直拉单晶作业指导书

编制编制 审核审核 批批准准 henananyanghenananyang solarsolar文件編號 類 別DC機密等級 機密 一般 版本 次A 1 制訂日期2008 12 21 直拉单晶作业指导书 頁 次1 5 一 作业目的 1 正确规范员工在单晶直拉过程中使用正确的方法操作单晶炉设备 避免因操作错误等原 因给生产带来不必要的损失 2 规范员工的作业行为 使员工在生产过程中养成按规定操作的良好的作业习惯 二 作业范围 适用于单晶车间单晶炉生产操作区域 三 作业内容 1 1 装料装料 1 1 作业准备 a 进入车间需穿戴好洁净的工作服 鞋 b 准备好一次性洁净手套 耐高温手套 无尘纸 酒精 吸尘管 PVC 手套 防尘口罩 c 准备好钳子 扳手和各类拆装炉专用工具 d 用干净抹布将炉体从上到下擦一遍 擦洗时注意不要将所有控制界限及开关碰断或碰坏 将炉子周围清扫干净 尽量避免灰尘 1 2 作业顺序 a 打开真空包装取出石英坩埚 检查有无异物 用手电对光检查石英埚有无气泡 黑点 裂 纹 如有里层气泡直径超过 2 拒绝使用 b 确认无误后轻轻放入石墨埚内 放平 高出石墨埚部分要均匀 c 取小料 3 左右平铺于埚底 d 大块材料放置边上 为了稳固可放一些小块料 e 中等块的材料 放置中间 块料之间的缝隙尽量用小料填满 f 将剩下的小块料放入 尽量填缝隙 g 最后整理上部材料 高出石英埚的要向内倾斜 h 装料完毕后 将埚转设置为 2 转 分钟 用吸尘嚣吸净装料时附着在石墨材料上的硅粉 石墨埚下降到化料埚位后停止转动 放置好保温盖和导流筒 保证原料不接触导流筒 j 将干净的籽晶安装在夹头上 注意将籽晶位置摆正 用沾有无水乙醇的无尘纸将炉筒的密 封面接合部位污物除去 检查确认上述操作无误后合上炉盖和上炉筒 henananyanghenananyang solarsolar文件編號JKNY DC 29 编制编制 审核审核 批批准准 類 別DC機密等級 機密 一般 版本 次A 1 制訂日期2008 12 21 直拉单晶作业指导书 頁 次2 5 2 抽真空抽真空 2 1 关氩气 点动开真空泵 开真空球阀 2 2 抽真空至极限 必须在 3 5pa 以下 记录在记录本上 一次抽不到 3 5pa 以下导氩气再抽 2 3 确认真空测量计显示数字不再变后 关闭排气球阀 关真空泵电源 2 4 真空泵电源关闭 1 分钟后进行泄漏测量 3 min 内 1Pa 为合格 如不正常进行查漏 如 漏速过大请机修人员维修 3 化料化料 3 1 打开氩气流量开关 将氩气流量定在 30L min 控制炉压 1000 1100Pa 3 2 打开加热开关加热熔料 根据下表逐步增加电压 时间 0 min 30 min 60 min 功率 30kw 60kw 90 95kw 3 3 化料埚位控制在平口以下 100 110mm 化料过程中注意观察炉内情况和电流 电压表情 况 如果电流表指针摆动单晶炉内打火立即停炉 塌料后开启埚转 2 转进行化料操作 观察硅液面有无杂质 将其化料情况记录在随工单上 3 4 待硅原料化至剩下 20 左右降低化料温度 将埚位升至平口以下 50 60mm 避免高温时 间过长石英坩埚渗硅 3 5 二次加料 a 提前准备好二次加料器 用沾有酒精的无尘纸擦拭干净 保证加料器外壁与内壁无赃物 b 检查加料器底部后锥是否固定死有无老化 四瓣钼片是否完好 有无裂纹 钼丝固定处 是否固定好 c 加料器垂直放入晶体框中 准备好吸尘管带好口罩 把未装完料倒入加料器内 体积较 大一点的块料严禁加入 用籽晶卡住加料器移入副室开始加料 d 升降加料器时必须时刻注意加料器的情况 避免加料器的固定点卡在副室口导致拉断钢 丝绳 e 加料时注意温度的控制 加完料迅速提出加料器防止加料器在高温区放的时间过长 加 完料后将温度调至高温进行化料 编制编制 审核 审核 批批准准 henananyanghenananyang solarsolar文件編號JKNY DC 29 類 別DC機密等級 機密 一般 版本 次A 1 制訂日期2008 12 21 直拉单晶作业指导书 頁 次3 5 3 6 吊渣 未化完之前发现料中有杂质或漂浮物时 将籽晶引细部分插入未化完的上使其粘住 摆动 使漂浮物尽量多的粘在未化完的料中 待漂浮物粘的差不多时提起籽晶将渣拿出来 3 7 化完挥发 待料完全化完时将埚位升至平口以下 50 60mm 挥发 1 5h 4 放肩测电阻放肩测电阻 4 1 挥发完后降低温度将籽晶擦入液面放一个 40mm 左右的肩进行测电阻 4 2 打磨肩四个面 将肩降低至常温以后用沾有酒精的无尘纸将肩擦拭干净 