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文档简介

厂务系统概述 1 一 厂务系统功能 目录 三 厂务系统流程 二 厂务系统使用材质 2 一 厂务系统功能 3 1 1水系统在制程中的功能 4 1 2气体系统在制程中的功能 5 1 3化学系统在制程中的功能 6 1 4真空系统在制程中的功能 7 1 5排气 排水系统在制程中的功能 8 二 厂务系统使用材质 9 2 1水系统使用材质 10 2 2气体系统使用材质 11 2 3化学系统使用材质 12 2 4真空系统使用材质 13 2 5排气系统使用材质 14 2 6排水系统使用材质 15 三 厂务系统流程 16 3 1制程冷却水系统简略流程 17 3 2冰水系统简略流程 18 3 3纯水系统简略流程 19 3 4自来水 回收水系统简略流程 20 3 5CDA GN2 PN2系统简略流程 21 3 6其他大宗气体 特气系统简略流程 22 3 7高真空 排气系统简略流程 23 3 8真空系统简略流程 24 3 9化学系统简略流程 25 3 10废水收集系统简略流程 26 3 11废水处理系统简略流程 WasteWaterTreatment 27 英文缩写对照 28
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