑出 用牙籤而不用細鐵絲的目的是防止堅硬而不光滑的細鐵絲划傷噴口 導致噴淋均勻性降低 2 安裝 將清洗乾淨的噴嘴裝于噴管上 噴嘴與噴管垂直安裝 扇形噴嘴的噴口與噴管呈20o角 其目的是防止相鄰兩噴嘴在板子表面形成噴淋盲區 如下圖 2020 2 9 12 系統搖擺 分類斜管式搖擺 水平搖擺 水平搖擺 備注 兩種噴淋方式之噴洒面積相重疊之面積是不同的a b 優缺點 水平搖擺系統噴洒出來的藥水均勻性較好 有利于生產較細的線寬 線距 優缺點 斜管式搖擺系統洒出來的藥水均勻性較差 且其主軸易損壞 2020 2 9 13 傳送系統 馬達及傳動軸的作用 利用馬達提供傳動的動力 經傳動軸帶動滾輪輸送板子 傳動馬達 傳動系統分為 1 雙邊傳動 薄板 傳動滾輪比較細 且滾輪分布密集時 若單邊馬達帶動時需要很大的力量且對傳動滾輪所產生扭矩比較大 在作業過程中易造成基板傾斜卡板等不良 2 單邊傳動 厚板 傳動滾輪比較粗 且滾輪分布間距大 單邊馬達帶動時不需很大的力量且對傳動滾輪所產生之扭矩比較小 在作業過程中 不會造成不良影響 採用雙邊傳動只會增加成本 傳動軸 2020 2 9 14 傳送齒輪 傳動齒輪目的 將馬達之產生的動力利用齒輪進行轉接到傳動滾輪上 材質有金屬 PVDF等齒型有柱齒 傘齒 螺旋齒沾有藥液結晶 硬質顆粒時應用清水或藥液沖洗 傘齒輪 正齒輪 傘齒輪 2020 2 9 15 傳送滾輪 滾輪的作用 利用滾輪與PC板面之磨擦力帶動PC板傳動 弧形滾輪片用於一般水洗段或輸送段 EPDM用於特殊藥液段或烘乾段 2020 2 9 16 材質有不銹鋼 HCPP EPDM等功能 傳動板件 阻水 擋水功能 傳送滾輪 實心滾輪 擋水滾輪 作用 阻塞PC板帶上大量藥水或水流至下一槽 2020 2 9 17 軸心 材質 不鏽鋼 碳鉛 鈦 99 5 選用鈦軸心的原因 鈦金屬的一個顯著的特性就是性能穩定 耐腐蝕性強 由于它對氧的親和力特別大 能在其表面上生成一層氧化膜 可保護鈦不受介質腐蝕 因此 鈦在酸性 鹼性溶液中和氧化性介質中具有很好的穩定性 比不鏽鋼等金屬的耐腐蝕性好 而碳鉛則硬度低 易磨損 2020 2 9 18 材質 PP 網目為 60um 濾網 濾網作用 初步過濾藥液和水中雜質 防止阻塞噴嘴 減少濾心耗量 2020 2 9 19 過濾桶 過濾桶的作用 經泵莆將藥液和水注入過濾桶中 過濾桶內之濾芯將藥液和水過濾後傳給噴嘴 防止噴嘴阻塞 藥液過濾桶 2020 2 9 20 規格 20um長度 蝕刻段20 水洗10 過濾桶使用濾芯 濾網 濾心規格選則原則 濾網規格為20um是指過濾網之網孔大小長寬最大為20um在過濾過程中異物直徑小于20um以下均可透過濾網 內層一般生產之線路最小為5 5mil 則預估通過之異物最大為18um以內 約0 8mil 相應的規格為10um的濾網可過濾之異物的直徑小于10um 約0 4mil 依IPC 600F之標准在缺口小于線寬20 均可允收 而10um之濾芯價格比20um貴15 左右 故使用20um之規格濾網 2020 2 9 21 加熱器 加熱器的作用 提供熱量給藥液 使藥液保持生產所需之溫度 材質 不鏽剛 石英 鈦金屬等 2020 2 9 22 AQUA藥水檢測系統圖解 釣魚線 比重感應器 浮球 溫度感應器 銅電極 流量閥 氯酸鈉感應器 HCL感應器 2020 2 9 23 採用環型積體電路及快速晶體合成之電路板控制 利用電生磁 磁生電原理 以非接觸的方式量測溶液之導電率而計算溶液的濃度 溶液的濃度越大 則導電離子越多 相對的導電率則越高 當測定值低于設定值時 定量泵浦動作 供給鹽酸 鹽酸感應器 2020 2 9 24 利用標準浮球之浮力效應 轉換成位移 並使用精密光學之發射及接收器 非接觸光學 增加比重之再現性 以達到精確測量液體比重 測定值比設定值高時 電磁閥和泵浦動作 比重感應器 2020 2 9 25 採用積體電路及快速晶體合成之電路板控制 利用感應器湞測到碳棒及銅電極之間的電位差 并將電位差轉換成數值傳送至控制器測定值比設定值高時 電磁閥和泵浦動作 氯酸納感應器 銅電極 2020 2 9 26 三 工作參數 2020 2 9 27 2020 2 9 28 四 主要原物料 顯影 碳酸納40kg 包 工業級99 蝕刻 氯酸钠 盐酸剝膜 氫氧化納 2020 2 9 29 五 