4 3 检查测电阻率仪器是否准确 无误后测肩的电阻率 合格电阻率为 1 1 2 0 cm 4 4 低于或超出合格范围的进行加母合金操作 4 5 放一个 40mm 大小根据加母合金的量来定 的肩上面放母合金熔入料中 5 引晶引晶 4 1 调整晶转和埚转 6 规格产品 晶转 8 转 埚转 6 转 特殊情况工艺要求例外 8 规格产品 晶转 8 转 埚转 6 转 4 2 升坩埚至引晶埚位 将籽晶降至距液面的 10 mm 处 预热 5min 引晶埚位 液面距导流筒 10 20 4 3 将籽晶前端浸入硅液中试温 4 4 在浸入籽晶 3 5 min 后根据籽晶和液面的光圈情况调整温度 温度偏低时试着上调 10 20 点的欧陆值 偏高时下调 10 20 点的欧陆值直至找到合适温度为止 再开埚转引晶 4 5 温度稳定后开始引晶 打开埚转 晶升电源 计长清 0 以便计量长度 4 6 如果籽晶较短时引出一段较粗的颈备用 细颈引出 10mm 以后 拉速控制在 1 5 7 mm min 之间 温度如有不适随时进行调整 4 7 细颈直径控制在 3 5mm 之间 目测过细或引断的话进行回熔重引操作 6 放肩放肩 5 1 引晶结束后 将拉速 S L 根据温度情况慢慢调整到 0 4 mm min 5 2 根据肩的形状用欧陆调节温度控制肩的生长速度 放肩过程不可加温 温度过低可以适 当的加拉速 henananyanghenananyang solarsolar文件編號JKNY DC 29 類 別DC機密等級 機密 一般 版本 次A 1 制訂日期2008 12 21 直拉单晶作业指导书 頁 次4 5 5 3 放肩坏回熔 提出 a 降低埚位 控制晶升晶降 将肩回熔至料中 b 如果第二次放肩坏或回熔肩时杂质过多进行肩提出操作 提肩时要尽量使料中杂质粘在 肩上 c 将肩放到一个直径时提拉速使其脱离液面 上升至副室 d 打开主室充气流量计 关闭翻板阀后 增大副室氩气流量冲气到达常压后关闭 打开小 副室 戴上高温手套护住晶体 用老虎钳剪断引出的细颈 拿出晶体 6 转肩转肩 6 1 在肩放至距目标直径 6 10mm 时 根据埚中温度拉速控制在 1 3mm min 之间进行转肩操作 6 2 开始转肩时计长清 0 6 3 转肩开始到结束要不停的测量肩的直径 待完全转下后将拉速调至 1mm min 根据炉子的 具体情况调整埚升 6 4 待完全转下且目标直径达到时将拉速调至 1 2mm min 温校投自动 7 等径等径 7 1 转肩完毕后对等径状态进行生长 20 左右手动控制 拉速调节正常后切入自动 认真做好 各项拉晶记录 7 2 每隔 30 分钟对单晶炉运行的各项参数进行确认和记录 7 3 必须经常对晶体的直径测量 如有直径控制不良时 应退出自控 手动控制好再投入自控 等径坏回熔等径坏回熔 根据残留硅液的量确定控制等径在 350 mm 内坏时回熔 大于 350 拉制第二段 回熔操作 a 将欧陆设置为 OP 值转为手动 b 电流 电压调整到化料时的值 80kw c 观察炉内状态 慢慢下降晶体回熔 一次性只能降到液面以下 20 等完全溶化后才可以 继续下降 d 回熔至肩下时提起看有无脏物附着在晶体上 如有进行提肩作业 编制编制 审核审核 批批准准 henananyanghenananyang solarsolar文件編號JKNY DC 29 類 別DC機密等級 機密 一般 版本 次A 1 制訂日期2008 12 21 直拉单晶作业指导书 頁 次5 5 分两段拉制操作 分两段拉制操作 a 晶体长度大于 350 掉棱后执行收尾操作 收尾长度为 150 并收尖 手动降埚使晶 体与液面脱离 晶体脱离液面后设定拉速自动提拉晶体至辅室冷却 b 晶体脱离液面后设定拉速 2 min 自动上升 小时后调整拉速至 min 提拉 1 小时 第 3 小时调整拉速为 8 min 3 小时后手动提晶体至上副室冷却 1 小时后取晶体 8 8 收尾冷却收尾冷却 8 1 当晶体长度达到预定长度或埚内剩余料为 5kg 时 退自控收尾 停埚跟 8 2 收尾长度 晶体直径 10 收成尖尾 8 3 确认收尾作业完成后 按下埚快降键 降埚 20 mm 使晶体与液面分离 如果是不成晶提 断时 应降埚 30 mm 8 4 晶转 埚转 拉速 计算机参数复位 8 5 关闭加热电源 通氩气冷却 4 小时后关氩气做热后真空泄漏 关闭真空泵电源 炉内压力 保持在 0 05pa 冷却 1 小时 9 取晶取晶 9 1 向炉内充氩气至一个标准大气压 先打开炉门 再将晶体升至副室 9 2 按下控制柜上副室升按钮 升起副室炉筒 同时把晶体安全接盘移到副室口处