防静电培训PPT课件.pptx

防静电知识培训 目录 静电的产生和静电放电 ESD ESD对电子元器件的危害ESD损害的防护方法威星公司ESD防护的常用要求 静电的产生和静电放电 ESD 物质的原子模型 原子由带正电 质量重 不易移动的原子核 与核外带负电 质量轻 绕原子核运动的电子所组成 原子核的总正电量与核外电子的总负电量大小相等 物体带电是因为最外层电子的转移 电荷分离 静电基本概念 静电 Electrostatic 物体表面静止的电荷 电荷 静电荷 当对物体施加一定能量时 使本来正负电荷量相等而处于中性状态的物体变成其中任何一方过剩的状态 这过剩的电量就称为电荷 静电荷 静电的实质是存在剩余电荷 电荷是所有的有关静电现象本质方面的物理量 静电的产生 摩擦带电 定义 当两个不同的物体互相摩擦时 一些电子从一个物体转移到另一个物体 使两物体皆带电 此种方式称为摩擦带电结果 较易失去电子的物体带正电 另一物体获得电子则带负电 剥离带电 两个紧密接触的物体 在外力作用下迅速分离一些电子从一个物体转移到另一个物体 使两物体皆带电 此种方式称为剥离带电结果 物体较易失去电子的部分带正电 另一部分获得电子则带负电 空气琥珀石棉人造丝铝黄铜 银棉金 白金皮革橡胶玻璃奥龙手多元脂头发PU聚亚氨脂石墨PVC聚氯乙烯云母石PE聚乙烯尼龙PE聚丙烯纸蜡兔毛硅丝硫磺钢丝铁弗龙羊毛镍 铜木材 Negative負性 Positive正性 物质产生静电大小排列如下表 其中愈正性与愈负性物质互相摩擦产生之静电愈大 工作场所中常见的静电产生物质或活动 工作桌面 一般的塑料 上腊 上漆 地板 水泥地板 一般塑料地板 衣服 人造纤维衣服 一般非导电鞋 抹布 椅子 木材椅 塑料椅 玻璃纤维椅 包装及运送 塑料袋 泡棉 保丽龙 塑料盒 组装 加工 测试 修理 喷雾清洁剂 吸锡器 铬铁 刷子 塑料带 热气 烤箱 复写纸 静电放电 静电放电 ESD ElectrostaticDischarge 两个具有不同静电电位的物体 由于直接接触或受静电场感应而引起静电电荷的转移 使带电体上的电荷部分或全部消失的现象 静电放电 ESD 一般会在瞬间快速的发生 并且形成很高的电压 典型静电电压 可编辑 人对静电电压的感知 ESD的可怕之处是在你毫无感觉的时候已经产生瞬间高压 ESD对电子元器件的危害 对ESD敏感的元器件集成电路厚与薄的薄膜电阻混合电路器件晶体 元器件的击穿范围 ESD主要的损坏类型 1完全失去功能 约占10 介质击穿形成短路 断路 器件即时失效 2间歇性失去功能 约占90 晶体振荡器晶体破裂 电极材料溶化等造成器件延时失效 ESD损坏的不可测性 很多的情况下这种间歇性失去功能的产品 无法被测试 检验等手段在制程中筛选出来 而一般会在客户现场的使用中 逐渐的造成失效 这才是最致命的 它会造成对公司质量和信誉的打击 静电损坏在制程中的不可测性 也是目前全球电子制造商碰到的最头痛的一件事情 ESD损坏的实验比较数据 下图是对一种型号的两组CMOSIC进行过可靠性对比试验 一组是经历过低于其失效阈值较多电压的ESD试验而功能完全正常的样品 另一组是未经过任何试验的良品 寿命试验的结果是前者的中位寿命 累积失效率为50 的寿命 低于后者2个量级以上 这充分说明了ESD潜在损伤对器件可靠性的影响 ESD潜在损伤引起的I V特性变化 ESD损坏的比率数据 1 IBM公司通过对其某家电子公司经过长达5年的数据分析 对于完全失去功能的元器件 静电造成损坏的元件约占30 2 下图是美国Ti公司对某一年对客户失效器件原因进行分析统计的结果 从中可以看到由EOS ESD引起的失效占总数的47 ESD对电子元器件损伤的三种模型1 人体模型 人们在日常工作中 由于活动而会使人体表面产生高达几千伏的静电势 这些静电电荷会通过手指或其它部位直接传递到敏感电子元件中 人体模型表现出來的特征为高压低流 这主要击穿元件內部电容 2 机械模型元件在组装过程中 会使用许多金属夹具 当这些金属家具带上静电并靠近元器件时 会发生金属 元器件之间的快速放电 机械模型表现出来的特征为低压高流 会直接烧坏元件本身 3 充电器模型器件接触带电体而带电 遇地放电造成内部损伤 ESD损害的防护 ESD损害的防护 标识 警告标识IESD敏感符号 警告标识IIESD防护符号 用于表明材料或设备具有防静电功能 