日常保養 5 1日保養項目 5 1 1氯化銅試驗 5 1 2清洗各水槽過濾網 5 1 3清洗各入料段 連接段滾輪及擋水滾輪 5 1 4清洗吸水海綿 5 1 5清洗各槽過濾網 5 1 6更換顯影槽藥水剝膜槽藥水 2020 2 9 30 5 2周保養5 2 1檢查軟管接頭5 2 2清潔風刀5 2 3更換各段濾芯5 2 4顯影去膜蝕刻點測試 五 日常保養 2020 2 9 31 1 2更換濾芯10 20 m濾芯更換 內層DES線共40個 1 更換時機 壓力表指針不在管控範圍內 小於範圍最小值 調節球閥仍上不去時 2020 2 9 32 3 注意事項a 更換濾芯時候確定在機器不生產的時候進行更換 若是在生產時候更換的話 沒有經過過濾的水進入槽體後 水中的雜質將粘貼在板子表面 造成殘銅現象 b 換濾芯的同時需要換水 槽體中的水已經有雜質 濾網表面漂浮的膜渣等 若只換濾芯而不換水 濾芯的使用壽命將會減短 2020 2 9 33 顯影點測試 1開機前準備涂完油墨未曝光之板作為測試板与合格的顯影液 濃度 1 16 2依開機程序作業在人機界面依次開啟顯影傳輸 顯影噴淋 顯影搖擺 顯影子槽加熱 水洗噴淋 風刀 3將顯影溫度 速度 噴壓調至標準範圍顯影液溫度 29 3 顯影上噴壓 1 4Kg cm2 顯影下噴壓 1 5Kg cm2顯影速度 3 3m min水洗壓力 1 0Kg cm2 2020 2 9 34 4顯影點測試A把測試板連續放入顯影機內 板間無間隙 板子要求能布滿顯影槽 當第一片板子的前端到達顯影槽體的最末端時 關閉顯影噴壓 2020 2 9 35 C讓PC板經過水洗段 从顯影段中檢段取出板子 把板子按放入的先後順序排在一起 對照槽長 觀察顯影點位置D觀察顯影點位置 無油墨區和有油墨區 兩個區域相接的地方就是顯影點 2020 2 9 36 1若板子在70 槽長時板面還有大量油墨或在50 槽長板面上便無油墨時 要將速度依次增大或降低0 2m min 在調整完畢後 要重複動作 當速度已經超出了管控範圍 3 5 0 5m min 可將壓力增大或減小 調整完畢後 仍要重複動作 直至結果OK為止 2020 2 9 37 蝕刻點測試 1開機前準備裁切剩餘邊料 2依開機程序作業在人機界面依次開啟蝕刻傳輸 蝕刻噴淋 蝕刻搖擺 蝕刻槽加熱 水洗噴淋 2020 2 9 38 3將蝕刻溫度 速度 噴壓調至標準範圍點檢機台 蝕刻液溫度 49 4 蝕刻上噴壓力 2 2Kg cm2蝕刻下噴壓力 1 4Kg cm2蝕刻速度 3 4m min水洗壓力 1 8Kg cm2 2020 2 9 39 A將銅基板 連續放入機器內蝕刻 B當板子的尾端到達槽長的50 70 時 要將蝕刻機的噴壓關閉 C讓PC板經過水洗段 从蝕刻段中檢段取出板子 之後按板子放出的順序排列在一起 觀察板面所形成的圖形在板子上會形成有銅和無銅的兩個區域 4測試 2020 2 9 40 5若板子所形成的圖形未達成標准圖形 可將壓力增大或減小 調整完畢後 直至結果OK為止 2020 2 9 41 五月保養 三顯影槽保養方法3 1在人機界面將自動改為手動操作 3 2準備好需要更換的濾芯 液鹼 45 硫酸 98 蛇皮軟管 膠皮手套 毛刷等 3 3排藥液將過濾桶及藥液槽中的藥液排入鹼性高濃度廢液管道中 水洗1hour 酸洗4hour 水洗1hour 水洗1hour 鹼洗4hour 水洗1hour 水洗1hour 酸洗濃度 4 12 鹼洗濃度 4 23 排廢液 加入配好的碳酸鈉 工業級99 40kg 包 藥液 濃度1 07 2020 2 9 42 配比碳酸鈉藥液 碳酸鈉藥液的濃度為0 9 1 3 中心值為1 1 可根據溶劑 水的多少 和濃度中心值來計算添加溶質 碳酸鈉 的多少 1 關閉添加球閥 自動填加球閥 防止配製藥水時 水流入顯影槽內降低藥液濃度 造成PC板顯影不潔 2 加水到高液位1500L 因為配比藥液時是下極限液位300L 所以共加水1200L 3 顯影液的濃度管控範圍為 1 10 0 2 通過計算濃度 溶質 溶液 X X 1200 溶液 1 1 X 溶質 等於13 97kg 所以添加碳酸鈉13 97kg 4 在人機界面 控制面板 添加槽中開啟顯影液建浴攪拌加熱 顯影液建浴攪拌 對藥液進行加溫 30 2 5 添加完畢 打開自動填加球閥 在人機界面 添加藥液中設定 每6片添加一次