川宝曝光机维修手册-A.doc

川寶科技股份有限公司 Chime Ball Technology CO., LTD研發部E2000-5KAC自動對位平行光曝光機維修手冊文件編號：MAM-F001制訂日期：2003年09月17日版本：A頁號： 26/26目錄1、前言.41.1各部位機構及位置簡介1.2門板拆解之步驟2、CCD移載機構.52.1 CCD攝影機動作異常處理步驟2.2 CCD攝影機之上下動作線性滑軌，移動不順暢2.3感應器檢知逾時2.4紅色環燈光源2.5 CCD影像消失出現GRAB WAITING字樣2.6 CCD鏡頭清潔3、移載平台.73.1框架開啟不順暢3.2框架上下交換不順暢3.3傳動皮帶斷裂處理3.4傳動馬達檢修作業方法3.5傳動馬達更換步驟4、電控元件.104.1溫控器4.2電子式真空表4.3變頻器4.4 12V、24V、45V電源供應器4.5電磁閥總成4.6繼電器總成4.7半導體專用日光燈4.8檯面控制按鈕與開關4.9時間電繹5、感應元件.165.1能量感應器5.2反射鏡開關感應器5.3快門開關感應器5.4 I/O的查修6、燈室組件與問題的查修.176.1燈室快門6.2燈管無法點亮與點燈器有關之原因6.3電源供應器無供電6.4斷電開關過載7、溫度與冷卻裝置異常.187.1曝光室溫度異常7.2燈室溫度異常7.3燈室下方風扇檢查8、冷卻裝置.168.1冰水機檢查8.2冰水溫度過高8.3指示燈與訊息9、故障訊息.171、前言1.1各部位機構及位置簡介CCD影像移載機構操作面板配電盤曝光室燈室冷卻循環機構附註：文章內的左右側是以面對機台為標準，面對機台右手邊為右側，左手邊為左側。1.2門板拆解之步驟 A.將圖面門板鎖處按下 B.按下後：門板鎖會彈起 C.彈起後左側的門板鎖向順時針方向旋轉，右側則向逆時針旋轉即可打開BDFCAH2、CCD移載機構2.1 CCD攝影機動作異常的處理步驟：2.1.1先將9P DC接頭拔除避免驅動器警示燈誤判。2.1.2檢查API步進馬達驅動器的警示燈為何顏色黃綠色(正常)；紅色(異常)。ABCDFH2.1.3推動該異常馬達移載機構，感覺馬達有無確實和移載機構連結。是否有扭力若有指示燈該為黃綠色，若無指示燈該為紅色，如指示燈未亮則檢查Driver是否故障或DC45V輸出是否為45 46V，以及是否有輸出。2.1.4 API驅動器若為紅色檢查馬達是否鬆脫或斷裂，並檢查接頭是否老化造成接觸不良。2.1.4檢查馬達線路是否鬆脫或是損壞、斷裂而造成動作異常。2.1.5檢查馬達軸心是否斷裂或是變形。2.1.6右圖所示之AH為上下互相對應之攝影機步進馬達即API驅動器編號。2.2 CCD之上下動作線性滑軌，移動路徑不順暢2.2.1檢查該軸線性滑軌上是否有異物。2.2.2檢查該軸線性滑軌是否已氧化生鏽(若已氧化，需添加油膏以利潤滑)。2.3感應器檢知逾時2.3.1檢查近接感應器305.6與305.7是否於正確位置。2.3.2檢查近接感應器305.6與305.7是否正常供電。左CCD本體升降氣缸下限305.6右CCD本體升降氣缸下限305.72.3.3檢查近接感應器305.6與305.7是否故障或損壞。2.4紅色環燈光源亮度調整鈕2.4.1檢查環型LED 燈是否故障。2.4.2檢查下方電源之Molex接頭是否脫落。2.4.3檢查DC12V 電源供應器是否正常供電。2.4.4檢查CR1繼電器 301.6是否觸發。2.5 CCD影像消失出現 GRAB WAITING 字樣電源指示燈2.5.1檢查DC 12V是否確實輸入。2.5.2檢查同軸電纜BNC接頭是否鬆脫。2.5.3檢查CCD強波電路板是否故障(指示燈是否熄滅)。2.5.4檢查電腦後方BNC排線是否脫落。2.6 CCD鏡頭清潔CCD鏡頭吹拭處2.6.1 CCD鏡頭如果不潔，請以乾淨無雜質空氣吹拭。(勿以氣槍直接噴射)2.6.2如果清除完成後，仍發現螢幕上有無法清除之黑點，請通知本公司客服人員幫忙清除。3、移載平台3.1框架開啟不順暢3.1.1檢查主氣源壓力是否為0.50.6Mpa。3.1.2檢查框架開啟氣缸壓力是否為0. 5Mpa。