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文档简介

1,真空吸笔使用规范,2,使用真空吸笔的目的,一、避免Wafer的正面在传递和转移中和其他物体有物理接触。从而把Particle和Scratch等造成的不良降到最低。二、用手和镊子夹去Wafer的情况要尽量避免和杜绝。,3,正确的使用方法示范,Step1:首先把Cassette放置在作业台上,并保证放置平稳,方便操作。,放置平稳,方便操作,4,正确的使用方法示范,Step2:认真检查Cassette放置方向是否正确。Cassette内的Wafer是否有方向防反的现象。,检查Wafer的方向是否正确,确保方向一致。,5,正确的使用方法示范,Step3:拿紧真空吸笔,用食指夹紧开关的前端,拇指推动开关。,拿稳吸笔,用拇指控制开关。,6,正确的使用方法示范,Step4:笔头平行轻触Wafer背面,并确保笔头完全和Wafer接触,吸稳Wafer。,笔头完全和Wafer接触,防止吸力不足而导致滑落。,7,正确的使用方法示范,Step5:以Wafer的背面为着力点,垂直将Wafer抽出。速度保持平稳。,垂直平稳抽出,以Wafer背面受力,并保持Wafer正面不受力。,8,以Wafer的背面为受力点,避免正面和Cassette摩擦。,9,正确的使用方法示范,Step6:将Cassette倾斜一定角度,将Wafer对好要放置的位置。,倾斜一定角度,并将Wafer对准位置,避免错位。,10,Step7:以Wafer的边缘和背面为受力点,插入Cassette,插入Wafer,避免正面和Cassette产生摩擦。,11,以Wafer背面和边缘为受力点插入。,12,Step8:笔头前端和前一片Wafer平齐时。关闭真空开关。使其轻轻滑入Cassette。,笔头不要没入Wafer内,避免与邻近的Wafer光面接触到。,13,Step9:关闭真空开关,使Wafer边缘和背面与Cassette接触并轻轻滑落,让Wafer轻轻滑落入Cassette。,14,错误的使用方法,以下列举几种错误使用方法,请大家在今后的使用过程中坚决避免!,15,错误的使用方法,未垂直抽取Wafer,造成与领近的Wafer摩擦。,16,错误的使用方法,未垂直抽取Wafer,造成与领近的Wafer摩擦。,17,错误的使用方法,笔头插入过深,容易造成邻近的Wafer划伤。,18,错误的使用方法,笔头插入过深,容易造成邻近的Wafer划伤。,19,错误的使用方法,摆放错位!,20,错误的使用方法,摆放错位!,21,错误的使用方法,摆放错位!,22,错误

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