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文档简介
合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代线玻璃减薄配套建设项目一、 前 言合肥京东方半导体有限公司成立于2009年7月,是北京京东方半导体有限公司下属全资子公司,公司位于合肥市新站综合开发试验区,占地面积38483,公司主要为合肥京东方光电科技有限公司配套生产TFT用精密电子金属零件。合肥京东方半导体有限公司利用多年的TFT-LCD行业内客户资源、管理经验及技术优势,在合肥市新站综合开发试验区,在已征地范围内建设TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目,建成可达到年减薄第六代TFT-LCD玻璃面板7.2万张(1500mm*1850mm)的生产能力。合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目选址合肥市新站综合开发试验区,该项目已于2013年5月13日经合肥市新站综合开发试验区经贸发展局批准备案。项目规划设计纲领为年减薄第六代TFT-LCD玻璃面板7.2万张。合肥市环境监测中心站组织人员于2017年04月26日至27日对该项目进行了项目竣工环境保护验收监测,收集了有关资料,并编制验收监测报告。二、验收监测依据1.合肥市环保局,环建审(新)【2013】115号文:关于合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目环境影响评价执行标准的确认函,2013.07。2.合肥市环境保护局,环建审第【2014】15号,关于合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目环境影响报告书的批复”。2014.013. 合肥市环境监测站,合同编号【2016】04号关于合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目环境监测评价合同书,2016.03三、建设项目工程概况3.1项目基本情况3.1.1项目名称:合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目3.1.2项目性质:改扩建3.1.3项目地址:合肥新站综合开发试验区,铜陵北路与天水路交叉口东北,合肥京东方半导体有限公司厂址内(具体位置见附图1 )3.1.4工程投资投资总额:总投资4176万元。其中环保投资531万元。3.1.5企业组织与劳动定员3.1.5.1企业组织公司组织机构健全,在董事会领导下,规章制度严谨,管理有序。3.1.5.2 全厂定员及工作制度合肥京东方半导体有限公司拥有一整套完整的工厂体制和组织机构。现有员工人数约为110人,新增206人,全年工作300天,各生产车间采用三班两轮工作制,每班工作8小时。3.2生产规模及产品 TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目的主要建设内容包括新建厂房及配套设施,现有工程年产TFT-LCD金属零件配套1040万套、边框1040万片及背板1040万片;新增项目可年减薄第六代TFT-LCD玻璃基板(1500mm*1850mm)7.2万张。(本次验收项目为新增的TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目)3.3项目建设起止日期合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目,建设性质为改扩建,工程于2014年2月施工,2014年8月建成试生产。 3.4 生产工艺及产污流程简介3.4.1 TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目生产工艺及产污流程图3-1TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目生产工艺流程及排污节点图3.4.2辅助工序及产污情况图3-2 TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目辅助工序及产污情况图3.5水平衡合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目产生的废水主要来自于生产废水(W1清洗废水、W2高浓度含氟废水、W3低浓度含氟废水、W4悬浮物废水、W5酸性废气洗涤塔排水、W6纯水制备废水、W7冷却塔循环水排水)和W8生活污水等。水量平衡图见图3-3。