PCB制程涨缩系数操作指引

1、-5« WI»作业文件封面文件名称制程涨缩系数操作指引版本号A文件编号XB03-ME-45制定部门工艺部制定/日期审核/日期批准/日期文件修订履历记录版次页数修订内容日期A/010新发行2020-01-20相关联部门会签部门生产部工幺部品质部工程部签名1、目的：为厂内PCBS在流程制中的涨缩管控提供依据，避免出现因 PCBK的尺寸变化对生产制作及品 质造成的不良发生。0文件编号XB03-ME-45制程涨缩系数操作指引文件版本A/0页 次共9第2页2、范围：本规范适用于所有PCB®的流程制作涨缩管控。3、参考文件无4、定义4.1 系数计算公式实际值（in/mm）-要

2、求值（in/mm） 系数（mil/i门）= X 1000要求值（in/mui）4.1.1 系数：固定单位为mil/inch ,拉长用“+”表示，收缩用“-”表示，指每linch需拉伸 多少mil o如系数“ -0.25 "，指每linch收缩0.25mil ,当板要求尺寸为20inch时，板的 实际尺寸应为20inch - 5mil ;4.1.2 实际值：指实际中所测量出的尺寸数据。如测板出菲林时，所取板所测量出的板实际尺寸 为“实际值”；4.1.3 要求值：指工程设计所设定的目标尺寸数据。如测板出菲林时，所取板料号在工程设计中1: 1时的要求尺寸为“要求值”；4.1.4 1000

3、为常数，是单位in转化为mil的单位转量常数；4.1.5 注意：按上公式计算时，实际值、要求值的单位可以是in或mm但各数据的单位必须统O5、职责5.1 ME负责管控内容、方法、标准的制定及异常原因分析；5.2 PROD负责根据管控要求进行生产、系数工具申请；5.3 PE负责菲林的检测、工具管理、工具拉伸；5.4 QA负责根据管控文件进行流程检测、稽查、尺寸数据测量。6、作业内容6.1 工具、系数申请流程6.1.1 内层菲林（包括ORC LDI曝光机的曝光资料）6.1.1.1 内层菲林由产线向PE菲林房申请；6.1.1.2 PE/菲林房按“内层菲林系规范表”要求预提伸内层菲林，并光绘、检测、发

4、放；6.1.1.3 针对部分内层菲林系数不在“内层菲林系规范表”内的料号，当需光绘或产线申请时， 由菲林房写“工具申请单”向工艺部申请拉伸系数。6.1.2 钻带0文件编号XB03-ME-45制程涨缩系数操作指引文件版本A/0页 次共9第3页6.1.2.1 压合出钻孔的料号，由压合根据 X-Ray机钻靶的涨缩分段、涨缩数据，写“工具申请单” 提供给钻孔、PE,无涨缩的料号只在工单备注即可；6.1.2.2 单、双面板，用正常钻带钻孔；6.1.2.3 针对机械盲埋孔板、HDI板的子板，开料后直接出钻孔的子板钻带系数，由钻孔写“工具申请单“向工艺部申请；6.1.2.4 针对重钻板，由钻孔根据生产板需要

5、写“工具申请单”向 PE申请拉伸钻带；6.1.2.5 PE正常发放所有1: 1钻带。6.1.3 外层DF、WF CM勺菲林6.1.3.1 由产线根据生产需要写“工具申请单”向PE菲林房申请菲林（备注板上的钻带系数）；6.1.3.2 钻孔工序的每班，将当班已钻孔或正钻孔的料号、钻带系数提供给PE,PE依钻孔提供的信息并对应菲林预拉伸系数表，进行菲林拉伸、检测、发放；6.1.3.3 单面、双面板钻外层菲林预拉伸，PE可以在CAMS料完成后，依菲林预拉伸系数表直接 进行拉伸、光绘菲林。6.1.4 成型锣带6.1.4.1 PE正常发放所有1: 1锣带；6.1.4.2 由产线根据生产需要写“工具申请单”

6、向 PE申请拉伸锣带；6.1.4.3 锣带系数由产线向PE提供，PE进行拉伸、发放。6.1.4 需要取板测涨缩出工具的，由当工序送板（最少 4PND%&QA测尺寸数据，QA将所测数据提 供给PRODPRO3 ”工具申请单”、测量数据提供给PE, PE根据申请单上的数据计算并拉 伸、发放工具。6.1.5 菲林尺寸测量要求4条边均要进行检测，且所测量的靶点优先选取4个板角并能够组矩形的PAD点，便于评判菲林的变形情况。6.2各工序工具管控要求6.2.1 菲林房6.2.1.1 菲林房环境要求温度22±2C、湿度55±5%要求按温湿度点检记录表进行点检记录；6.2.1.2

