洁净室测试方案

1、IVO A11 CLEANROOM PACKAGECLEANROOM PERFORMANCE TESTSCONTENT1. CLEANROOM LAYOUT AND REQUIREMENT2. CLEANROOM PERFORMANCE TEST ITEM3. CERTIFICATION OF CLEANROOM PERFORMANCEA. AIR FLOW VELOCITY&VOLUME TESTB. FILTER LEAKAGE TESTC. AIR BORNE PARTICLE COUNT TESTD. ILLUMINATION TESTE. NOISE LEVEL TESTF.

2、 ROOM PRESSURIZATION TESTG. TEMPERATURE AND HUMIDITY TEST4. REFERENCE2. Certification of Cleanroom Performance Test ItemNo.Test ItemISO 1.5Class 10at 0.1mISO 5Class 100at 0.5mISO 6Class 1Kat 0.5m123123123AAir Flow Velocity TestBFilter Leakage TestCAir Borne Particle Count TestDIllumination TestENois

3、e Level TestFRoom Pressurization TestGTemperature And Humidity Test REMARKS:1.1.As Built ;2:At-Rest ;3:Operating2.:L&K Guarantee.: For Reference Only.: No Include.3. CERTIFICATION OF CLEANROOM PERFORMANCE(A). AIR FLOW VELOCITY TESTA. 测试仪器：1. 测量风速及压力组MAKER: SHORTRIDGE INSTRUMENT INC.MODEL: ADM-87

4、0CACCURACY：±32. 测量风量组MAKER: SHORTRIDGE INSTRUMENT INC.MODEL: FLOWHOODB. 测试步骤：(1) 每块Filter测试9点风速。(2) 测试点置于Filter下方不约6吋(15cm)处量测。(3) 计算每片Filter量测值之平均风速。C. 测试点：每一Filter之出风表面均需测试。D. 记录：记录于表格。E. 验收标准：每一FILTER之风速需符合下列条件：每只Filter平均风速：0.35m/s ± 20% (0.28-0.42m/s)90%单点量测值：0.35m/s ± 20% (0.28-0

5、.42m/s)1.1200mm×1200mm风量为0.432CMM。2.1200mm×900mm风量为0.324CMM。3.1200mm×600mm风量为0.216CMM。(B). FILTER LEAKAGE TESTA. 测试仪器 :1. PARTICLE COUNTERMAKER：PMSMODEL NO：LASAIR-110SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFMPARTICLE SIZE：0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0m2. PARTICLE COUNTERMAKER：P

6、MSMODEL NO：LASAIR-310ASPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFMPARTICLE SIZE：0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10, 25m3. AEROSOL GENERATORMAKER：PALASMODEL NO：AGF 2.0IP4. AEROSOL DILUTERMAKER：PALASMODEL NO：VKL-100SB. 测试步骤：(1) 启动被测漏之FFU，利用 Particle Counter之采样器置于Filter下约2.5-3.0公分左右，以不超过 10FPM(0.05M/S)之速率沿着ULPA之表面做有规律扫描

7、。(2) 采样器扫描进行中，需同时观察Particle Counter之仪表显示值，当侦测到瞬间有4个以上之Particle时，则改以 1 FPM 之速率重新探测，以确定是否有泄漏及泄漏之正确位置。(3) ULPA是否有泄漏是以Particle Count所侦测到之数据，经三次重新扫描均超过规范时为研判之依据，停在一定点测时不可有连续泄漏之发生。(4) 如Filter上方之环境条件低于要求浓度时，则以Aerosol Generator增加其浓度，DEHS与纯IPA以1:9混合产生之Particle使用于Filter。C. 测试点：每一Filter之出风表面均需测试。1.尺寸为1200mm

8、15;1200mm测试时间为4分50秒。2.尺寸为1200mm×900mm测试时间为3分45秒。3.尺寸为1200mm×600mm测试时间为2分30秒。4.尺寸为600mm×600mm测试时间为1分15秒。D. 记录：记录于表格，需记录泄漏之正确位置。E. 验收标准：(1) 每一片Filter均不得有泄漏，有泄漏应更新或修补后重新量测。(2) 每一片Filter之单点修补尺寸不得大于Filter表面积之3%。(3) 每一片Filter之修补面积不得大于Filter表面积之5%。(4) 每一片Filter之修补不得超过2点。(5) 每一片Filter之量测数据，1.