壓力值0.5Mpa下框壓力介於0.040.05Mpa上框壓力介於0.040.05Mpa3.1.3檢查氣密膠條壓力是否為0.040.05Mpa。3.1.4檢查隱藏視窗中之”框架設定”是否為: 真空關閉後，框架吹氣持續時間 3000ms 框架開啟前，框架吹氣持續時間 0ms 上框(開啟時間)(關閉時間) 3000ms 2000ms 上框(開啟時間)(關閉時間) 3000ms 2000ms 3.1.5檢查氣缸是否有漏氣之情況，或是下方之調壓閥有無鬆動之情況。開啟氣缸開啟氣缸3.1.6檢查框架下方之兩個開關框感應器調整是否正確。(感應器上之綠色燈為關框，橘色則為開框，左側為上框右側則為下框)上框開框感應器下框開框感應器3.2框架上下交換不順暢 ：3.2.1檢查框架軌道黃油份量是否足夠，如果不足取黃油槍至注油嘴注入黃油即可。3.2.2檢查框架軌道上是否有異物，清除軌道上異物、並添加潤滑油。下框減速位置306.2下框停止位置306.3上框停止位置306.1上框減速位置306.0滑輪3.3傳動皮帶斷裂處理3.3.1將滑輪鬆開(如右圖示)，拆下上下框壓板取下皮帶。3.3.2更換新皮帶、並將壓板固定。3.3.3先將下框架移至下框停止位置近接感應器、將皮帶接縫朝下壓板安裝。3.3.4下壓板固定後、將上框架推回上框停止位置近接感應器並將上壓板固定。3.3.5完成後需調整擋板是否會撞擊近接感應器。需特別注意 3.3.6將滑輪調整螺絲鎖緊以調整皮帶至適當鬆緊度，以大拇指向下壓，變形量不得超過1公分。3.4傳動馬達檢修作業方法：滑輪螺絲刀置放處3.4.1用螺絲刀來測量馬達，螺絲刀一端放在機械部份，另一端放在耳朵邊聽,沒有異常聲音為準。3.4.2若有異音或振動很大時，則軸承加油或更換軸承，使馬達運轉正常的狀態為準。3.5傳動馬達更換步驟：3.5.1將主電源關掉_確定沒有殘餘電壓電流。3.5.2首先鬆開馬達調整螺絲_鬆開馬達固定螺絲。3.5.3取下馬達並將皮帶鬆開_將滑輪上止附螺絲鬆開。3.5.4將馬達蓋板螺絲鬆開_將內部R、S、T以及Break五線鬆開並記下順序。3.5.5換上新移載馬達_依序將線路接上並確定絕緣處理。3.5.6把滑輪裝上_鎖上止付螺絲。3.5.7將馬達輕鎖於固定位置上_將皮帶安裝上並注意垂直度。3.5.8確認垂直度以及平行度_將調整螺絲調至所需高度。3.5.9將固定螺絲鎖緊即可_測試交換框架。4、電控元件：溫度上限溫度下限4.1溫控器4.1.1若溫度未達指定溫度AL1亮，檢查AL1設定值是否為指定溫度4.1.2若溫度未低於指定溫度AL2亮，檢查冰水電磁閥是否故障檢查AL2 I/O 是否故障 ET4.1.3溫控器故障訊息：故障訊息故障原因I n 1 E感溫棒開路 (INP1)A d C FA/D轉換器故障 備註C J C E低溫補償接點失效 備註I n 2 E感溫棒開路 (INP2)U U U 1實際溫度超過上線 (INP1)n n n 1實際溫度超過下限 (INP1)U U U 2實際溫度超過上線 (INP2)n n n 2實際溫度超過下限 (INP2)r A M F溫控器記憶體故障 備註I n t F連結失敗A U t F自動溫度調整功能失效備註：若產生此訊息需送回原廠維修4.1.4溫度設定4.1.4.1起始畫面中按SET進入ALD14.1.4.2按t數字閃爍即可設定閃爍之數值大小4.1.4.3按參數為正，按參數為負4.1.4.4完成後進再按一次SET進入ALD24.1.4.5按t數字閃爍即可設定閃爍之數值大小4.1.4.6按參數為正，按參數為負4.1.5參數設定4.1.5.1先按 SET 鍵再按t鍵 3秒 進入參數目錄 此時為雙鍵皆按。4.1.5.2進入參數目錄後按t選擇項目。4.1.5.3先進入ALD1 設定為12 再按SET完成設定。(到達設定值後ipt訊號送出)4.1.5.4再進入ALD2 設定為11 再按SET完成設定。(到達設定值後opt訊號送出)4.1.6溫控器溫度校正4.1.6.1先按住SET再按住t，數秒後進入參數設定中4.1.6.2選擇PUOS 按SET進入設定子畫面4.1.6.3按參數向上、按參數向下;上為+、下為-例1.畫面溫度25C實際溫度28C則需向上調整，調整值為+3C例2.