图3-2 TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目水平衡图4.1废气4.1.1污染源合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目的主要废气污染源是固化工序、清洁工序及蚀刻减薄工序,产生的主要废气是G1有机废气和G2酸性废气,其中酸性废气主要污染物为氟化物、氯化氢、硫酸雾等。4.1.2治理措施项目酸性废气在酸性废气处理系统(由酸性废气吸收塔、排风机、喷淋装置、吸收液供给装置和排风管组成)经碱液喷淋吸收处理,达标后20m高空排放;4.2废水4.2.1污染源4.2.1.1生产废水(1)、W1清洗废水:来源于前清洗、抛光后清洗工序,废水中含有清洗剂,主要污染物为pH、COD、BOD5、SS、LAS等。(2)、W2高浓度含氟废水:自蚀刻槽定期倒槽,废水中含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质,主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS等。(3)、W3低浓度含氟废水:主要源自蚀刻减薄线的清洗工序,废水中含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质,主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS等。(4)、W4悬浮物废水:来源于抛光工序,废水中含有少量抛光粉(主要成分为氧化铈),主要污染物为SS。(5)、W5酸性废气洗涤塔排水:主要来源于蚀刻减薄线产生的的酸性废气通过洗涤塔处理后的排水。主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS等。(6)、W6纯水制备排水:产生RO浓缩水(主要含原自来水中的离子)和反洗废水(主要含原自来水中的离子和SS)。(7)、W7冷却塔循环水排水:主要成份为原自来水中浓缩的盐类、SS。4.2.1.2生活污水项目产生的W8生活污水主要为卫生间盥洗污水,4.2.2治理措施4.2.2.1废水排放及处理措施本项目废水排放及处理措施见下表 4.1表4 .1 废水排放及处理措施统计表废水类别废水排放量(m3/d)处理措施及排放去向一、生产废水 合计982.2厂区生产废水处理系统废水总排放口(1) W2高浓度含氟废水4.2排入含氟废水预处理系统含氟废水处理系统最终中和处理系统(2) W3低浓度含氟废水500排入含氟废水处理系统废水总排放口最终中和处理系统(3) W5废气洗涤塔排水15(4) W4悬浮物废水32排入悬浮物废水处理系统最终中和处理系统废水总排放口(5) W1一般清洗废水250最终中和处理系统废水总排放口(6) W6反冲洗废水56(7) W7冷却塔循环水排水40(8) W6 RO浓水85二、W8生活污水 合计8.5生活污水化粪池现有工程废水处理站废水总排放口三、外排废水 总计990.7废水总排放口市政污水管网小仓房污水处理厂南淝河4.2.2.2废水处理工艺(1)、含氟废水预处理系统/含氟废水处理系统本项目新建含氟废水预处理系统和含氟废水处理系统各1套;其中含氟废水预处理系统设计处理能力为25m3/d,含氟废水处理系统设计处理能力为600m3/d。项目产生的高浓度含氟废水主要污染物为pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS,首先经含氟废水预处理系统处理,采用投加Ca(OH)2进行絮凝沉淀处理。预处理后的高浓度含氟废水与低浓度含氟废水一同排入含氟废水处理系统处理。系统拟采用絮凝沉淀法,在pH值12左右,向废水中投加过量Ca(OH)2与废水中F生成CaF2沉淀(加入适量絮凝剂以使废水中的氟化钙形成便于分离的矾花),当絮凝反应完成后,进行泥水分离,池底污泥由污泥泵抽到污泥浓缩池。浓缩后的污泥经压滤机压成含固量30%的泥饼,上清液进入中和池,出水监测合格后排放,水质不合格时将返回缓冲池进行二次处理。处理后出水溢流至最终中和系统处理后排放。(2)、悬浮物废水处理系统项目抛光工序产生的悬浮物废水主要污染物为SS。本项目新建悬浮物废水处理系统1套,设计处理能力为40m3/d,采用絮凝和沉淀的方法进行处理。处理后进入最终中和处理系统进一步处理后外排。(3)、最终中和处理系统项目清洗工序产生的一般清洗废水,纯水制备工序产生的反冲洗废水和冷却塔排水,水质均较清洁,均直接排入最终中和系统处理,本项目新建最终中和处理系统1套,设计处理能力为1100m3/d。最终中和处理系统采用中和法对废水进行处理。在此期间,根据废水水质情况自动投入酸或碱液,在强力搅拌下进行混合、反应,废水经处理达到排放标准后排放。