人造石英晶体常用的包裹体抽样程序

1、附录 A（资料性附录）常用的包裹体抽样程序A.1全体积计数检验法当应用中包裹体密度的控制最为重要时，制造商和用户均使用此方法。每块晶体应按照包裹体计数的方法进行检查， 但要对所有可用部位进行检查。应当注意，晶体的 X轴高度大于显微镜的焦距时，应在需要的高度范围内移动聚焦，对晶体扫描观察，以确保计数时不漏掉包裹体。记录晶体可用体积中各类尺寸范围的包裹体数量，然后计算。包裹体密度的计算方法是：将包裹按尺寸大小分类，分别计数，然后除以可用体积。利用计算出的每块包裹体密度数据组，按照用户的要求对每块晶体进行分级。A.2商品Y 棒的抽样 方法1制造商和用户均使用本方法对成批Y棒进行分级。每 50公斤石英

2、抽取 1个或多个 Y棒样本。如果要求更高或更低的置信度水平时，可以抽取更多或更少的样本。但推荐每批最少抽取3个样本。如果是制造商进行检验，样品应该分别从高压釜的上、 中、下三个部位并距高压釜壁的不同距离处抽取。如果是用户进行检验，且不是同一批次，样本应当随机抽取。样本应按照包裹体计数检验法进行检验。在每个样本上选取6个小区，对各小区分类记录包裹体的数量和尺寸等级，并计算这6个小区的总体积。包裹体密度的计算方法是：6个小区的包裹体按各尺寸等级分别统计总数，再分别除以 6个小区的总体积。棒材批的接收/ 拒收判据应与使用的抽样水平相适合。A.3商品Y 棒的抽样 方法2此方法适用于用户对大批量Y棒进行

3、进货检验。从一批 Y棒中随机抽取20支，按包裹体计数法进行检验。只是要在棒材的全部可用长度检查， 并仅对显微镜焦距深度内的部分进行检验。用户应对元器件关键区域（例如：电极面积）的 X向高度与显微镜的焦距深度进行比较，以判断此方法的适用性。若检验不到的X高度不太大，则用显微镜聚焦检验的样本有充分的代表性，可认为是合理的样本。记录各类尺寸等级内的包裹体总数R。用下式（ A.1 ）计算每支棒的平均体积V ：式中：Z 棒材沿 Z轴的平均尺寸，单位为毫米 (mm)；S 籽晶的宽度，单位为毫米(mm)；Y 棒材沿 Y轴的可用长度，单位为毫米(mm)；D 显微镜的焦距深度，单位为毫米(mm)。Z 是通过测量

4、每支棒材沿 Z轴的最小和最大尺寸，并对全部 40个测量值求算术平均值而确定的。每立方厘米的包裹体数量（）由下式（A.2 ）计算：R（A.2 ）V棒材批的接收/ 拒收判据由检查水平S3， AQL 1.0 （见 GB/T 2828.1）来确定。A.4 100%晶体检验的标准样品比较法此方法被制造商广泛应用于：一个生产批内棒材的包裹体密度不同，有合格范围内也有合格范围外的；或要求对棒材挑选分级。依次目检每块晶体，并在包裹体密度最大的一个区域打标记。然后将其与一套已知包裹体密度的标准样品作比较。这套标准样品可以通过实际测量得到，包裹体密度采用的包裹体计数法确定；也可以用晶体照片作为比照样品。当晶体明显地处于某一级别的范围内时，判定晶体属于该级别。当包裹体密度在某一极限值附近， 不能明确判定时，可以将晶体分级在较高包裹体密度的级别上，也可以采用前述的包裹体计数法更精确地确定包裹体密度级别