SEM和TEM各自的优缺点和使用条件

1、精品文档SEM和 TEM各自的优缺点和使用条件姓名:谭伟学号：SEM: 即扫描电子显微镜，是 1965 年发明的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态， 即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应， 其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像， 这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。SEM的优点 :( 一)能够直接观察样品表面的结构， 样品的尺寸可大至120mm× 80mm× 50mm。 ( 二) 样品制备过程简单， 不用切成薄片。 ( 三 ) 样品可以在

2、样品室中作三度空间的平移和旋转， 因此，可以从各种角度对样品进行观察。 ( 四)景深大，图象富有立体感。 扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍， 比透射电镜大几十倍。 ( 五) 图象的放大范围广， 分辨率也比较高。 可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、 光学显微镜直到透射电镜的放大范围。 分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达 3nm。 ( 六) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。 ( 七) 在观察形貌的同时， 还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。SEM的缺点：异常反差。 由于荷电效应， 二次电子发射受到不规则影响， 造成图像一部分异常亮，另一部分变暗。图像畸形。 由于静电

3、场作用使电子束被不规则地偏转， 结果造成图像畸变或出现阶段差。图像漂移。由于静电场作用使电子束不规则偏移引起图像的漂移。亮点与亮线。 带电样品常常发生不规则放电， 结果图像中出现不规则的亮点和亮线。TEM: 即透射电子显微镜， 简称透射电镜， 是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像。通常，透射电子显微镜的分辨率为 0.1 0.2nm，放大倍数为几万百万倍，用于观察超微结构，即小于 0.2 微米、光学显微镜下无法看清的结构， 又称“亚显微结构”。TEM的优点 : 光学镜和透

4、射电子显微镜都使用用薄片的样品，而透射电子显。1欢迎下载精品文档微镜的优点是，它比光学显微镜更大程度的放大标本。放大 10000 倍或以上是可能的，这使科学家可以看到非常小的结构。 对于生物学家，如线粒体和细胞器，细胞，内部运作都清晰可见。 透射电镜标本的晶体结构提供了出色的分辨率，甚至可以显示样本内的原子排列。TEM的缺点： 透射电子显微镜需要在一个真空室制备标本。由于这一要求，在显微镜可以用来观察活标本，如原生动物， 。 一些微妙的样品也可能被损坏的电子束，必须先用化学染色或涂层来保护他们。 这种治疗有时会破坏试样。使用条件 ：在以存储器器件为代表的集成电路芯片的电子显微分析中， 扫描电子显微镜由于使用方便，往往是微观分析的首选。另外不需要得到体内信号，结构信号，制样方便，制样周期短，需要非破坏性的分析的样品表面结构保存好，没有变形和污染，样品干燥并且有良好导电性能使用 SEM比较合适。对于目标更小的分析需求以及要求高精度的场合， 则必须进行 TEM分析，那些需要你得到样品内部结构的也需要选用 TEM。以前 TEM只是作为一种重要的科研仪器，然而当今的半导体制造由于采用了各种先进技术，器具逐渐缩小， TEM 得到了更多的应用。在要求精度不是很高，制样方便，有良好的形貌，不需要得到体内信号，结构信号场合将扫描电镜和透射电镜有机的结合起来， 相互补充，将能得