如果水质达不到排放标准,再返回各处理系统进行二次处理。4.3噪声合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目,生产设备位于密闭厂房内,厂房有较好的隔声作用。因此,项目噪声源主要为动力设备噪声, 新增的产噪设备主要为风机、空压机、冷却塔、水泵等动力设备。所有噪声设备均设置了减振基座,部分设备安装了隔声罩4.4固体废物本项目生产过程中产生的固体废物分为危险废物和一般固体废物两类。危险废物主要包括:S1不合格玻璃、S2废弃无尘布(含乙醇)、S3蚀刻槽渣、S4废UV胶、S7沾染化学试剂容器、S8含氟污泥。一般废物主要包括:S5废靶材、S6废包装材料、S8办公生活垃圾、S10悬浮物废水处理系统污泥等。项目产生的固体废弃物最终处置具体如表4.2。表4.2 项目固体废弃物产生情况序号废物种类性质产生量(t/a)处理处置去向1S1不合格玻璃HW49其他废物5交由客户厂商回收2S4废UV胶HW13有机树脂类废物1合肥市吴山固体废物处置有限公司3S2废弃无尘布(含乙醇)HW42废有机溶剂0.94S7沾染化学试剂容器1.55S3蚀刻渣HW32无机氟化物废物123.5 6S8含氟污泥17686.4 小计17815.3 7S5废靶材一般废物0.04生产厂商回收8S6废包装材料12废品回收站9S9办公生活垃圾16.5环卫部门统一清运10S10悬浮物废水处理系统污泥15小计43.54 合计17848.8 五、验收监测评价标准及总量控制指标5.1废气验收监测评价标准5.1.1废气排放标准废气排放执行大气污染物综合排放标准(GB 162971996)二级标准。废气验收监测评价标准见表5.1。表5.1 废气验收监测评价标准名称污染物排放高度(m)浓度限值(mg/m3)排放速率(kg/h)厂界浓度限值(mg/m3)执行标准工艺废气氯化氢151000.260.2大气污染物综合排放标准(GB 16297-1996)二级标准氟化物1590.10.02硫酸雾15451.51.2非甲烷总烃/4.05.2废水验收监测评价标准标准限值见表5.2。 表5.2 废水验收监测评价标准 单位:mg/L(pH除外)项目pHCODBODSSNH3-NTP氟化物氯化物污水综合排放标准中三级标准69500300400/2020小仓房污水处理厂设计进水水质/380180200304/污水排入城镇下水道水质标准B级6.5-9.550035040045820800本项目执行排放标准6938018020030420205.3噪声验收监测评价标准 厂界噪声评价标准执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB 12348-2008)类标准,标准限值见表5.3。 表5.3 厂界噪声验收监测评价标准 等效声级LeqdB(A)类别标准限值LAeq dB(A)执行标准昼间夜间3类区域6555工业企业厂界环境噪声排放标准(GB 12348-2008)中3类区域标准六、验收监测内容及工况6.1验收监测内容此次验收监测是合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目环保设施的建设、运行和环境管理进行全面考核,对环保设施的处理效果进行监测,对该厂排放的主要污染物进行监测,以检查是否达到国家标准;各种污染防治设施是否达到设计能力和预期效果;考查该项目投产后对周围环境产生的影响。本次环境保护验收监测包括废气、废水及厂界噪声监测。6.11废气监测监测类别监测位置点位数监测项目监测频次废气酸性废气处理设施进口1氟化物、氯化氢、硫酸雾3次/天共2天酸性废气处理设施出口1氟化物、氯化氢、硫酸雾无组织排放监控点2非甲烷总烃、氟化物、氯化氢、硫酸雾6.12废水监测编号监测点位监测项目1高浓度含氟废水预处理设施进口PH、SS、COD、BOD5、氟化物、氯化物共6项2综合废水收集池PH、SS、COD、NH3-N、BOD、氟化物、氯化物、LAS、TP共9项3综合污水处理设施出口4总排口合计3个监测点3次/天 共2天6.1.3厂界噪声监测厂界噪声验收监测,在法定厂界外1米处,沿厂界东、西、南、北各布设1个监测点,共设4个点。在正常生产工况下,每天昼、夜各监测1次,连续监测2天。6.2验收监测期间工况根据合肥市环保局“合肥京东方半导体有限公司项目按规范要求进行环保验收监测”的通知,结合该厂的生产情况,我站于2017年4月2627日对该工程进行验收监测,监测期间设备工作正常,工作负荷达到75%以上,本次验收监测的结果具有代表性。项目年工作日为300天,由于其生产工艺技术的连续性, 工作期间采用三班运转制。验收监测期间废气及废水治理设施运行正常。6.3.