高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析ppt课件

1、“挑战杯西安邮电大学挑战杯西安邮电大学高灵敏度阵列气敏传感器的制备 与气敏特性研讨 争辩人：杨锐强、卫怡、康颖争辩人：杨锐强、卫怡、康颖经过以以下图片我们能得出什么？ 1.酒后驾车酒后驾车2、环境污染、环境污染3 3、煤矿平安、煤矿平安 图一图一 消防队员处置泄露事故消防队员处置泄露事故 图二图二 硫化氢有毒气体硫化氢有毒气体泄露泄露4 4、气体走漏、气体走漏本工程运用纳米资料薄膜，比外表积大，外表本工程运用纳米资料薄膜，比外表积大，外表能高，具有传统资料所不具备的物理化学特性。比能高，具有传统资料所不具备的物理化学特性。比普通薄膜有更快的呼应速度，具有高灵敏度。普通薄膜有更快的呼应速度，具有

2、高灵敏度。目录目录1、气敏传感器的简介2、本工程的研讨意义以及研讨目的3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺4、数据分析及总结5、未来前景展望1 1、气敏传感器的简介、气敏传感器的简介敏感元件敏感元件传感元件传感元件非电量非电量电参量电参量电量电量 传感器组成框图传感器组成框图被丈量被丈量气敏传感器的根本构造：气敏传感器的根本构造：转换电路转换电路气敏传感器的根本原理：气敏传感器的根本原理：气敏薄膜气敏薄膜基底基底气敏薄膜气敏薄膜加热电极加热电极叉指电极叉指电极 气敏传感器的分类气敏传感器的分类气敏传感器气敏传感器半导体气敏半导体气敏传感器传感器催化熄灭催化熄灭式气敏传式气敏传感器感器电化学气电

3、化学气敏传感器敏传感器热导池式热导池式气敏传感气敏传感器器磁性氧气传磁性氧气传感器感器2、本工程的研讨意义以及研讨目的由于单个气敏器件对多种气体都有呼应，我们对由于单个气敏器件对多种气体都有呼应，我们对单个敏感器件的这一特点加以研讨，制备出高灵敏度单个敏感器件的这一特点加以研讨，制备出高灵敏度阵列气敏传感器。它不仅能抑制单个气敏传感器的缺阵列气敏传感器。它不仅能抑制单个气敏传感器的缺陷，更可以对混合气体加以区分。存在多种运用和潜陷，更可以对混合气体加以区分。存在多种运用和潜在运用。在运用。半导体气敏传感器阵列半导体气敏传感器阵列1 1氧化氧化高温氧化炉高温氧化炉3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备

4、工艺2 2匀胶匀胶光刻胶光刻胶氧化层氧化层涂胶机涂胶机3 3光刻光刻光刻机光刻机4刻蚀和除胶5 5掺杂掺杂硅晶片的蚀刻掩膜去除后硅晶片的蚀刻掩膜去除后叉指电极叉指电极掺杂硼掺杂硼6 6划片及印刷制备的薄膜划片及印刷制备的薄膜激光切割机激光切割机 我们在制造好的硅片上涂抹我们在制造好的硅片上涂抹特定的纳米资料薄膜，然后封装。特定的纳米资料薄膜，然后封装。制成我们所要的气敏传感器！制成我们所要的气敏传感器！涂膜前涂膜前涂膜后涂膜后纳米氧化锌的生长纳米氧化锌的生长二氧化钛二氧化钛4、数据分析及总结ZnO气敏传感器V-G特性TiO2气敏传感器V-G特性任务总结任务总结根据半导体工艺以及相关技术，结合先

5、进的根据半导体工艺以及相关技术，结合先进的测试方法和实际分析，建立智能化识别方式测试方法和实际分析，建立智能化识别方式使之顺应复杂环境中气体的检测，实现高精使之顺应复杂环境中气体的检测，实现高精度、低功耗和集成化气体传感器阵列构造和度、低功耗和集成化气体传感器阵列构造和不同选择性的气敏薄膜的制备。不同选择性的气敏薄膜的制备。提出工程创新点提出工程创新点1 1、提出高灵敏度传感器阵列设计与制备，以、提出高灵敏度传感器阵列设计与制备，以实现复杂成分气体的检测。实现复杂成分气体的检测。2 2、利用半导体工艺等技术，在本征硅片上阵、利用半导体工艺等技术，在本征硅片上阵列构造电极和纳米气敏薄膜，有效提高

6、气体丈列构造电极和纳米气敏薄膜，有效提高气体丈量的准确性、呼应速度和灵敏度。量的准确性、呼应速度和灵敏度。3 3、建立智能化的识别方式使之顺应复杂环境、建立智能化的识别方式使之顺应复杂环境中混合气体种类和含量丈量。中混合气体种类和含量丈量。后期目的后期目的本工程初步得出阵列化的气敏传感器本工程初步得出阵列化的气敏传感器, ,可以对可以对混合气体有良好的选择性。但是还存在一些缺混合气体有良好的选择性。但是还存在一些缺乏，为了可以更有效更方便更准确的识别混合乏，为了可以更有效更方便更准确的识别混合气体，在后续任务中我们预备在同一基底上阵气体，在后续任务中我们预备在同一基底上阵列更多的气敏传感器，对其进展更加完善的测列更多的气敏传感器，对其进展更加完善的测试。构建复式图，对比数据库相关信息得到更试。构建复式图，对比数据库相关信息得到更准确的信息。准确的信息。石墨烯石墨烯5 5、未来前景展望、未来前景展望本设计结合高性能气体传感器开展的需求和最新的研讨成果，经过阵列构造、气敏薄膜和识别方式的不断完善，可实现国防、工业及日常生活开展对选择性强和丈量精度高的新型气体传感器需求，对提高国民经济有很大的运用价值，具有很大