畫面溫度30C實際溫度26C則需向下調整，調整值為-4C4.1.7溫度標準值機台種類 5KAC燈室溫度上限 50C燈室溫度下限26C曝光室溫度上限 26C曝光室溫度下限 18C真空壓力正常真空壓力到達 4.2電子式真空表4.2.1若真空壓力達設定值，則OUT1燈亮OUT2燈亮4.2.2若真空壓力未達設定值，則OUT1燈不亮 OUT2燈亮4.2.3若真空壓力超過設定值，則OUT1燈亮 OUT2燈不亮4.2.4壓力參數設定4.2.4.1設定感測單位，首先按下 鍵再按 Mode 鍵 進入 格式選項 (新品內容為PCd)按Mode選擇選項-再按 跟 選擇英文字體 最後選擇換行更改為 HCd 即可機台種類5KACP1=氣壓下限 100 mmHgP2=氣壓上限 140 mmHg標準設定120 mmHg4.3變頻器顯示區:顯示輸出功率、電流、各參數設定值、異常內容。運轉指令鍵停止/重置鍵:停止運行及異常中斷後可復歸。資料確認鍵:修改參數後按此鍵可將參數設定資料輸入LED顯示區:顯示馬達驅動器的狀態。頻率設定旋紐:可設定此旋紐做為主頻率輸入。功能顯示鍵:可顯示馬達驅動器狀態各資訊如頻率指令、輸出頻率、輸出電流、物理量4.3.1變頻器簡介數位操作面板4.3.2變頻器項目參數表項目參數備註0-0210(POWER OFF)0-0311-0090(OLNY E03 = 70)1-090.51-100.22-0002-0115-0090(ONLY E03 = 70)0-08301(PASSWORD)F20(ONLY E03 = 15)4.3.3注意事項：4.3.3.1檢查變頻器時，務必關閉電源。4.3.3.2在變頻器內部的電子元件對靜電特別敏感，因此不可將異物置入變頻器內部或觸摸主電路板。4.3.3.3切斷交流電源後，變頻器數位操作面板指示燈未熄前，表示變頻器內部仍有高壓，十分危險請勿觸摸內部電路及零組件。4.4 12V、24V、45V電源供應器4.4.1檢驗電源供應器之輸出電壓是否正確。4.4.2 12V之電壓為1112V，24V之電壓為2324V，45之電壓為4546V之間。4.4.3檢驗輸入之電壓是否正確，及檢驗上方之LED燈是否亮起，以確定是否有AC輸入。4.4.4注意事項4.4.4.1檢查各電源供應器時，務必關閉電源。4.4.4.2切斷電源後，在電源供應器指示燈未熄滅前，表示還有殘餘電流，請勿觸摸端子接頭避免短路。4.4.4.3電源指示燈僅代表AC電源是否輸入，不代表DC電源正常輸出。12V供應器24V供應器45V供應器45V供應器4.5電磁閥總成4.5.1如果各部分氣動元件有發生無法動作之情況，有可能是因為電磁閥故障，或者是電磁閥線路脫落。4.5.2如果發生電磁發故障請立刻更換電磁閥，避免造成機台損壞。4.5.3若發生任何故障請通知本公司客服人員，或是合格之維修人員檢修。303.0 快門氣缸301.4 反射鏡氣缸301.3 下框吹氣301.2 上框吹氣301.5 攝影機升降氣缸300.1 下框板邊真空300.0 上框板邊真空300.4 300.5 下框啟閉氣缸300.2 300.3 上框啟閉氣缸 4.6繼電器總成4.6.1如果有任何零件沒有做動，而電路輸入有使用繼電器，就必須檢查繼電器是否有啟動。4.6.2如果繼電器無啟動，則有可能是啟動電源沒有輸入、繼電器故障或是線路鬆動。361.3 紅色光源361.2 雷射光源 ET 曝光室冰水閥303.7 框架馬達302.6 燈室冰水閥303.4 點燈器 302.6 燈管電源302.4 底片燈光302.2 變頻器40W點燈器40W點燈器40W點燈器40W點燈器4.7半導體專用日光燈4.7.1如果日光燈有單一不亮，則有可能是點燈器故障或是燈管故障。4.7.2如果四根燈管皆不亮，則須檢查燈管220V電源是否有正常輸入。緊急開關307.5框架開關307.6啟動開關307.4真空開關307.7下框下底片真空下框上底片真空上框下底片真空上框上底片真空4.8檯面控制按鈕與開關4.8.1緊急開關按下後，除UV燈外之所有之馬達與氣缸元件，應立刻停止運作，如測試後無停止運作，應檢驗307.5所連結之元件。