半导体器件设计的静电防护 治本方法 本方法乃是静电防护最好的办法 但在设计半导体的抗静电电路时 必须考虑到电路产生热的影响 反应时间 最大电压 能量传导 寄生电容等等因素 故并非随心所欲就可以办到 因此静电防护必须靠一些治标的方法 静电防护的基本原则1 避免静电产生 2 疏导和中和所产生的静电3 屏蔽静电场 ESD损害的防护 1 接地将所有导体连接在一起 然后接地 并保持低的接地电阻 使导体上的电荷迅速向大地散逸 不致引起静电放电的危害 人员接地 人体是最普遍存在的静电危害源 对于静电来说 人体是导体 所以可以对人体采取接地的措施设备接地 自动装配设备使用导轨 传动带 滑道 组件运送器和其它装置来移动器件使之按工艺要求的方向运动传动带和运送系统上可能会积累大量电荷 对设备进行接地可引导静电向大地逸散 2 加湿相对湿度 RH 对表面积累电荷的性能产生直接影响 相对湿度越高 零部件储存电荷的时间就越短 表面电荷减小 因为相对湿度增加 的方式可通过复合或传导 当相对湿度增加 空气的电导率也随之增加 在高湿度环境中 物质表面具亲水性 Hygroscopicity 容易吸附空气中的水份 进而降低物质表面电阻 增加静电向大地散逸的速率 但即使是在100 相对湿度时 电荷泄放速率的增加也不能取代适当的ESD控制操作规程 另外过高设备易结露 3 屏蔽静电场 此种方法使静电场被屏蔽在容器的外围 左图是5KV电场下各种容器內测得的静电场 右图是屏蔽电场的模型 电场无法贯穿 仅分布在表面 电压 kv 时间 秒 0 1 0 2 0 3 0 1 0 2 0 3 0 导电袋 防静电袋 一般PE袋 金属容器 4 抗静电材料以表面电阻率 单位 划分如下 1041061011通常电阻值愈低的物质 其静电散逸速度愈快 不易累积静电 反之 电阻值愈高的物质 其静电散逸速度愈慢 容易累积很高的静电 在制程中经常遇到静电荷累积在绝缘的产品或设备上 若能采用抗静电的产品或设备 并实施接地 则静电荷能很容易地向大地散逸 设定ESD工作区域 EPA 凡是有对半导体类材料进行储放 加工 组装的区域均为ESD工作区域 EPA EPA区域必须建立防静电系统 进行严格的防静电措施 以形成防静电安全工作区 ESD损害的防护 典型的ESD控制工作系统 1 防ESD地面2 防ESD台面3 防ESD设备 周转箱 包装 运输材料4 防ESD腕带插孔5 个人ESD防护用品 腕带 脚环 工服 手套等 6 可靠的接地系统 防静电设施的介绍 防静电手环 静电手环原理 防静电腕带原理 它的制作使用静电导电材料 通过与皮肤直接接触 把人体静电直接导走 防静电手环是由紧贴手腕的不锈钢外壳通过线内1M 电阻由导线 铁夹接地 目的是既要随时泄放掉人体上的静电 又要防止快速放电产生的火花 对静电敏感器件造成损害 并起隔离作用 而断线或接触不良会使静电手环形同虚设 所谓无线手环实际起不到泄放人体携带的静电荷作用 防静电设施的介绍 手环点检仪器 手环点检仪 手环点检仪器原理 手环点检仪器原理 主要为测试防静电手环之静电接地阻抗 1M 10 阻抗在要求范围内则 GOOD 超过或者低于要求范围内则显示 HIGH 或者 LOW 防静电工作服饰 防静电拖鞋 防静电布鞋 防静电服 防静电手套 工作台的接地 1 使用电阻值在 6 9 之间的防静电台面 2 防静电台面和防静电接地线之间用导线连接 防静电容器和中转盒 防静电盒 防静电屏蔽袋 防静电中转架 防静电纸箱 防静电周转箱 防静电设施的介绍 静电消除器 静电消除器 静电消除器是在空气中产生带正电和带负电的两种离子 当任何带静电体从这里经过时 相应的带相反电荷的离子与其中和 消除静电 静电消除器采用电晕放电的原理 通过高压电源产生器将输入电压 220V交流电 升至7KV 10KV交流或直流高压作用在离子针上 将空气分子电离产生平衡稳定的正负离子以中和带电物体 同时气流吹除带电灰尘 公司ESD防护之常用要求 培训 所有加入公司工作的人员 特别是生产部作业人员 都应该了解静电对公司产品 设备产生的危害性 故加入公司的每位员工 都要经过防静电的培训和考试 只有考试合格者 方可进入工作状态 如有考试不合格人员 须再次进行教育和培训 而后进行补考 直到合格为止 ESD防护区域的划分 根据是否需要防静电对工作现场进行划分 不允许把需要防静电的电子器件 在制品 成品及仪器带到非防静电区 防