PARTICAL测试操作指南.doc

PQA Monitor组工作手册Particle 测试操作指南MS Wang 09/01/2004PQA Monitor/PQA /MPIE/DGN2一、工作概述尘粒度是无尘室重要因素之一。我们现在采用DAILY 的方式监控C/R的空气环境质量,并及时反馈给相关部门,作为改善和提高C/R环境的原始依据.因此,对我们来讲PARTICLE 虽小,意义却相当重要!二、测试仪器设备及使用方法 1.仪器设备名称：Particle Counter 2400/24082. 仪器设备配件：Particle counter 机身、探头、三角架、配套三角电源线、15米220V电源线3. 仪器设备操作步骤： (1)检查探头与三角架、气管与Sample Inlet Sensor (Particle 入口)是否连接紧密。 (2)将三角电源线一头接于机身，另一头接上220V电源。 (3)打开Counter开关至“I”状态(关闭时为“O”状态)。 (4)在Display/program面板，按 键移至Date/time处，确认当前日期是否正确。 否则按Program、 更改日期，最后按Enter确认。 (5)移动 键至Period/Hold处，查看当前测试时间是否为1分钟。否则按 Program、 更改，应设为：00,01,00 状态，最后按Enter确认。 (6)在Printer面板，按Enable键，灯亮为可打印状态。 (7)在Modes面板，按Mode键选择Manual状态。按Count Mode 选择Cumulative状态。 (8)按Run进行测试，此时Counting灯亮。若中断/停止测试按Stop键，Counting灯灭。 否则，Counter会按Period/Hold设置的时间来确定何时停止测试。 (9)重复步骤8进行下一个循环的测试。4. 仪器设备各功能键解析： (1) Count：灯亮时，按Program可设置报警SPEC。当测试值超过此SPEC时，Counter 左上角Limit灯会闪烁报警。 (2) Location:灯亮时，显示屏呈现：000状态。操作者可按Program键输入数据表示该 测试位置，此数据会同测试数据一同打印出，便于保存DATA。 (3) Cycle:设置自动循环测试次数，此功能与Modes面板中Automatic功能键同时使用 生效。 (4) Date/time：当前时间设置。 (5) Period/Hold:测试时间限制。 一般设为1分钟。 (6) Manual:手动测试。即每测完一次就自动停止，需操作者发出指令再次测试。 (7) Automatic:自动循环测试。测试次数以Cycles中设置的数据为准。 (8) Concern:集中模式。按Cycles中设置的次数进行自动循环测试。每隔一秒钟更新一 次Data 集中存为Stored Data，可通过Printer面板中Print stored data功能打印出。 ( 9) Beep:当测试数据达到Count limit 时，自动发出蜂鸣声，直到测试被停止或中断 。 (10) Cumulative:累积测试。灯亮时，则显示超过已设置尺寸的Particle总数。若设置 有多种尺寸类型，则每种类型都会计算。(如类型 0.3 / 0.5 / 1.0 / 5.0 ) (11) Differential: 灯亮时，显示不同两个尺寸之间的Particle总数。 (12) Sensor: 灯亮时，表示内部激光二极管元件受损或Sensor (传感器) 受污染。 (13) Airflow:灯亮时，表示通过传感器的空气流量过高或过低。 (14) Run：开始测试。 (15) Stop:中断、停止测试。 (16) Paper Feed:按此键退出残余纸张。放入新纸卷再按此键，打印机会自动引出纸 卷，便于下次打印。5. 仪器设备使用注意事项： (1) 此Counter的安全操作环境： 温度要求：12 29C 湿度要求：0 85% (2) 此Counter不适用于在下列环境测试： 含氢、氧等毒性物质的环境，可能会有爆炸的危险。 没有用降压设备减压过的高压气体，所有Counter只适用于在大气环境下使用。 不可在含水气的环境下操作，Counter会误认水气为Particle 计数，传感器也会 因此而受到损坏。(3) 转移测试点时注意保护探头和三角支架，防止从高处跌落。(4) 仪器出工场时要用无尘尼龙手套包好探头。(5) 每班测试前用棉签沾HI-50清洁探头吸入口。 三、Particle 测试操作程序 1.无尘台测试 测试桌面上10cm 小于100测试灯管下20cm NoYes测试另一边小于2Filter 检漏No Yes小于100完 成NoYes Yes ok 2.环境点测试 根据LAYOUT 找准测试点，按照常规方法测试。四、无尘台HEPA FILTER检漏程序(摘自DEI-474)1. 将PARTICLE机电源打开，将显示数值设定为0.3um，并将alarm功能打开。2. 将PARTICLE机集气口举起至离FILTER表面1英寸左右，沿FILTER表面依次来回移动，并确保FILTER表面全部被检测到。3. 有0.3um的PARTICLE被检到时alarm会鸣响，应在此反复测试。若在一处alarm 持续鸣响，则可判断FILTER泄漏。 五、DATA处理1. 无尘台测试原始数据要分别详细纪录