验收监测方法依据表6.2 监测分析方法一览表类别监测项目分析方法方法依据废气氟化物氟离子选择电极法GB/T15434-1995氯化氢离子色谱法HJ549-2016硫酸雾离子色谱法HJ544-2016非甲烷总烃气相色谱法HJ/T38-1999废水化学需氧量(COD)快速消解分光光度法HJ/T399-2007悬浮物(SS)重量法GB/T 11901-1989磷酸盐分光光度法HJ671-2013PH玻璃电极法GB/T 6920-1986五日生活需氧量(BOD5)微生物传感器快速测定法HJ/T86-2002氟化物离子选择电极法GB7484-87氯化物硝酸银滴定法GB11896-1989氨氮(NH3-N)气相分子吸收光谱法HJ/T195-2005阴离子洗涤剂(LAS)分光光度法GB7494-1987噪声厂界噪声工业企业厂界噪声测量方法GB 12348-2008七验收监测结果7.1废气监测结果 表7.1 有组织排放废气监测结果评价表 单位:浓度(mg/m3)、速率(kg/h)监测点位监测项目监测频次4月26日监测结果4月27日监测结果评价标准达标情况排放浓度排放速率排放浓度排放速率排放浓度排放速率酸性废气处理设施进口氟化物第一次0.120.0060.120.00690.1达标第二次0.120.0060.120.00690.1第三次0.120.0060.120.00690.1氯化氢第一次0.6250.0310.5980.0301000.26达标第二次0.8750.0440.5730.0291000.26第三次0.7700.0390.5660.0281000.26硫酸雾第一次0.3L1.290.065451.5达标第二次 1.400.070.3L451.5第三次0.3L0.3L451.5酸性废气处理设施出口氟化物第一次0.060.0030.060.00390.1达标第二次0.060.0030.060.00390.1第三次0.060.0030.060.00390.1氯化氢第一次0.5430.0270.5300.0271000.26达标第二次0.5360.0270.4930.0251000.26第三次0.5020.0250.5090.0251000.26硫酸雾第一次0.3L0.3L451.5达标第二次0.3L0.3L451.5第三次0.3L0.3L451.5注:数据后面有L为未检出。表7.2无组织排放监控点监测结果及评价表 排放浓度单位:mg/m3,排放速率单位:kg/h点位监测项目监 测 结 果标准限值达标评价2017年4月26日2017年4月27日123456无组织排放监控点非甲烷总烃1#0.650.680.660.670.660.694.02#0.590.570.560.570.580.60氟化物1#0.01910.01740.01910.0180.01910.01690.022#0.01580.01470.01360.01470.01250.0136氯化氢1#0.1150.1100.1280.1120.1100.1070.22#0.1020.1000.0990.1100.1070.115硫酸雾1#0.3L0.3L0.3L0.3L0.3L0.3L1.22#0.3L0.3L0.3L0.3L0.3L0.3L注:1#点为下风向,2#点为上风向,数据后面有L为未检出由本次验收监测结果可见:本项目酸性废气处理设施进口的氟化物两日最大排放浓度为0.12mg/m3排放速率为0.006 kg/h;氯化氢的两日最大排放浓度为0.875mg/m3排放速率为0.044 kg/h;硫酸雾的两日最大排放浓度为1.4mg/m3排放速率为0.07 kg/h;酸性废气处理设施出口的氟化物两日最大排放浓度为0.06mg/m3排放速率为0.003 kg/h;氯化氢的两日最大排放浓度为0.543mg/m3排放速率为0.027 kg/h;硫酸雾未检出;以上监测数据均满足GB16297-1996大气污染物综合排放标准中的二级标准的限值要求项目无组织排放监控点的非甲烷总烃两日最大排放浓度为0.69mg/m3、氟化物的两日最大排放浓度为0.0191mg/m3、氯化氢的两日最大排放浓度为0.128mg/m3,硫酸雾均为未检出。