7、菲林房根据“内层菲林系规范表”、菲林系数申请单光绘菲林；6.2.1.3 所有菲林付生产前需对每张菲林涨缩进行检测，检测OK的菲林（PE完成，检测数据需记录存档）才可付生产；6.2.1.4 同一料号，有2套及以上菲林时，需对每套菲林进行编号（2位数编号）并标记在料号字陵之后，发放菲林需连同菲林编号记录；6.2.1.5 所有菲林，均需在菲林上光绘出该菲林的系数 （包括1: 1菲林，系数绘制在板工具边上）； 标准化管理工厂 0文件编号XB03-ME-45制程涨缩系数操作指引文件版本A/0页 次共9第4页6.2.1.6 所有菲林，均需有1张“菲林信息卡”跟随，用于记录该菲林的领用情况、做板数量等信 息

8、；6.2.1.7 菲林有效期为6个月，超出6个月的菲林做报废处理；6.2.1.8 菲林涨缩检测方法、要求（PE检测）：1） .内层菲林：菲林尺寸实测值-拉伸菲林尺寸要求值在+2/-1mil内，且同料号板的各张菲林间的尺寸差异0 1.5mil （普通4层板各层菲林间的尺寸差异允许三2mil）;2） .次外层/外层菲林：菲林尺寸实测值-拉伸菲林尺寸要求值在+1.5/-1mil内，且同料号两张菲林间的尺寸差异0 2mil ;3） .同一张菲林，同X或Y方向的两个测量数据差异0 1mil （菲林变形测量）；4） .菲林测量优先选取板角（菲林）的圆PAD!行（组成1个矩形）测量，便于评判菲林的变形情况。

9、6.2.2 开料6.2.2.1 所有料号均需依MI要求进行板料烤板除湿，使板材的尺寸更加稳定；6.2.2.2 所有HDI板、机械盲埋孔板、芯板板厚0 10mil、层次8层的板，开料后需按TG+10C X4H进行烤板。6.2.3 内层6.2.3.1 内层前处理生产前，需将烤板后的板冷却到室温后再进行生产；6.2.3.2 内层D/F内的环境要求温度 22±2C、湿度55± 5%6.2.3.3 辘油后的板需冷却到室温后才可进生曝光生产；6.2.3.4 曝光生产中，曝板机台台面温度需管控在18±2C；6.2.3.5 内层D/F不存放菲林，12H内不使用的菲林需退还菲林房，

10、有生产需要时再申请；6.2.3.6 菲林在大批量连续生产中，每 250PNL!行抽测涨缩1次，每次抽测取板板数12PNL每PNL的2面均需测量；6.2.3.7 抽测板在显影后进行测量，测量前板需冷却到室温；6.2.3.8 抽测板的测量方法同菲林，要求板的实测值- 拉伸菲林尺寸要求值在2mil内，同芯板两面的测量数据差异0 1.5mil ;6.2.3.9 实测板数据超出以上要求时，需对相应菲林重新进行检测确认，实测菲林数据超出菲林管控范围或达到使用寿命的菲林需报废，改用新菲林生产。6.3.4 压合6.3.4.1 板需完全冷却到室温后才可进行 X-Ray打孔；6.3.4.2 一阶HDI子板、一次压

11、合普通板、机械盲埋孔板，X-Ray机打孔按士 3mil （6mil范围）进-110文件编号XB03-ME-45制程涨缩系数操作指引文件版本A/0页 次共9第5页行分段，并对每段板进行标记区分且分供钻带系数；6.3.4.3 HDI母板、多阶HDI的每阶子板，X-Ray机打孔按士 2mil（4mil范围）进行分段，并对每段 板进行标记区分且分供钻带系数；6.3.4.4 压合裁边根据X-Ray打孔分段区分对每段进行V槽区分，并在工单上对应的分段的注明 V 槽位置、数量及对应的涨缩系数；6.3.4.5 HDI子板、一次压合普通板，涨缩范围（+3,-3）及系数1:1的板，或该料所有板只1 个涨缩系数的板

12、，均可不做 V槽；6.3.4.6 母板、多阶HDI的每阶子板，涨缩范围（+2,-2）及系数1: 1的板，或该料所有板只1 个涨缩系数的板，均可不做 V槽；6.3.4.7 同一料号不同涨缩系数板需做不同数量的V槽进行标记区分，保证不同系数板能够相互区分不混板；6.3.4.8 压合出板前，对料号分段、标记、系数、工单标注进行确认，有涨缩系数板需填写工具中 请单给PE钻孔。6.3.4.9 在X-Ray机机台精度正常的情况下，板的系数计算可以用上下限中间值或求值来进行计算。6.3.5 钻孔6.3.5.1 需根据压合系数按系数分段区分存放和生产、出板，不可混板出板；6.3.5.2 钻孔时发现系数与板不匹

13、配时， 钻孔需取板测量重出钻带系数，重新试钻首板确认OK再正式生产，同时通知压合追查原因；6.3.6 沉铜、电镀6.3.6.1 需根据钻孔系数区分存放和生产；6.3.6.2 同一系数板需同时进行生产、出板；6.3.6.3 不同系数板区分出板，不可混板；6.3.7 外层 DF6.3.7.1 外层DF内的环境要求温度22±2C、湿度55±5%6.3.7.2 辘膜后的板需冷却到室温后才可进生曝光生产；6.3.7.3 曝光生产中，曝板机台台面温度需管控在18±2C；6.3.7.4 外层DF不存放菲林，12H内不使用的菲林需退还菲林房，有生产需要时再中请。6.4其它涨缩管控

