玻璃的减薄技术及不良影响_第1页
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文档简介

.,玻璃的减薄（Slimming）工艺,.,.,Contents,.,减薄的作用,1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性,.,减薄工艺简介,减薄方法,.,技术一：蚀刻,2.蚀刻溶液依靠重力下流，蚀刻玻璃基材表面。,.,Textinhere,蚀刻,清洗,减薄,技术一：蚀刻,减薄流程,.,减薄设备,其余组件：供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置,.,技术二：真空激光减薄,所谓真空激光减薄技术,是指利用激光器发出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑,并调节到适当的能量密度,对于处在真空环境中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化,从而达到减薄膜层的目的。,.,技术二：真空激光减薄,系统原理：激光束经过聚焦、偏转后,经由石英窗口,照射放置在真空度为10-3Pa高真空环境中的待加工晶片,以实现对晶片表面银电极层的激光减薄。系统工作原理图如图。,.,技术二：真空激光减薄,优点：(1)可以实现对膜层的精确减薄,且减薄后的膜层不存在性能漂移现象;(2)工作在真空环境下,膜层减薄过程中不会出现对膜层污染、氧化等问题,加之激光加工为非接触加工,不会对膜层产生机械损伤;(3)利用激光移动灵活的特点,可以实现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄。,.,技术三：离子减薄技术,两个离子枪从真空室两侧插入,离子束以一定的掠射角(连续可调)从样品的两侧轰击样品。,聚光灯从样品背面照明,当样品出现微孔时停止减薄。,1,2,3,4,.,控制好玻璃液的温度,合理配置好拉边机进行双向拉薄,技术四：双向稳流拉薄法,关键点：围绕玻璃厚薄差和微观波纹度，在“稳”字上采取有效的技术措施。适用范围：超薄玻璃的生产。,.,技术五：逐级渐开拉薄法,1、是在试验的基础上建立起来的；2、是在超薄浮法玻璃的实际生产当中,通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法,对原有的拉薄方法(强冷重热拉薄法、徐冷拉薄法和双向展薄法)进行了试验探索；3、其整板厚度、厚薄差、微观波纹度均能满足用户的质量指标要求。,.,减薄工艺自身不良,.,减薄工艺自身不良,玻璃本身含有杂质.,1.除胶未干净，有残留2.PT等未清洗干净,玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致,工艺设备,玻璃表面,玻璃本身,.,Slimming后划伤,.,Slimming后划伤,LiftPin凹点,.,Slimming后划伤,2.Robot吸盘凹点,
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