无组织排放监控点的监测值均能满足GB16297-1996大气污染物综合排放标准中无组织排放标准的限值要求7.3废水监测结果表7.3 高浓度含氟废水与处理设施进口废水监测结果统计表 单位:mg/L,pH无量纲,日期因子点位pHSSCODBOD氟化物氯化物4月26日第一次0.2737.018011.08.0*104198.0第二次0.3531.017810.57.9*104190.0第三次0.3835.018212.07.8*104188.0均值0.27-0.38 34.318011.27.9*1041924月27日第一次0.2939.017613.07.7*104188.0第二次0.3936.017611.07.7*104174.0第三次0.3540.018012.07.6*104190.0均值0.29-0.39 38.3177127.7*104184.0表7.4 综合废水收集池废水监测结果统计表 单位:mg/L,pH无量纲,日期因子点位pHSSCODTP氨氮LASBOD氟化物氯化物4月26日第一次3.2712.024.00.0155.621.572.51.3*10382.0第二次3.6817.022.00.0135.691.593.01.4*10383.0第三次3.5415.026.00.0155.611.563.11.4*103105.0均值3.27-3.6814.724.00.0145.641.572.91.4*10390.04月27日第一次3.2113.022.00.0125.621.232.91.5*10397.0第二次3.6510.024.00.0135.641.353.21.5*103113.0第三次3.5711.026.00.0155.711.523.61.6*10394.0均值3.21-3.6511.324.00.0135.661.373.21.5*103101.3表7.5 综合污水处理设施出口废水监测结果统计表 单位:mg/L,pH无量纲,日期因子点位pHSSCODTP氨氮LASBOD氟化物氯化物4月26日第一次7.215.040.00.0234.443.914.51319.0第二次7.246.038.00.0214.433.674.01320.0第三次7.257.042.00.0244.444.864.21310.0均值7.21-7.25 6.040.00.0234.444.154.21316.34月27日第一次7.2010.036.00.0204.423.414.01414.0第二次7.258.038.00.0214.413.384.31416.0第三次7.249.040.00.0234.035.324.21418.0均值7.20-7.25 9.038.00.0214.294.044.21416.0表7.6 总排口废水监测结果统计表 单位:mg/L,pH无量纲,日期因子点位pHSSCODTP氨氮LASBOD氟化物氯化物4月26日第一次7.219.034.00.0193.731.843.34.459.0第二次7.247.030.00.0183.722.013.54.466.0第三次7.338.032.00.0193.751.983.04.461.0均值7.21-7.33 8.032.00.0193.731.943.34.462.04月27日第一次7.2010.036.00.0204.051.763.04.459.0第二次7.237.034.00.0154.061.902.74.460.0第三次7.366.030.00.0153.992.113.24.462.0均值7.20-7.36 7.733.30.0174.031.923.04.460.3表7.7总排口废水监测结果评价表 项目pHSSCODTP氨氮LASBOD氟化物氯化物4月26日均值或范围(mg/L) 7.21-7.338.032.00.0193.731.943.34.462.04月27日均值或范围(mg/L) 7.20-7.367.733.30.0174.031.923.04.460.3两日均值(mg/L)7.20-7.367.932.70.0183.881.933.24.461.2排放量(t/d)0.0080.0321.783*10-50.0040.0020.0030.0040.061年排放量(t/a)2.3489.7190.0051.1530.5740.9511.30818.189标准限值 6-92003804302018020500达标评价流量990.7t/d,297210t/a废水监测结果见表7.7。由表中可见,总排口pH日均范围分别为在7.217.33之间和7.207.36之间、COD日均值分别为32.0 mg/L和33.3 mg/L, SS日均值分别为8.0 mg/L和7.7 mg/L,TP日均值分别为0.019 mg/L和0.017 mg/L,氨氮日均值分别为3.73 mg/L和4.03 mg/L,LAS日均值分别为1.94mg/L和1.92 mg/L,BOD日均值分别为3.3 mg/L和3.0 mg/L,氟化物日均值分别为4.4mg/L和4.4 mg/L,氯化物日均值分别为62.0 mg/L和60.3 mg/L,均能满足污水综合排放标准(GB8978-1996)三级标准和小仓房污水处理厂的接管标准的要求。该项目日排水量为990.7吨。年排水量为29.721万吨,年COD排放量为9.719吨。