真空管生产流程

1、真空管生产流程真空管厂工艺科2015.08.13 全称：全玻璃真空太阳集热管全称：全玻璃真空太阳集热管 结构及材料结构及材料内外管材料卡子吸气剂真空夹层选择性吸收涂层吸气膜全 玻 璃 真 空 太 阳 集 热 管 示 意 图 ： 罩玻璃管 内玻璃管 卡子 吸气剂 真空夹层 选择性吸收涂层 吸气膜 内外管材料：高硼硅内外管材料：高硼硅 3.3玻玻 璃璃 特特 性性 ：v 具有良好的化学稳定性，抗酸碱水；具有良好的化学稳定性，抗酸碱水；v 具有良好的热稳定性，具有良好的热稳定性，膨胀系数膨胀系数3.310-6Kv 具有良好的光学性能，透光率具有良好的光学性能，透光率 0.89；v 具有良好的机械性能

2、。具有良好的机械性能。v 再加工中不变色。再加工中不变色。注：真空管可以承受注：真空管可以承受25mm的冰雹打击。的冰雹打击。材料：不锈钢材料：不锈钢 ；作用：作用：支撑内管自由端；支撑内管自由端； 固定吸气剂。固定吸气剂。材料：不锈钢钢环、铁柄及药粉组成，材料：不锈钢钢环、铁柄及药粉组成， 药粉成分有药粉成分有Ba、Al、Ni。类型：蒸散型吸气剂类型：蒸散型吸气剂卡卡 子子 吸气剂吸气剂真空夹层：由内外管组成的真空夹层，压强真空夹层：由内外管组成的真空夹层，压强P 5.0E-2Pa5.0E-2Pa，具有保温隔热作用。具有保温隔热作用。选择性吸收涂层：选择性吸收涂层：是在直流磁控溅射下得到的。

3、是在直流磁控溅射下得到的。吸气膜：是由吸气剂在吸气膜：是由吸气剂在800 以上温度下蒸以上温度下蒸散得到的产物。散得到的产物。三三. 工艺流程及分解说明工艺流程及分解说明检验装箱罩玻璃管切齐一端烧圆头清洗烘干退火内玻璃管切齐一端烧圆头退火内玻璃管外表面沉积太阳选择性吸收表面清洗烘干弹簧卡子清洗烘干点焊成形装配点焊吸气剂罩玻璃管、吸热管和带吸气剂的卡子组装罩玻璃管与吸热管开口端环形熔封封离排气嘴真空烘烤排气环形封口端退火蒸散吸气剂接排气嘴 将两端参差不齐的毛管一端切齐；燎口将两端参差不齐的毛管一端切齐；燎口；原理：热胀冷缩，液体的表面张力。原理：热胀冷缩，液体的表面张力。 按要求尺寸将一端切齐口

4、的半成品圆底按要求尺寸将一端切齐口的半成品圆底； 将圆好头的半成品接排气嘴；将圆好头的半成品接排气嘴； 接好排气嘴半成品加工部位退火。接好排气嘴半成品加工部位退火。分解说明（一）分解说明（一） 将两端参差不齐毛管一端圆头；将两端参差不齐毛管一端圆头； 按要求尺寸去掉另一端；按要求尺寸去掉另一端； 将圆头部位退火。将圆头部位退火。分解说明（二）分解说明（二）将半成品、进行超声波清洗将半成品、进行超声波清洗,将将表面污着物清除掉表面污着物清除掉,然后经过自来水然后经过自来水和去离子水冲洗和去离子水冲洗,最后进行高温烘干最后进行高温烘干处理。处理。 分解说明（三）分解说明（三）分解说明（四）分解说明

5、（四） 将烘干后内管将烘干后内管, ,装配到真空室内装配到真空室内, ,在真空状态下在真空状态下, ,磁控溅射镀膜磁控溅射镀膜, ,在内在内管外表面形成选择吸收涂层；管外表面形成选择吸收涂层； 将罩管与弹簧卡子进行装配；将罩管与弹簧卡子进行装配； 将镀好膜内管与外管装配。将镀好膜内管与外管装配。 封口：将管口部位在火头上旋转，内外管烧熔后完全熔封封口：将管口部位在火头上旋转，内外管烧熔后完全熔封 成为成为 分解说明（五）分解说明（五）排气排气 ：将封完口后的半成：将封完口后的半成品真空管在排气台抽真空加品真空管在排气台抽真空加热；将夹层气体玻璃气体经热；将夹层气体玻璃气体经过过4000C（或或

6、430）高温，）高温，43（或（或63）分钟将夹层内气）分钟将夹层内气体和玻璃内气体排除后，封体和玻璃内气体排除后，封离为：离为：分解说明（六）分解说明（六）封离真空度为1.010-3Pa分解说明（七）分解说明（七）排气后管内仍存在少量气体和玻璃在使用过程仍放气，排气后管内仍存在少量气体和玻璃在使用过程仍放气，在真空中可以采用蒸散型吸气剂，蒸发吸取夹层内剩在真空中可以采用蒸散型吸气剂，蒸发吸取夹层内剩余气体和管在使用过程所产生的气体以保证真空管寿余气体和管在使用过程所产生的气体以保证真空管寿命，烘烤后命，烘烤后烤消原理：烤消原理：涡流加热原理，即在高频交流电产生的磁场使处涡流加热原理，即在高频交流电产生的磁场使处于磁场内部的金属内部产生环行电流，产生大的于磁场内部的金属内部产生环行电流，产生大的电流，进而产生热量，使金属升温。电流，进而产生热