半导体气体特性及系统介绍.ppt

半导体气体特性介绍1.BulkGas大宗气体2.SpecialtyGas特气,一.大宗气体供应系统-BulkGasSupplySystem,1.什麼是大宗氣體:一般指用量較大的氣體,無色無味無臭,但仍有潛在的危險(部分具窒息性).*CDA(UCCA)/IA壓縮乾燥空氣/儀器推動空氣/呼吸用空氣*HPCDA(HCDA)高壓壓縮乾燥空氣*GN2-一般氮氣*PN2-純化氮氣*PHE-純化氦氣*PAR-純化氬氣*PO2-純化氧氣*PH2-純化氫氣,2.主要用途介紹:*CDA作為Fab中氣動設備(如Pump)的氣源及吹淨(Purge)作為LocalScrubber助燃的氣源*IA作為廠務系統氣動設備的氣源及吹淨(Purge)*HPCDA黃光區Scanner機台專用(移動平台/使Filter緊靠)*GN2/PN2-作為部分氣動設備氣源及提供惰性的氣體環境Pn2主要的功能為吹淨(Purge)*PO2-提供製程中氧化的作用*PAR作為製程中濺渡的傳導介質*PHE-作為製程中冷卻晶片的氣源*PH2-提供燃燒,烘烤的作用及其他反應,二.特殊氣體供應系統-SpecialtyGasSupplySystem,1.什麼是特殊氣體:一般指用量小,極少用量便會對人體造成生命威脅的氣體特殊氣體分類大致如下*易燃性氣體FlammableGas*毒性氣體ToxicGas*腐蝕性氣體CorrosiveGas*低壓性/保溫氣體HeatGas*惰性氣體InertGas,3.气体标签的颜色簡介:*CDA白色*GN2PN2橘红色*PO2黑色*PHePAr绿色*PH2红色*氧化性气体:黑色如O3*易燃性氣體:红色如SIH4,PH3,H2,.*毒性氣體:红色如CO,NO,CLF3,.*腐蝕性氣體:如NH3,SIF4,CL2,.*惰性氣體:绿色如SF6,C4F8,N2O,.,2.特殊氣體特性簡介:*易燃性氣體:燃點低,一洩漏與其他氣體相混,便易引起爆炸及燃燒如SIH4,PH3,H2,.*毒性氣體:反應性極強,強烈危害人體功能,如CO,NO,CLF3,.*腐蝕性氣體:易與水份起反應而產生酸性物質,有刺鼻,腐蝕,破壞人體的危險性如NH3,SIF4,CL2,.*低壓性/保溫氣體:屬黏稠性液態氣體,需包加熱線及保溫棉,將管內的溫度升高以使其氣化,才能充分供應氣體,如WF6,BCL3,DCS,.*惰性氣體:又稱窒息性氣體,當洩漏出的量使空氣中含氧量減少至16%6%以下時,便會影響人體,甚至死亡,如SF6,C4F8,N2O,.,标签的粘贴方式,气体标签,气体标签内容要与管道内气体一致；气体标签的方向要与气体走向一致；气体标签粘贴，要符合以下规定：1）在直管段每2米一个;2）弯头两头应贴标签；3）与原有系统的标签位置平齐；4）在机台POU处、阀箱进口、VMB出口、VMP出口、阀前和阀后、上IC洞口处要有气体标签;5)粘贴气体标签要以易看见为标准；如：在高处水平管道的标签应贴在管道下半圆两侧90度范围内。6)粘贴标签要美观,保证标签与管道平行,居中,无残缺,褶皱,翘曲,机台名标签,机台名标签内容要与管道所属机台一致；机台名标签的方向要与气体走向一致；机台名签粘贴，要符合以下规定：1）在连接takeoffpiont水平管道正下部、VMB,Takeoffpiont号码标签,Takeoffpiont号码标签内容要与管道所属Takeoffpiont一致；Takeoffpiont号码标签的方向要与气体走向一致；Takeoffpiont号码标签粘贴，要符合以下规定：1）在进泵的阀组的阀前,在Fab地板下盘面上,在Fab地板下阀箱内,在Fab地板下无盘面的管道阀前,要有Takeoffpiont号码标