73厂界噪声监测结果表7.8 噪声监测结果统计表测点编号监测结果dB(A)昼间夜间时间Leq时间Leq26日1#西10:4047.922:1045.52#南10:4557.222:1554.83#东10:5057.122:2054.24#北10:5552.322:2548.427日1#西10:1047.722:2045.22#南10:1557.322:2554.73#东10:2056.822:3054.14#北10:2551.922:3548.2标准65 dB(A)55 dB(A)厂界周围布设的4个噪声监测点监测结果见表7-8。由表中可见,4个点两天监测结果昼间的最大值为57.3分贝、夜间的最大值为54.8分贝,全部低于工业企业厂界环境噪声排放标准(GB 12348-2008)3类标准限值(昼间65、夜间55分贝)。八验收监测质量保证8.1质量保证及质量控制 为了确保本次验收监测数据具有代表性和准确性,采取的质量控制措施如下:8.2废气监测质量控制废气监测按照原国家环保局颁布的环境监测技术规范(大气和废气部分)进行,采样前,须对所用的检测仪器进行了校准.8.3废水监测质量控制 废水监测严格按照地表水和污水监测技术规范(HJ/T 91-2002)及环境水质监测质量保证手册(第二版)进行。为了保证分析测试结果的准确可靠,分析每批样品时采取了质量控制措施,如:同时分析密码样,质量控制结果见表8.1。 表8.1水质分析质量控制结果 单位:mg/L(pH除外)质控因子样品总数密码平行样加标回收率自控平行合格率(%)化学需氧量162221008.4噪声监测质量控制 噪声测量前后,用同一台标准声源对声级计进行了校准。九、环境管理检查9.1 环保审批手续及“三同时”执行情况合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目完成后,按照建设项目环境管理条例和环保法以及环境保护主管部门的要求和规定,前期进行了环境影响评价及环保设计,环保审批手续齐全。9.2 环保管理机构的设置及人员配备合肥京东方半导体有限公司设有安全环保处,负责全厂的环境保护管理。其主要职责为:(1)宣传,贯彻执行环境保护法律、法规、条例和标准,并经常监督有关部门的执行情况;(2)负责项目区域的环境管理、环境保护和生态保护工作并监督各项环保措施的落实和执行情况;(3)按照规定进行环境监测,并协助有关单位(合肥市环境监测中心站)的环境监测管理人员,建立监控档案和业务联系,接受指导和监督; (4)按照环保部门的有关规定和要求填写各种环境管理报表;(5)负责各项环保设施的生产管理和监控工作;(6)负责环保设施事故与环境污染事故的处理;(7)推广应用先进的环保技术和经验,促进污染的综合防治、回收利用和循环使用;(8)组织开展环境保护宣传和教育,加强群众的环保意识与工人的劳动保护意识。9.2 企业日常监测制度合肥京东方半导体有限公司安环处下设环境监测室,并配备2位工作人员,其主要工作任务为:(1)制定和完成例行监测计划和不定期监测计划;(2)监测企业各类污染源中污染物的浓度及排放量等数据,以达到污染物排放达到国家规定的排放标准,为环境保护管理提供科学依据。(3)为环境污染的进一步治理提供设计基础参数;(4)为预测企业所在地污染物的迁移、转化、扩散、时空分布和环境质量变化提供科学数据;(5)为事故性污染的判断和解决提供科学和有效数据;合肥京东方半导体有限公司水质日常监测由质检部负责,其他环境监测工作由合肥市环境监测站承担。9.3 环保设施运行情况检查情况表9.1 建设项目污染防治环评批复与实际情况对照表类别主要污染物拟采取的治理措施落实情况大气防治措施储酸房、减薄蚀刻线酸性气体(氟化物、盐酸雾、硫酸雾)减薄蚀刻线密闭,储酸房封闭,侧吸装置收集+酸性废气处理系统(氢氧化钠溶液吸收、一用一备),20M高排气筒高空排放;蚀刻生产车间、污水处理站设置卫生防护距离100m、50m排气筒高度20m,减薄蚀刻线已密闭,储酸房已封闭,已建酸性废气收集及处理系统,污染物排放浓度满足大气污染物综合排放标准(GB 162971996)中二级标准的要求,项目区100m、50m范围内没有环境敏感点,符合卫生防护距离要求。废水防治措施生产废水COD、SS、BOD、氟化物、氯化物、LAS、TP等排水实行雨污分流。对各类废水分类收集、分质处理。高浓度含氟废水经预处理系统处理后再与低浓度含氟废水混合后进入一套含氟废水处理系统处理;悬浮物废水经独立处理系统处理;经处理后的各类废水一并进入一套中和处理系统处理后达标排放;新建办公生活污水进入现有工程污水处理设施处理后达标排放;各类废水已分类收集、分质处理。项目主要污染物的排放浓度均能满足污水综合排放标准GB8978-1996三级标准以及小仓房污水处理厂的接管标准的要求。