9、尺寸为1200mm×1200mm总和不得大于45颗。2.尺寸为1200mm×900mm总和不得大于45颗。3.尺寸为1200mm×600mm总和不得大于30颗。(C). AIR BORNE PARTICLE COUNT TESTA. 测试仪器：1. PARTICLE COUNTERMAKER：PMSMODEL NO：LASAIR-110SPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFMPARTICLE SIZE：0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0m2. PARTICLE COUNTERMAKE

10、R：PMSMODEL NO：LASAIR-310ASPECIFICATION：SAMPLING FLOW RATE：1 CFMPARTICLE SIZE：0.3, 0.5, 1.0, 5.0, 10, 25mB. 测试步骤：(1) 确认洁净室内所有相关之工程(通风系统、照明系统、过滤系统、天花板、地板、墙板)均已完成，且已正常运转。(2) 确认测试点之数量及位置。1. Class 10:每2.3m2取一测量点测量。2. Class 100：每4m2取一测量点测量。3. Class 1000:每9m2取一测量点测量。4. Class 10000:每16m2取一测量点测量。(3) 每点测试时间2&

11、#215;1分钟。(4) 每一房间至少量测二点。(5) 测量点距离高架地板或地板1.2M-1.5M高处。C. 测试点：测试点依测点位置布置图。D. 记录：记录于表格。E. 验收标准：(1) 各单点测试平均值需在规格之内。(2) CLEANLIESS REQUIREMENTCleanlinessRequirementClass 10 (at 0.12m)5#/ft3(0.12m)Class 100(at 0.3m)50#/ft3(0.3m)Class 1000(at 0.3m)500#/ft3(0.3m)Class 10000(at 0.3m)5000#/ft3(0.3m)(D). ILLUMI

12、NATION TESTA. 测试仪器1. 精密照度计MAKER：LAIKO CO., LTDMODEL：LX-12B. 测试步骤：(1) 确认测试点之数量及位置：所有洁净室区域每20m2测试1点。房间面积20m2，至少取两点测量点测量。(2) 日光灯系统连续运转100小时后。(3) 无尘室相关系统至少运转时2小时及温湿度已达稳定状态后。(4) 所有测量点需离高架地板或地板1.2m处测量。C. 测试点：测试点依测试点位置布置图。D. 记录：记录于表格。E. 验收标准：(1) 各单点测试值需在规格之内。(2) CLEANLIESS REQUIREMENT测量数据为各无尘室设计照度值± 2

13、0%白光区：400Lux± 20% (320Lux-480Lux)黄光区：400Lux± 20% (320Lux-480Lux)走道及Air Lock区：400Lux± 20% (320Lux-480Lux)照度均一比例2：1（average:minimum）调光区照度：0-200Lux(E). NOISE LEVEL TESTA. 测试仪器1. 积分噪音计MAKER：RIONMODEL：NL-22SPECIFICATION：0-130 dBB. 测试步骤：(1) 确认测试点之数量及位置: 所有洁净室每40m2测一点或每一独立房间量测二点（40m2） 。(2) 启

14、动洁净室所有空调设备，但其它设备均为停止状态。(3) 量测高度为高架地板上1.5m之处，离墙最少1m以上。(4) 每点量时间为一分钟。C. 测试点：测试点依测试点位置布置图。D. 记录：记录于表格。E. 验收标准：Cleanroom Area测试值小于NC 60。63Hz77dB125Hz71dB250Hz67dB500Hz63dB1000Hz61dB2000Hz59dB4000Hz58dB8000Hz57dB(F). ROOM PRESSURIZATION TESTA. 测量仪器1. 测量风速及压力组MAKER：SHORTRIDGE INSTRUMENTS INC.MODEL：ADM-870

15、CACCURACY：±2B. 测量步骤：(1) 确认测试点之数量及位置：每一独立房间与相邻房间测试1点（10min.）。(2) 测试时洁净室内所有门均为关闭状态。(3) 利用测量仪器由最内之房间向外逐一测量。C. 测试点：测试点依测试点位置布置图。D. 记录：记录于表格。E. 验收标准：Fab 一般区：+20PaSFab 一般区：+10Pa(G). TEMPERATURE AND HUMIDITY TESTA. 测试仪器：1. 多功能温湿度计MAKER：AHLBORNMODEL：2290-8ACCURACY：±0.1 DB±2.0 RH2. 温湿度计MAKER：r

16、otronic agMODEL：HygroPalm 2ACCURACY：±0.3 DB±1.5 RH3. 温湿度记录器MAKER：rotronic agMODEL：PA20M-SET-HP-EACCURACY：±0.3 DB±1.5 RHB. 测试步骤：一、瞬时测定记录温、湿度值(1) 确认HVAC系统测试、调整，平衡完成后24小时开始测试。(2) 确认测试点数量及位置：所有洁净室区域每20m2测试一点。洁净室区房间面积40m2，至少取两点测量。(3) 测试高度距地面高度1.2-1.5m。C. 测试点：测试点依测试位置布置图。D. 记录：记录于表格。E. 验收标准：各区域测试值皆需符合Cleanroom Requirement。（1）TFT C/R：依各区域Spec.而定。二、连续测定记录温、湿度值A每独立房间至少测量一点。B测量点数量配合无尘室室内显示型温、湿度计数量。C测量点高度：1.5MD. 测量时间：24hrE. 验收标准：温度：±1 DB湿度：±5 RH 4. REFERENCEA. FEDERAL STANDA