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文档简介
1、CMOS工艺器件结构工艺器件结构CMOS工艺中常用的元器件 MOSFET (hv or lv ) PMOS NMOS NMOS_dnw NMOS_native RESISTOR CAPACITANCE DIODE BIPOLAR INDUCTOR一、MOSFETNmos 版图版图Nmos 剖面图剖面图lNMOSFET 版图和结构版图和结构一、MOSFETNmos _na版图版图Nmos_na 剖面图剖面图lNMOS_NA 版图和结构版图和结构一、MOSFETNmos_dnw 版图版图Nmos_dnw 剖面图剖面图lNMOS_dnw 版图和结构版图和结构一、MOSFETPmos 版图版图Pmos
2、 剖面图剖面图lPMOSFET 版图和结构版图和结构二、RESISTORPoly resistor 版图版图Poly resistor 剖面图剖面图lPoly resistor 版图和结版图和结构构二、RESISTORnwell resistor 版图版图nwell resistor 剖面图剖面图lnwell resistor 版图和版图和结构结构二、RESISTOR普通普通poly resistor 版图版图扩散电阻版图扩散电阻版图lOthers resistor版图和结构版图和结构三、CAPACITANCEMIM cap 版图版图lMIM版图和结构版图和结构三、CAPACITANCEMOM
3、 cap 版图版图lMOM版图和结构版图和结构三、CAPACITANCEVAR cap 版图版图lVARACTOR版图和结构版图和结构VAR cap 剖面图剖面图三、CAPACITANCEMOS管做电容示意图管做电容示意图lMOS CAP版图和结构版图和结构四、DIODEDIODE 版图版图lPSD/NWELL版图和结构版图和结构DIODE 剖面图剖面图四、DIODEDIODE 版图版图lPSD/NWELL版图和结构版图和结构DIODE 剖面图剖面图五、BIPOLAR(BJT)l横向横向BJT(pnp)版图和结构版图和结构DIODE 版图及对应剖面图版图及对应剖面图六、INDUCTORlINDUCTOR版图和结构版图和结构INDUCTOR版图版图目前基本能用到的都是目前基本能用到的都是met
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