4.8.2緊急開關按下後，快門應該自動關閉，而開關框氣缸將會放棄開框或是關框之動作，框架馬達及所有攝影機馬達應立刻停止運作。4.8.3框架開關按下後，於作業區域之框架，應會開啟以利更換PCB板。4.8.4真空開關按下後，於作業區域之框架應會開始框架之抽真空運作。4.8.5啟動開關按下後，將PCB自動對位完成後，將作業區域之框架移入曝光區域，執行PCB曝光之動作。4.8.6如上述之按鍵發生問題，應按下按鈕後檢查相對應線號之端子台，LED燈是否有亮起，如果LED燈有亮起，應作動之元件卻無動作，則須檢查該氣壓或是電控元件之氣源或是電源有無正常供應。4.9時間電繹：ANLY AH3-NB24V延時啟動運作模式設定時間模式設定導通時間設定4.9.1運作模式設定：將上指撥開關切換至A位置(A模式為時間模式、B模式則為RELAY模式)4.9.2時間模式設定1.將指撥開關撥至3位置 (最大3秒或3分鐘 )2.將指撥開關撥至M位置 (計時單位 分 ) 4.9.3導通時間1.將中間旋扭轉至刻度第2格處2.標準時間 15 秒5、感應元件UV光檢知位置UV光檢知位置5.1能量感應器5.1.1如能量檢知為零或過低但穩定的狀況，請檢查能量感應器上方位置是否有異物阻擋。5.1.2如能量感知為零或是不穩定的狀況，請檢查電腦後方之UV 9PIN D-SUB接頭是否脫落或是鬆動。5.1.3如能量感知為零或是不穩定的狀況，請檢查整段線路是否有斷裂之情況。5.2反射鏡開關感應器5.2.1當反射鏡開啟或是關閉無檢知時，須先檢查306.4與306.5 I/O是否有輸出於I/O端子台上，如果無輸出於端子台上，則有可能是感應器鬆動移位或是故障。5.2.2如果有輸出於端子台上，則可能是端子台到電腦之間的排線出現了問題，則須拆下排線檢測是否有內部斷線之問題。5.2.3如果排線沒有斷線，而I/O端子台上的對應點閃爍，則有可能是電腦內部PC卡故障，請通知本公司客服人員予以維修。306.4反射鏡開啟檢知306.5反射鏡關閉檢知5.3快門開關感應器5.3.1當快門開啟或是關閉無檢知時，須先檢查307.0與307.1是否有輸出於I/O端子台上，如果沒有輸出於端子台上，則可能是感應器鬆動造成移位或是感應器故障。5.3.2如果有輸出於端子台上，則可能是端子台到電腦之間的排線出現了問題，則須拆下排線檢測是否有內部斷線之問題。5.3.3如果排線沒有斷線，而I/O端子台上的對應點閃爍，則有可能是電腦內部PC卡故障，請通知本公司客服人員予以維修。307.1快門 關閉檢知307.0快門 開啟檢知5.4 I/O的查修5.4.1當Input訊號出入或Output訊號輸出時，訊號對應LED位亮起 (除緊急開關307.5外，如沒亮起，表示I/O不正確)。5.4.2端子台上所有燈號全滅時，需檢查24V是否確實輸入。5.4.3端子台指示LED亮綠燈時，代表線路短路。需查修。5.4.4當端子台訊號對應:LED連續閃爍時，檢查37Pin D型接頭是否鬆脫。5.4.5當端子台訊號對應:LED連續閃爍時，電腦內部處理卡故障。需更換。電源輸入側電源輸出側電源輸出側訊號輸入側指示LED訊號對應LED快門聚焦鏡調壓閥氣缸6、燈室組件與問題的查修6.1燈室快門：6.1.1如果快門的動作不順時，檢查快門氣缸(無桿型氣壓缸)有無漏氣。6.1.2如果快門動作聲音過大，請檢查總氣壓表輸入壓力是否為0.6Mpa，以及調整氣缸之調壓閥輸出壓力。6.1.3當快門無法開啟時，應檢查總氣壓壓力是否輸出，以及快門氣缸之空壓管是否有破損的情況發生。碳棒6.2燈管點不亮與點燈器有關之可能原因6.2.1在燈管之電源供應器動作正常之下，檢視點燈器之碳棒有無激發訊號，如果沒有激發訊號的話，則先調整碳棒之間距，間距距離為0.8mm。6.2.2如果調整完成碳棒間距仍舊無激發訊號，則可以增加點燈器之激發時間，原始設定為100ms，建議不要超過200ms。6.2.3如果上述方法都無效時，有可能是因為點燈器故障須要更換點燈器。6.2.4如果6.2.1與6.2.2都測試過無問題時，則有可能是燈管出現問題，可更換燈管作交叉測試。附註：燈管點燈的時候，會有閃光亮一下，而且會有 ”啪”的清脆聲響，這就是”激發訊號”。