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文档简介
EPA ESD Estimate Report,为何要做ESD防护,由于集成电路元器件的线路缩小,耐压降低,线路面积减小,使得器件耐静电冲击能力的减弱,静电电场(Static Electric Field)和静电电流(ESD current)成为这些高密度元器件的致命杀手。同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用,导致产生静电的机会大增。日常生活中如走动,空气流动,搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感,实际上,集成度高的元器件电路都很敏感。 随着越来越多的客户(国内外的)认识到ESD对元件的破坏性,也有示例因为公司因ESD没做好而导致失去订单的。,ESD/EOS的危害,ESD/EOS 59%电子测试 3%氧化/钝化 3%导体失效 3%硅片断裂 3% 引脚短路/开路7%引脚连接15%其它6%,以上是根据专业数据统计得出的结论,按该数据所示ESD/EOS在元器件损伤类的问题占到近60%,静电对电子产品的主要影响以及特点,静电吸附灰尘,改变线路间的阻抗,影响产品的功能与寿命。 因电场或电流破坏元件的绝缘或导体,使元件不能工作(完全破坏)。因瞬间的电场或电流产生的热,元件受伤,仍能工作,寿命受损。4. 高电位:可达数万至数十万伏,操作时常达数百至数千伏(人通常 对3KV以下静电不易感觉到)。5. 低电量:静电流多为微安级(尖端瞬间放电例外)。 6. 作用时间短:微秒级。7. 受环境影响大:特别是湿度,湿度上升则静电积累减少,静电压下降。,静电对电子产品的主要影响以及特点, 隐蔽性:人体不能直接感知静电,除非发生静电放电,但发生静电放电,人体也不一定能有电击的感觉。这是因为人体感知的静电放电电压为2-3KV。 潜伏性:有些电子元器件受到静电损伤后性能没有明显的下降,但多次累加放电会给器件造成内伤而形成隐患,而且增加了器件对静电的敏感性。已产生的问题并无任何方法可治愈。 随机性:电子元件什么情况下会遭受到静电破坏呢?可以这么说,从一个元件生产后一直到它损坏以前所有的过程都受到静电的威胁,而这些静电的产生也具有随机性。由于静电的产生和放电都是瞬间发生的,极难预测和防护。 复杂性:静电放电损伤分板工作,因电子产品的精细,微小的结构特点而费时、费事、费钱,要求较复杂的技术往往需要使用扫描电镜等精密仪器,即使如此有些静电损伤现象也 难以与其他原因造成的损伤加以区别,使人误把静电损伤失效当作其它失效,这是对静电放电损害未充分认识之前,常常归咎于早期失效或情况不明的失效 ,从而不自觉的掩盖了失效的真正原因。 严重性:ESD问题会造成发到客户处的零件功能不稳定或丧失功能而带来抱怨,甚至导致大批退货和主机厂停线。,静电控制,为什么要进行ESD控制(Why) 哪些人要参与进行ESD控制(Who) 在哪些地方需要进行ESD控制(Where) 控制什么(WHAT) 怎样进行ESD控制(How),静电控制(WHY),静电只能被控制,不能被消除除非在真空状态内部损失:时间,人力资源等外部损失:信誉度丧失、客户满意度下降,静电控制(WHO),供应商研发人员采购人员仓库人员生产以及测试人员包装人员所有接触产品的人员,特别是主管和技术人员。,静电控制(WHERE),供应商实验室IQC(重点控制)仓库生产线装配和测试维修(重点控制),静电控制(WHAT),EPA(ESD PROTECTION AREA)环境 个人 材料地板 个人物品 原材料温湿度 工衣 周转材料工作台 工鞋 包装材料工装夹具 接地 另外还需要相应的流程制度来保证!,静电控制(HOW),静电控制的原则在EPA控制区域操作所有静电敏感器件存放、运输所有静电敏感器件要用法拉第笼测试和监控整个静电控制流程,静电控制(HOW),防静电工作台防静电台垫的尺寸应不小于工作台面的大小;防静电台垫均须正面(即防静电面、耗散层)朝上、背面(即导电层)朝下铺设;多个防静电工作台的接地线不能相互串接,应以并联方式与公共接地线连接,每块台垫(地垫)必须且只需接一根防静电地线。