设备验收报告——扩散炉

1、北 京 中 联 科 伟 达 技 术 股 份 有 限 公 司 设 备 验 收 报 告设 备 名 称型号规格数量/套验收范围扩散炉DHC53A-031验收日期：2010年 月 日技术规格(详见附文)验收项目验收指标实测结果备注温度控制范围4001100恒温区长度及精度0.5/1080mm （8011100 ）1.0/1080mm （400800）炉体温度稳性1/4hours（855时）升降温速率可控范围爬升率: 15/min (最大)下降率: 5/ min (最大)N2/O2流量精度2%*总量程尾气抽气负压-100-300Pa单机产能1.5h/批，400片/批设备稳定性一周稳定运行工艺效果验证均匀

2、性：单片平均值：目标值5/ 单管平均值：目标值3/单片极差8，单管极差10培训培训内容培训对象(签字)培训时间备注石英管拆装/清洗设备操作日常维护/故障排查资料交付类型交接对象(签字)交接时间备注电气图机械装配图使用说明书、维护手册、安装说明书、安全说明书技术规格书备品备件交接验收结论：意见和建议：甲方名称：中恒科技（唐山）曹妃甸有限公司技术负责人：（盖章处） 日 期：2010 年 月 日乙方名称：北京中联科伟达技术股份有限公司现场负责人：日 期：2010 年 月 日注：此报告一式两份，甲方、乙方各存一份。设备验收报告附文一、 验收依据1、 年 月 日，甲、乙双方签订的DHC53A-03型管式

3、扩散炉设备购销合同。2、 年 月 日，甲、乙双方签订的DHC53A-03型管式扩散炉设备验收细则。二、 验收项目1、温度控制范围2、恒温区长度及精度3、炉体温度稳定性4、升降温速率可控范围5、N2/O2流量精度6、尾气抽气负压7、单管产能8、设备稳定性9、工艺效果验证三、 验收标准、方法1. 温度控制范围检验方法：将炉体恒温区5个点的工艺温度设为一致，范围控制在400-1100之间，保温维持4小时，根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。检验标准：5个点的温度波动值控制在0.5（8011100 ）以内; 5个点的温度波动值控制1.0/1080mm（400800）以内2、 恒温区长度及

4、精度检验方法：将炉内温度设置在400800之间，开启加热，当炉温达到设定温度并稳定1小时以上，将中间3个温控仪（分别监测恒温区的头部、中部、尾部3个位置的温度）测得的温度最大值减去最小值，然后再除以2，得到的结果即为所测恒温区的精度，该值如果在技术指标规定的范围之内，即判定为恒温区长度、精度指标检测合格。温度在8011100之间的测试方法同理。检验标准：0.5/1080mm （8011100 ），1.0/1080mm （400800）。3、 炉体温度稳定性检验方法：将炉体恒温区5个点的工艺温度设为某一温度，范围在800900之间，炉温稳定后4个小时以内炉温的波动，根据设定值与温控表测量出的实际

5、值相比较得出该指标。检验标准：5个点的温度波动值控制在1以内4、 升降温速率可控范围检验方法：工艺温度下（推荐800900），在炉内温度稳定时，将炉内温度设定为某一需要值，测试炉内温度稳定所需的时间，再除以两次温度的差值，即可得到爬升率。检验标准：爬升率为15/min (最大)，下降为 5/ min (最大)。5、 N2/O2流量精度检验方法：根据设定值与操作界面显示值相比较得出该指标。验收标准：2%*总量程；大N2流量允许偏差为1000sccm，小N2流量允许偏差为100sccm，O2流量允许偏差为400sccm。6、 尾气抽气负压检验方法：用文氏管测试设备尾气管的抽气压力。验收标准：-10

6、0-300Pa7、 单机产能检验方法：单管双面扩散产能200片，单面扩散产能400片，方阻基本达到目标值。每管运行时间在1.5h/管验收标准： 400/批（125mm硅片单扩），200片/批（125mm硅片双扩）8、 设备稳定性检验方法：设备进入试用期，稳定批量生产一周，无严重故障（指不发生导致生产过程停止的设备故障；排除人为因素）。验收标准：设备稳定运行一周。9、 工艺效果验证检验方法：正常执行标准工艺配方，随机抽取3批（炉），每批（炉）抽取6片扩散硅片，每片随机测量5个点，根据43/方阻的实测值得出均匀性指标。（每管硅片电阻率在1-3cm） 目标值的检测：每炉6片三十个点方阻的平均值在40

7、46/片内单片平均值和极差的计算方法为：单片平均值每片5个测量值的总和除以5，平均值8（3848/）、片内极差5个点的最大值减去最小值（ Max-Min8/）单管的平均值和极差：单管6片平均值总和除以6，平均值3（4046/）、单管内的极差为30个点的最大值减去最小值（ Max-Min10/）分项目标值检测仪器检测方法方块电阻目标值3/四探针测试仪单片5点取平均值均匀性单片平均值：目标值5/单管平均值：目标值3/单片极差8，单管极差10四探针测试仪片内：单片取5点；极差：MAX-MIN片间：两舟等距抽取6片，每片取5点；算法：标准方差法；表观无明显蓝黑斑点目测抽测，样本：6片/批；个能正常进行

8、40/的双面扩散正常工艺，批量结果基本达到目标预期方阻值40/，对设备批量一周结果的验证基本达标。四、 验收结果附表五、 培训内容详细附表培训项目培训内容培训人员备注操作培训1、设备使用培训（设备整体结构介绍、手动运行操作、自动运行操作、配方编辑、上下料操作、系统参数设置等）2、操作过程注意事项（见使用说明书相关部分）3、恒温槽操作使用维护培训1、 SiC桨装调和清洗；2、 石英器件（石英管、石英舟、石英炉门等）装调和清洗；3、 磷源更换及注意事项4、 常见故障分析与排除（见维护手册）5、 日常维护（停开机、水电气检查及相关器件的装调等）六、 交接资料详细附表设备说明书清单：6.0技术规格书 1份6.1使用说明书 1份6.2 备品备件单 1份6.3电气图纸 1份6.4温度控制仪使用