3PECVD基本操作.ppt

PECVD基本操作，PECVD操作过程，戴上无纺面罩，戴上干净的手套，取出待镀膜硅片，检查刻蚀处硅片的数量，将石墨舟推到干净的工作台，取出轴承箱，放入干净的工作台，取出应时吸笔，擦拭干净，将硅片一片一片插入石墨舟，注意硅片的扩散方向， 插入一只舟后，将石墨舟推到设备的进料口，在计算机上完成相应操作后，让其自动运行。 工艺完成(涂层完成)后，打开门并撤回船(设备自动运行)。报警后，按下撤车按钮撤车，将装有石墨舟的车推入冷却室冷却。冷却完成后，将车推到干净的工作台上。卸载完成后，将其放入指定的轴承箱，将装载的轴承箱拿到丝网印刷，开始卸载。注意工艺点的一致性，推推车，从蚀刻室推出硅片时，检查数量，盖上盖子后推推车。推动的方向是车盖的打开方向，车不能向扶手方向推动，以免伤人或碰撞到盖的支撑柱。在实施过程中，应注意汽车的稳定性，严禁加速或减速。到达车站时，将手推车放在指定位置。盖子打开后，取出硅片，必须重新盖上盖子。空的搬运箱放在车下或车内。盖子合上后，将其放回蚀刻室。推车的方向是垂直的。以稳定而缓慢的速度推动汽车。推汽车时，你应该看前面。如果你周围的任何人必须提前通知，你只能在你回应后继续。步行时，汽车应遵循指定的路线。当汽车行驶时，手不能离开汽车。移动汽车时，与墙壁、设备、设施、固定装置等保持一定距离。避免碰撞。装卸方法，取出准备好的吸笔并将其插入装载室的真空软管中，调节气压。从手推车中取出四盒胶片，盖上手推车。确认轴承箱的打开方向，并将其放在薄膜装载室。将台车的车轮托架向下压至固定位置。轻轻移除硅片。拿起吸笔，将笔尖平放在硅片的右角，稍微向内，食指就卡在笔中间的孔里。将其放入石墨舟内，在下部用两个加工点固定位置，然后在上部加工点倾斜硅片。重复上述步骤，直到舟的一侧充满硅晶片。检查胶片是否与舟壁结合，是否卡在三个工艺点上。台车托盘被调平并旋转180度，以在船的另一侧完成装载操作。在该过程完成并被推到冷却室进行冷却后，板材被卸载。将托盘降至固定位置。用吸笔将硅片从上加工点倾斜出来后，将硅片从石墨舟中取出，放入卸载箱中，通过重复上述动作完成在舟一侧卸载硅片的操作。取出硅片，放在层叠的外壳上，整齐排列，放入轴承箱。重复上述操作以完成卸载。输入数据，将带有船的汽车推入机器，在JOBS页面中会自动弹出一个窗口。用大写字母锁定计算机键盘。输入你名字的第一个大写字母。输入船的号码。选择流程文件。选择运行流程的管道编号。单击输入完成数据输入。填写表格，更改数据，选择要更改或删除的船的数据。打开设置菜单，点击船，更改或删除船的数据。输入密码【设置】、【删除】后，选择相应界面删除石墨舟信息。选择手动单击“下一步”以更改船号，并选择操作过程的管道号。单击下一步选择船只的实际位置和船只的状态。单击下一步选择工艺文件并输入操作员。单击“完成”完成设置。当石墨舟pr清洗完成后，调用舟加工技术8次对舟进行加工。石墨舟清洗，清洗原因：当石墨舟运行到一定次数时，表面会沉积一层很厚的氮化硅，影响舟壁与硅片的接触，从而影响涂层质量，因此需要清洗石墨舟。清洁步骤：向清洁器一侧的槽中加入108升氢氟酸，加入适量纯水使液面达到30-40厘米左右，并向另一侧的槽中加入纯水。待清洗的石墨舟应拆卸，拆卸时应注意：应小心处理石墨舟件；石墨舟的零件不能丢失。将石墨舟放入一个特殊的清洗篮中，用手推车将其推到清洗机的一侧，并将其放入一个准备好的槽中。10-12小时后，取出花篮，放入纯水箱中，用纯水反复冲洗，直至石墨舟表面干净。完成石墨舟的清洗。将清洗干净的石墨舟放入干燥箱中，设定温度为80，干燥4-6小时。在这段时间内，清洗机中的废液被排出，水箱被清洗。根据原始位置组装石墨舟。维护设备，运行停泵工艺文件。进入系统许可后，将温度降至室温(约25度)。冷却时，准备好：高温手套、真空吸尘器、应时钩、石英管、防护眼镜、酒精、布等。当温度降至室温(约25度)后，将桨的位置设置为10度，管道门将自动打开。戴上高温手套、防护眼镜，用应时钩将管内的碎片钩到喷嘴上。从石英管中取出碎片。用真空吸尘器吸出管子里的小碎片。用布蘸酒精擦拭喷嘴和管道门。注意：进行上述操作时，注意不要触摸电极和热电偶。桨叶位置设置为0，管