6.3電源供應器無供電：LED指示燈6.3.1檢查位於燈室右側下方門版內的電源供應器，電源供應器上的LED之綠燈該是亮著的狀態。而且電壓刻度表的刻度應該為50V，電流刻度表的刻度應該為100A，才算正常的狀態。6.3.2 確認無熔絲開關有無復歸。6.3.3如果電源供應器上之紅色燈光亮起，則代表電源供應器故障。306.6無熔絲開關6.4斷電開關過載：6.4.1無熔絲開關過載的狀況，會顯示於控制螢幕上左下角。6.4.2先打開機台的配電盤的門板，檢查無熔絲開關(NFB)，紅色按鈕(STOP)在上、黑色按鈕(START)在下的話表示”正常”，紅色按鈕在下、黑色按鈕在上的話表示”過載”。6.4.3檢查旁邊之306.6之輔助接點是否有脫落或未一同動作之情況。7、溫度與冷卻裝置異常7.1曝光室溫度異常7.1.1檢查冰水機是否運作正常，確認冷卻系統正常運作。7.1.2檢查溫控器溫度設定值曝光室溫度上限 E.AREA AL126C曝光室溫度下限 E.AREA AL218C7.1.3檢查冰水閥是否開啟，當曝光室溫度高於18C時，以手碰觸冰水閥上之手動開關，如果手動開關為鬆動的狀況，則冰水閥運作正常，反之有可能為冰水閥或其控制線路故障。7.1.4 如冰水閥無開啟檢視冰水閥之繼電器是否有開啟，如有開啟上面之綠色LED燈將會亮起。7.1.5如果LED燈有亮起，則須檢視220V之供電線路有無問題，如無亮起可能是溫控器故障或是溫控器到繼電器之線路有斷路之狀況。7.1.6檢視風刀曝光室風刀風量是否足夠，如果風量不足則有可能是接線反向，如果是無風狀態，則必須檢查鼓風機是否故障或是220V電源供應是否有問題。7.2燈室溫度異常7.1.1檢查冰水機是否運作正常，確認冷卻系統正常運作。7.1.2檢查溫控器溫度設定值燈室溫度上限 LAMP AL150C燈室溫度下限 LAMP AL226C7.2.3檢查冰水閥是否開啟，當燈管電源供應器(302.6)供電時，以手碰觸冰水閥上之手動開關，如果手動開關為鬆動的狀況，則冰水閥運作正常，反之有可能為冰水閥或其控制線路故障，如冰水閥發出喀喀聲，則為冰水閥故障。7.1.6檢視燈室之所有鼓風機與風扇是否正常運作，燈室上方有四顆風扇，燈室下方則有五顆風扇，燈室之鏡碗則有一顆鼓風機，皆須檢視是否正常運作。 燈室冰水閥曝光室冰水閥水流方向手動開關手動開關燈室冰水閥控制繼電器(CR-17)曝光室冰水閥控制繼電器(CR-19)LED控制線路302.6控制線路ET供電線路A17/B17供電線路A19/B19風扇7.3燈室下方風扇檢查7.3.1檢查燈室的排氣、進氣風扇是否都正常運作，如果發現風扇沒有正常運轉或是運轉有不順的現象，檢查配線有無短路及風扇有無損壞，發生損壞現象立即更換新品。7.3.2燈室下方之鼓風機的風量太小時，檢查線路及鼓風機。鼓風機的進風量或是出風量太小也會造成溫度升高，檢查股風機是否正常運轉，或是鼓風機附近有東西阻擋了進出風口而造成風量不足。如果是因為鼓風機損壞的話，馬上更換新品的鼓風機。鼓風機鼓風機冰水機8、冷卻裝置8.1冰水機檢查8.1.1檢查冰水機之泵浦是否正常運轉，運轉方向是否正確，冰水機內的水箱水位是否到達標準。8.1.2檢查外部冷卻水無循環，請現場工務恢復外循環水運轉。8.2冰水溫度過高8.2.1請檢查冰水機外循環高低壓表高低壓力是否異常，如有異常請通知本公司服務人員處理。8.2.2冰水機出水溫度過高，冷媒可能有漏洩或是將溫控器溫度調低，如為冷媒洩漏，須找出漏洩位置密封好，並且添加新冷煤，如有冷媒洩漏請通知本公司服務人員處理。8.2.3如發生散熱不良高低壓開關屬自動復歸，檢視高壓錶壓力是否於12kg18kg，低壓壓力是否於3.54.5kg，以查看冷卻水是否供應正常。8.3異常現象8.3.1冰水機會漏出冷凝水為正常現象，如為管路發生漏水現象，則必須立刻關閉電源，檢查是管路破損或是管路沒有接好而造成漏水現象。8.3.2如冰水機未動作，但是沒有亮起任何燈號，則必須檢查電力是否有輸入，或者是檢查電磁閥是否有動作，如果電磁閥故障則必須更換新品。8.3.3如冰水泵浦沒有動作，則有可能是冰水幫浦過載，請打開冰水機側面之電氣箱，檢查冰水幫浦是否短路或欠相將幫浦過載保護開關復歸、按下，並檢查電流是否過載，如果冰水泵浦電源供應正常，冰水泵浦仍未動作則為冰水泵浦可能故障。