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文档简介

真空泵的工作原理,高新区工程装一车间工艺组凌碧慧,1,目录,2,一、真空泵的简介和主要构成部件,真空泵的简介油封式真空泵分为定片式、旋片式、滑阀式和余摆线式四种类型。旋片式真空泵(简称旋片泵)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.3310-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。我司选用的莱宝泵即为双级旋片式真空泵。,3,基本概念:,1、压强:单位面积上的压力称为压强。国际标准单位为牛顿/米2,即帕斯卡。2、真空:是指在给定的空间内,压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强)的气体状态。又可分为高真空、中真空和低真空,它的气体稀薄程度用真空计测定。3、真空度:处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。实际是一种气体压强概念。,4,各种压强单位之间的换算1标准大气压=1.01325105Pa(帕斯卡)1MPa(兆帕)=1106Pa(帕斯卡)1bar(巴)=0.1兆帕=1105帕斯卡1mmHg(毫米汞柱)=1Torr(托)=1.333hPa(百帕)1inHg(英寸汞柱)=25.4mmHg(毫米汞柱)=33.8hPa(百帕)1mbar(巴)=100帕斯卡1Torr(托)=l/760标准大气压=133.322帕1kg/cm2(公斤力)=0.98105帕斯卡可以简化记:1巴(bar)=1标准大气压=1公斤/平方厘米=100千帕(KPa)=0.1兆帕(MPa),5,一、真空泵的简介和主要构成部件,真空泵的主要构成部件,控制开关,真空计,真空泵体,电机,真空管,法兰,卡箍,硅管,导电轨,碳刷,6,一、真空泵的简介和主要构成部件,真空泵体的主要构成部件,7,一、真空泵的简介和主要构成部件,真空泵体的主要构成部件,密封片,前腔,后腔,前泵顶盖,前级泵,二级泵,二级泵顶盖,泵支架,8,一、真空泵的简介和主要构成部件,真空泵体的主要构成部件,缸体,转子,旋片,法兰、离心开关,轴、键,支架,风扇、法兰、弹性联轴体,9,一、真空泵的简介和主要构成部件,真空泵各阀门分解,防返油阀,堵帽,离心开关,排气阀,单向排气阀,弹簧片,10,二、真空泵的工作原理,真空泵的进气及前级压缩工作原理,气体从进气口被吸入,通过通气/隔离阀进入前级泵的泵腔中,在泵中,气体被传送,当入口处被叶片封闭后气体被传送和压缩,在转到过程中油从注油口被吸入缸体内;一方面,油起到缸壁与叶片端面间的密封与润滑作用,另一方面还起到叶片在转子中的密封与润滑作用。在缸体中,气体被压缩后通过前级泵与二级泵之间支架通道进入二级泵。,注油口,11,二、真空泵的工作原理,真空泵的二级压缩及排气工作原理,当气体被从支架通道吸入二级泵缸体后,气体又被如同前级泵一样传送和压缩(即容积的大小转换压缩),最终通过排气阀排入排气通道然后排出大气外,其中压缩的气体夹带的油将被过滤器收集。通常在泵运转于极限压强下会出现油撞击声,这种噪音可由二次空气来消音。,二次空气注入口,12,二、真空泵的工作原理,真空泵的气振,我们的冰箱系统中除了存在空气,可能还有水蒸汽,蒸汽会溶解于油中,这将有损于泵油的性能,或将泵油乳化,引起泵的腐蚀。为此,在抽气过程终止后,打开气振阀继续运转至少运转30分种,当全部蒸汽被抽除,能改善可达到的极限压强。气振的工作原理:进气-压缩-排气。,气振阀帽,加强板,油过滤器,气振阀体,弹簧,13,三、真空泵的常见故障,14,三、真空泵的常见故障,15,三、真空泵的常见故障,16,四、真空计校准,真空计现场校准,打开现场中原接入真空计规管接头处,接入三通。三通的另两关分别接入被校真空计与标准真空计;打开真空泵,观察标准真空计显示的真空下降的速度,以便确认整个抽真空系统是否有泄漏;观察两真空计数值下降的一致程度,并记录10Pa和6Pa时被校真空计的数值,计算被校真空计在每一点的相对误差值,对于超过50%,先进行基准电流的调试。如实在无法调整过来,更换规管,如更换规管后,误差还是无法调整,则判为不合格。通知设备维修部门更换真空计。,17,四、真空计校准,54DB(59C4)真空计现场定点调整方法,调整规管电流值11看清规管上标注的电流值;12按下真空计电流按键,一直按着不要松开,然后调整校准旋钮,将电流值调到与规定标注相同的电流值。(刻度盆下面一圈为电流值);13调准确后,松开电流按键。2、调整定点值21按下模拟按键,不要松开;22调整定点旋钮,将指针调到所要求的真空值;23调准确后,松开模拟按键。3、调整切换点31按下模拟按键,不要松开;32调整切换旋钮,将红绿点中绿灯的亮,调到真空值以下为绿灯,超过真空值为红灯;33注意红绿灯在真空临界值附近切换的控制;34调准确感觉满足要求后,松开模拟按键。,18,四、真空计校准,如何将真空计在10Pa和6Pa时的相对误差调到20%以下,一、当系统稳定时,对应标准真空计的示值,按下54DB真空计的校准键,将电流值调小;二、松开校准键,观察在被校真空计的示值的相对误差是否减少,若减小,则证明将电流值调小为正确的。反之则将电流值调大;三、反复调整直至将被校真空计的示值调整到与标准真空计一致;四、关闭真空泵,当真空度回升后50Pa左右后,再开启真空泵,观察被校真空计在10Pa和6Pa时的相对误差;五、反复调整,直到将相对误差值调到可接受的程度。,19,五、快速接头的构造及密封原理,快速接头的锁紧部分,套桶,卡扣,锁紧环,接头,密封圈,卡扣铰链结构,一端固定在接头上,另外一端卡在套桶上,当卡扣被推向快速接头的接口时,带动接头、锁紧环向前推进,使得卡簧收紧锁住工艺管,接头前端的密封圈厚度主要密封工艺管与接头的间隙。,锁紧扣,20,五、快速接头的构造及密封原理,快速

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