办公生活污水噪声防治措施生产设备和辅助设备噪声Leq(A)安装消声、减振等设备安装了消声、减振等设备满足工业企业厂界噪声标准(GB 12348-90)3类标准的要求固废防治措施一般固体废物废靶材、废包装材料、生活垃圾,污泥循环利用,生活垃圾送至环卫部门处置已落实对周围环境不会产生污染危险固体废物不合格玻璃、废弃无尘布、蚀刻槽渣、废UV胶、含氟污泥等送至固废处置中心处理处置9.4固体废物排放和综合利用情况9.4.1合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目产生的主要固体废物为一般固体废物(废靶材、废包装材料、生活垃圾,污泥等)以及生活垃圾、危险废物(不合格玻璃、废弃无尘布、蚀刻槽渣、废UV胶、含氟污泥等)。9.4.2 生活垃圾厂区内的生活垃圾统一收集后送至合肥市垃圾填埋场卫生填埋。废靶材由生产厂家回收,废包装材料由废品回收站回收。9.4.3 危险废物不合格玻璃、废弃无尘布、蚀刻槽渣、废UV胶、含氟污泥等属于危险废物,在厂区设置专门的废物收集桶,集中收集后,送合肥市吴山固体废物处置中心处置。(详见附件危险废物处置协议)9.5在线监测设施落实情况本项目在线监测设施为安徽碧水电子技术有限公司承接,合肥新站高新技术产业开发区环境保护局于2017年5月11日召开了合肥京东方半导体有限公司废水自动监测系统验收会,该污水自动监测设备符合验收条件,通过验收。9.6 突发环境事件应急预案本项目于2015年11月27日签署发布了突发环境时间应急预案,备案文件已于2016年11月24日收讫,文件齐全,经合肥市环境保护局新站高新技术产业开发区分局允许予以备案。十、验收监测结论及建议10.1结论 10.1.1验收监测期间的工况验收监测期间最低生产负荷为90.8%,满足验收监测75%的要求。10.1.2环境保护执行情况合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目,自立项以来,按照建设项目环境管理条例和环保法以及环境保护主管部门的要求和规定,前期进行了环境影响评价及环保设计,环保审批手续齐全。按照环评要求需配套建设的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工,同时使用。合肥京东方半导体有限公司环保组织机构较为完善、规章制度健全、环境管理制度化;处理设施的有效运行、主要污染物排放的日常监测均有专人负责。10.1.3废气监测期间两日内酸性废气处理设施进口的氟化物两日最大排放浓度为0.12mg/m3排放速率为0.006 kg/h;氯化氢的两日最大排放浓度为0.875mg/m3排放速率为0.044 kg/h;硫酸雾的两日最大排放浓度为1.4mg/m3排放速率为0.07 kg/h;酸性废气处理设施出口的氟化物两日最大排放浓度为0.06mg/m3排放速率为0.003 kg/h;氯化氢的两日最大排放浓度为0.543mg/m3排放速率为0.027 kg/h;硫酸雾未检出;出口监测结果均小于大气污染物综合排放标准(GB 162971996)中二级标准的要求。10.1.4废水由两日监测结果可见:总排口pH日均范围分别为在7.217.33之间和7.207.36之间、COD日均值分别为32.0 mg/L和33.3 mg/L, SS日均值分别为8.0 mg/L和7.7 mg/L,TP日均值分别为0.019 mg/L和0.017 mg/L,氨氮日均值分别为3.73 mg/L和4.03 mg/L,LAS日均值分别为1.94mg/L和1.92 mg/L,BOD日均值分别为3.3 mg/L和3.0 mg/L,氟化物日均值分别为4.4mg/L和4.4 mg/L,氯化物日均值分别为62.0 mg/L和60.3 mg/L,均能满足污水综合排放标准(GB8978-1996)三级标准和小仓房污水处理厂的接管标准的要求。该项目日排水量为990.7吨。年排水量为29.721万吨,年COD排放量为9.719吨。10.1.5厂界噪声厂界周围布设的4个噪声监测点两天监测结果昼间最大值为57.3分贝、夜间最大值为54.8分贝,均低于满足工业企业厂界噪声标准(GB 12348-90)3类标准的要求1016固体废弃物固体废弃物得到有效的综合利用和处置。1017 环境管理检查1合肥京东方半导体有限公司TFT-LCD六代玻璃减薄配套项目实行了雨污分流设置了规范化的排放口,废水得到有效处理。2、厂房外空调外机设置隔声措施。3、项目卫生防护距离100m、50m内没有敏感项目的建设。4、项目订有较完善的应急预案和安全生产操作规程。10.2建议1.加强污水处理设施的运行管理,及时监控各项污染
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