8.3.4如果冰水機位置有整個遷移且重新接上主電源線，則有可能是冰水泵浦反向，必須將主電源線重新跳線以提供正確相位。8.3.5如壓縮機沒有動作請打開電氣箱，檢查壓縮機是否短路，如無短路則將壓縮機過載保護開關復歸按下，並檢查運轉電流是否過載。8.3.6檢查如發現壓縮機有冒汗之現象，則必須注意外循環之高壓壓力是否正常，必須調整壓力於正常值內，否則有可能會損壞壓縮機。8.4指示燈與訊息8.4.1冰水機正常通電時，電源指示燈應開啟。8.4.2冰水機正常運轉時，冰水運轉燈應該恆亮。8.4.3冰水機正常運轉時，壓縮機運轉燈應該視溫度高低，溫度過高將會自動啟動壓縮機，當壓縮機被啟動時，壓縮機運轉燈將會亮起。8.4.4當故障燈亮起時，請參考本文8.3所述執行故障排解。8.4.5當凍結燈亮起時，請檢查冰水溫度是否低於6C或溫度到達不跳脫，當冰水溫度超過6C時，凍結開關將會自動復歸，如無法自動復歸請通知合格之維修人員或通知本公司客服人員予以維修。8.4.6當液位燈亮起時，請檢查機台左側之內循環水箱存水是否足夠，或是液位開關是否斷路。內循環冰水壓力表電源燈外循環高壓壓力表外循環低壓壓力表開關故障燈壓縮機運轉燈冰水運轉燈凍結燈液位燈內循環冰水溫度計 9、故障訊息項次代碼訊息內容因應對策1M014系統供氣壓力低於下限 AIR PRESSURE NOT ENOUGH! 1.檢查後方氣源供應是否正常2.檢查I/O-304.0是否正常2M022檔案存取異常(磁區故障)! FILE ACCESS ERROR(DISK ERROR)! 1.檢查硬碟是否壞軌3M040攝影機馬達外側極限必須有檢知! CAMERA OPEN LIMIT MUST ON!1.檢查馬達皮帶,pulley,是否鬆脫2.檢查檢知器是否故障或脫落4M041攝影機馬達外側極限必須無檢知(無法脫離極限位置)! CAMERA OPEN LIMIT MUST OFF!1.檢查馬達皮帶,pulley,是否鬆脫,2.檢查檢知器是否故障3.檢查I/O點是否故障5M042(左)攝影機下定位必須有檢知! LEFT CAMERA DOWN SENSOR MUST ON!1.檢查檢知器-305.6是否鬆脫故障2.檢查電磁閥301.5是否作動6M043(右)攝影機下定位必須有檢知! RIGHT CAMERA DOWN SENSOR MUST ON!1.檢查檢知器-305.7是否鬆脫故障2.檢查電磁閥301.5是否作動7M044攝影機馬達已到達外側極限! CAMERA TOUCH OPEN LIMIT!1.檢查是否於正確位置1.檢查檢知器是否故障或脫落2.檢查TB2上I/O點是否正常8M045攝影機馬達已到達內側極限! CAMERA TOUCH NEAR LIMIT!1.檢查是否於正確位置1.檢查檢知器是否故障或脫落2.檢查TB2上I/O是否正常9M046攝影機氣缸未下降(電磁閥未關閉)! CAMERA UP/DOWN VALVE MUST OFF! 1.檢查301.5訊號是否正常輸出2.檢查檢知器是否鬆脫故障3.檢查汽缸做動是否順暢10M070上框真空度未到達設定範圍! UPPER DRAWER VACUUM SENSOR MUST ON!1.調整真空壓力閥2.檢查氣密膠條是正常3.檢查玻璃是否漏氣11M071下框真空度未到達設定範圍! LOWER DRAWER VACUUM SENSOR MUST ON!1.調整真空壓力閥2.檢查氣密膠條是正常3.檢查玻璃是否漏氣12M076上框架已到達內側極限! UPPER DRAWER TOUCH LIMIT!1.檢查306.1是否正常2.檢查框架檢知器是否有髒污13M077上框架已到達外側極限! UPPER DRAWER TOUCH LIMIT!1.檢查306.0是否正常2.檢查框架檢知器是否有髒污2.14M078下框架已到達內側極限! LOWER DRAWER TOUCH LIMIT!1.檢查306.3是否正常2.檢查框架檢知器是否有髒污15M079下框架已到達外側極限! LOWER DRAWER TOUCH LIMIT!1.