,静电控制(HOW),1.护腕部分的金属铁皮一定要紧贴人体手腕,即保证静电测试时通过的状态即可2.接地端一定要通过接地插口,将手腕部分连接至大地3.离开座位时,将连接于接地插口的接地端拔起即可,护腕部分不需移动 静电腕带准确佩戴及注意事项 静电腕带的接触面,如下图红圈部分,该金属片必须在佩戴时和人体手臂接触良好 静电手环 普通防静电手腕带使用柔软而富用弹性的材料配以导电丝混编而成。内置电阻:1M %5。静电泄放时间: 0.1S 兼顾人体安全,强烈建议取消无线静电手环,因为该手环的效果远远达不到理论效果,静电控制(HOW),ESD防护区域的的所有设备与设施都应该与大地保持硬接地或软接地状态,以实现ESD防护的作用针对ESD防护区域的桌子,都应用黄绿线接地.且有的桌子需铺设ESD防护桌布。依据ESD防护标准:与敏感元器件接触的桌子需铺设防静电桌布,如IQC电子来料检验。,静电控制(HOW),人员在正常作业时,通过椅子/人体本身,使手上的产品与大地形成一个导通的回路,起到ESD防护的作用。根据ESD20.20标准产线上所有的椅子必须使用防静电椅,椅子需要使用接地链链接(表面电阻为1*105到1*109欧姆、对地电阻为1*105到1*109)作业人员的坐姿需双脚接触到地面,不允许单脚或双脚离地,静电控制(HOW),人员规范防静电工作服、工作鞋操作指引每月定期对生产人员的衣服、鞋子及装料的tray进行抽检,以保证其在ESD防护规格内。定期的对衣服,鞋子进行清洗,保持其整洁静电是表面积累,尖端放电,单纯的手或脚都不好,人体放电最经常的是指尖、毛发,所以防静电帽也是很有必要的,不能留长发,帽子必须戴好,不允许头发在帽外。,静电控制(HOW),人员规范作业过程的防静电指引进入EPA区域前,测试腕带和人体电阻,测试通过并做好记录方可进入;接触ESSD及组件之前应戴好防静电腕带,防静电腕带插入香焦插孔中接地,要保证腕带与皮肤接触良好;确认工作区域内的工具、设备和仪器安全、可靠接地,尤其对那些经常移动的设备要特别注意;确认工作区内的静电源(例如:非防静电塑料袋、非防静电泡膜、橡胶等)远离ESD敏感器件和敏感单板(至少30CM)。,静电控制(HOW),人员规范防静电工作服、工作鞋操作指引所有人员进入防静电区域必须穿好防静电工作服、防静电工作鞋或防静电鞋套,已配发工作帽的还必须戴好工作帽。工作服外部严禁携带除工卡和笔之外的金属物件,防静电鞋内不得垫鞋垫。更换工作服应在指定地点进行,不允许在设备旁边穿、脱工作服。,静电控制(HOW),防静电包装、存储、转运 温度:2025;相对湿度(RH):40%60% 注意:对环境有特殊要求的,如潮湿敏感器件等,请遵照相应的专用操作指导书执行。 存储器具:可用于直接存储静电敏感器件及组件的器具有防静电器件盒、IC管、防静电袋、防静电周转箱、单板周转车等。,静电控制(HOW),防静电包装、存储、转运A 静电敏感器件须使用防静电器件盒、屏蔽袋、防静电器件管包装存放,静电敏感单板和组件需使用屏蔽袋、防静电Tray、周转箱、周转车包装存放。B 静电敏感器件尽量保持原包装状态,严禁随意拆封。C 用于静电敏感器件散装清点和发料的工作台必须铺设防静电台垫,并可靠接地。操作人员应佩带防静电手套、指套或将有绳防静电腕带接入防静电接地系统。D 静电敏感器件在储运过程中,勿靠近强静电、强电磁场,如电脑主机及其显示器上方、公共人行通道两侧等。,静电控制(HOW),离子风机、地板1.定期用离子风机测试仪进行抽查校准离子风扇,且保证且扇叶的清洁度,工作时须保证其对准有效工作区域其spec为:消散时间为3S 平衡电压为35V测试方式:测试板与离子风机的距离为 30-50cm,测3次取平均值记录,2.每月针对ESD防护区域的地板进行点检,每天需保证其干净,定期保养,减少其磨损度,ESD防护管理的重点事项-员工的ESD知识培训,为了更好的维护公司的ESD20.20的体系正常运行,需要进行对员工的ESD培训。培训的对象:工程师、生产主管、班组长、一线作业人员;培训计划分为:新员工入职培训
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