檢查306.2是否正常2.檢查框架檢知器是否有髒污16M080上框原點必須有檢知! UPPER DRAWER STOP SENSOR MUST ON!1.檢查框架是否於適當位置2.檢查檢知器306.1是否故障脫落17M081下框原點必須有檢知! LOWER DRAWER STOP SENSOR MUST ON! 1.檢查框架是否於適當位置2.檢查檢知器306.3是否故障脫落18M082上框原點必須無檢知(無法離開上框原點)! UPPER DRAWER STOP SENSOR MUST OFF! 1.檢查框架皮帶是否脫落2.檢查框架馬達是否動作3.檢查檢知器306.1是否故障脫落19M083下框原點必須無檢知(無法離開下框原點) LOWER DRAWER STOP SENSOR MUST ON!1.檢查框架皮帶是否脫落2.檢查框架馬達是否動作3.檢查檢知器306.3是否故障脫20M084上框減速點必須有檢知! UPPER DRAWER SLOW DOWN SENSOR MUST ON!1.檢查檢知器306.2是否故障脫落2.檢查框架馬達是否動作21M085下框減速點必須有檢知! LOWER DRAWER SLOW DOWN SENSOR MUST ON!1.檢查檢知器306.2是否故障脫落2.檢查框架馬達是否動作22M086上框未選用,真空度必須無檢知!UPPER DRAWER VACUUM SENSOR MUST OFF!1.檢查I/O301.0是否常ON2.檢查SSR 301.0是否被打穿23M087下框未選用,真空度必須無檢知!LOWER DRAWER VACUUM SENSOR MUST OFF!1. 檢查I/O301.1是否常ON2. 檢查SSR 301.1是否被打穿24M090曝光室溫度異常!EXPOSURE AREA OVER TEMPERATURE!1.檢查冰水機動作是否正常2.檢查軸流扇出風是否正常25M091冷卻裝置異常!COOLING DEVICE TRIP!1.檢查冰水機是否正常運作2.檢查冰水源是否正常輸水26M128上框真空度必須無檢知!UPPER DRAWER VACUUM SENSOR MUST OFF!1.檢查電子式真空表是否歸零2.檢查左真空幫浦有無作動27M129下框真空度必須無檢知!LOWER DRAWER VACUUM SENSOR MUST OFF!1檢查電子式真空表是否歸零2.檢查右真空幫浦有無作動28M130(左)框架輔助氣缸:上定位必須有檢知!DRAWER LIFT (L): UP SENSOR MUST ON!1.檢查汽缸動作是否正常順暢2.檢查檢知器304.4是否故障脫落29M131(左)框架輔助氣缸:上定位必須無檢知!DRAWER LIFT (L): UP SENSOR MUST OFF!1.檢查汽缸動作是否正常順暢2.檢查檢知器304.4是否故障脫落30M132(左)框架輔助氣缸:下定位必須有檢知!DRAWER LIFT (L): DOWN SENSOR MUST ON!1.檢查左汽缸動作是否正常順暢2.檢查檢知器304.5是否故障脫落31M133上框開啟異常!UPPER DRAWER OPEN ABNORMAL!1.檢查汽缸軸心是否變形2.檢查左右檢知器位置是否正確3.檢查檢知點305.4是否故障脫落32M134(右)框架輔助氣缸:上定位必須有檢知!DRAWER LIFT (R): UP SENSOR MUST ON!1.檢查右輔助汽缸移動是否順暢2.檢查檢知器304.6是否故障脫落33M135(右)框架輔助氣缸:上定位必須無檢知!DRAWER LIFT (R): UP SENSOR MUST OFF!1.檢查右輔助汽缸移動是否順暢2.檢查檢知器304.6是否故障脫落34M136(右)框架輔助氣缸:下定位必須有檢知!DRAWER LIFT (R): DOWN SENSOR MUST ON!1.檢查汽缸動作是否正常順暢2.檢查檢知器304.7是否故障脫落35M137下框開啟異常!LOWER DRAWER OPEN ABNORMAL!1.檢查汽缸軸心是否變形2.檢查左右檢知器位置是否正確3.檢查檢知點305.4是否故障脫落36M186真空度未達設定範圍,無法鎖定,請開啟底片及框架真空!UPPER DRAWER VACUUM SENSOR MUST ON!1.調整真空壓力閥(真空幫浦)2.檢查氣密膠條是正常3.檢查玻璃是否漏氣37M187真空度未達設定範圍,無法鎖定,請開啟底片及框架真空!LOWER DRAWER VACUUM SENSOR MUST ON!1.調整真空壓力閥(真空幫浦)2.檢查氣密膠條是正常3.檢查玻璃是否漏氣38M208上框及下框原點皆無檢知,請檢查檢知器是否異常! UPPER DRAWER OR LOWER DRAWER STOP SENSOR MUST ON!1.檢查框架是否於正確位置2.檢查傳動皮帶是否鬆脫斷裂3.檢查變頻器與馬達動作正常否39M209上框及下框原點皆有檢知,請檢查檢知器是否異常!UPPER DRAWER OR LOWER DRAWER STOP! SENSOR MUST OFF1.檢查檢知器是否故障或鬆脫2.檢查是否有異物於檢知器上3.檢查TB2上306.0&306.1故障否40M260燈室溫度異常!LAMP HOUSE OVER TEMPERATURE!1.檢查冰水機動作是否正常2.檢查軸流扇出風是否正常3.檢查感溫棒是否故障4.檢查溫控器Ipt是否故障41M262燈管斷電開關過載! LAMP BREAKER TRIP!1.量測燈管電流是否過大2.檢查NFB是否跳脫3.檢查I/0-306.6是否正常42M268燈管直流電源供應異常! LAMP DC POWER SUPPLY ABNORMAL!1.檢查電源供應器是否開啟2.檢查I/O-304.2是否正常3.檢查CR4 觸發點是否正常43M270快門關閉位置必須有檢知!LAMP SHUTTER MASK SENSER MUST ON!1檢查檢知器307.1是否正常2.檢查電磁閥303.0是否正常作動44M271快門開啟位置必須有檢知! LAMP SHUTTER OPEN SENSER MUST ON!1. 檢查檢知器307.0是否正常2.檢查電磁閥303.0是否正常作動45M278快門(開啟)(關閉)皆無檢知,請檢查檢知器是否異常!LAMP SHUTTER (OPEN) OR (CLOSE) SENSOR MUST ON!1.檢查氣管氣壓供應是否正常2.檢查汽缸動作是否順暢3.檢查檢知器是否故障或脫落46M279快門(開啟)(關閉)皆有檢知,請檢查檢知器是否異常!LAMP SHUTTER (OPEN) OR (CLOSE) SENSOR MUST OFF!1.檢查檢知器是否故障或脫落2.檢查TB2上I/O點是否正常47M290反射鏡關閉位置必須有檢知! MIRROR MASK SENSER MUST ON!1.檢查檢知器306.5是否正常2.檢查電磁閥301.4是否正常作動48M291反射鏡開啟位置必須有檢知!MIRROR OPEN SENSER MUST ON!1.檢查檢知器306.4是否正常2.檢查電磁閥301.4是否正常作動49M292反射鏡(開啟)(關閉)皆無檢知,請檢查檢知器是否異常! MIRROR (OPEN) OR (CLOSE) SENSOR MUST ON!1.檢查氣管氣壓供應是否正常2.檢查汽缸動作是否順暢3.檢查檢知器是否故障脫落50M293反射鏡(開啟)(關閉)皆有檢知,請檢查檢知器是否異常! MIRROR (OPEN) OR (CLOSE) SENSOR MUST OFF!1.檢查檢知器是否故障或脫落2.檢查TB2上I/O點是否正常51M300IPC - API.(A) 傳送等待逾時! IPC - API.(A) COMMAND WAITING OVER TIME!1.檢查COM傳輸線是否斷路52M301IPC - API.(A) 指令傳送逾時,請檢查DC48V及COM2!IPC - API.(A) COMMAND TRANSMITION OVER TIME!1.檢查電源供應器48V有無輸出2.檢查D型接頭是否脫落53M303API.(A) - IPC 回應接收逾時,請檢查DC48V及COM2!API.(A) - IPC ECH