14、内容6.4.1 开料横直料设计6.4.1.1 层数大于等于8层的普通板必须全部设计为横料或直料，6层及以下板可考虑开横直料0文件编号XB03-ME-45制程涨缩系数操作指引文件版本A/0页 次共9第6页以增加板料利用率，但开横直料的开料尺寸不能完全一样;6.4.1.2 HDI 板、机械盲埋孔板，只能设计为横料或直料。6.5 分层补偿设计6.5.1 分层补偿原理由于多层板各层图形设计及CORE?不一致等原因，为保证压合后各层长度相同，避免因此引起的压合偏移，需对各芯板的内层菲林进行差异补偿预拉长。6.5.2 需分层补偿料号，测量靶标设计为有效了解各芯板间的涨缩变化差异，便于后续分层补偿系数的修正

15、，要求在内层菲林上每张芯板有1套独立的尺寸测量PAD.6.6 机械盲埋孔涨缩系数要求6.6.1 机械盲埋孔的涨缩系数需由工艺部确认提供;6.6.2 机械盲埋孔板特点芯板的制作流程不完全一致，如下图6.6.3机械盲埋孔板部分结构、A、B板流程为：开料一子板钻孔（向 板钻带系数数）一沉铜电镀一次外层（出 系数）一 AOI 一压合；C板流程为：开料一内层 D/F （需A、ME申请A、BA、B板菲林B板到次外层后根据A、B板的涨缩向ME申请内层菲林系数出内层）一 AOI 一压合；A、B、C板均到压合后，再一起压合成6层的机械盲埋孔母板。系数给出顺序标准化管理工厂T 一次压合4层盲孔板1、钻孔申请A板钻

16、带系数钻孔，B板暂停；2、A板做完沉铜电镀到次外层 D/F,外层出完A板次外层菲林系数后, 内层再申请B板内层菲林系数出 B板内层菲林。1、钻孔申请A、C板钻带系数钻孔，B板暂停；2、A、C板做完沉铜电镀到次外层 D/F,外层出完A、C板次外层菲林系 数后，内层再申请 B板内层菲林系数出 B板内层菲林。1、钻孔申请A、B板钻带系数钻孔，C板暂停；2、A、B板做完沉铜电镀到次外层 D/F,外层出完A、B板次外层菲林系 数后，内层再申请 C板内层菲林系数出 C板内层菲林。T 一次压合6层盲埋孔板0文件编号XB03-ME-45制程涨缩系数操作指引文件版本A/0页 次共9第7页1、内层申请A板内层菲林

17、系数生产，B板暂停；2、压合出C板后，钻孔用压合提供的系数钻带钻C板；3、C板做完沉铜电镀到次外层 D/F ,外层出完C板次外层菲林系数后, 内层再申请B板内层菲林系数出 B板内层菲林。1、钻孔申请A板钻带系数钻孔，B、C、D板暂停；2、A板做完沉铜电镀到次外层 D/F ,外层出完A板次外层菲林系数后， 内层再申请B板内层菲林系数出 B板内层菲林3、压合出F板后，钻孔用压合提供的系数钻带钻F板，并申请D板的钻带系数钻D板；4、F、D板做完沉铜电镀到次外层 D/F,外层出完F、D板次外层菲林 系数后，内层再申请 C板内层菲林系数出 C板内层菲林生产。1、2、T二次压合8层盲埋孔板1、2、3、3、

18、内层申请A板内层系数菲林生产，B、C板暂停；压合出D板后，钻孔用压合提供的系数钻带钻D板，并申请B板的钻带系数钻B板；D、B板做完沉铜电镀到次外层 D/F,外层出完 D、B板次外层菲 林系数后，内层再申请 C板内层菲林系数出 C板内层菲林。内层申请A、B板内层系数菲林生产；压合出C、D板后，钻孔用压合提供的系数钻带钻C、DV板；C、D板做完沉铜电镀到次外层D/F,外层出C、D板次外层菲林系生产。6.7内层菲林预拉伸系数选定规则6.7.1一次压合普通板，按压板结构分：含光板（见表1）、不含光板且不含7628或1506Pp（见表2）、不含光板且含7628或1506Pp （见表3）;6.7.2所有芯

19、板板厚差异有5mil板、机械盲埋孔板的内层菲林系数或子板（板料）钻带系数均由工艺部提共;6.7.3经向指大板料的短边方向，纬向指大板料的长边方向，以下经纬向均指大板料方0文件编号XB03-ME-45制程涨缩系数操作指引文件版本A/0页 次共9第8页6.7.4 直料时PNL的X、Y与大板料经、纬对一致，横料时PNL的X对应大板料的纬向、对应大板料的经向。I横料横料横料横料横料横料开6PNL横料示意图）开4PNL直料示意图）(17、菲林预拉伸系数内层预拉伸系数对照表,芯板厚度口 （不含铜）口普通板/含光板HTG、无卤板，备注，经向一纬向/经向纬向经向，纬向<0, 20mp-0, 35/+0,

20、 3+0. 20/他05a+0. 254地20,在瓶期厚土九£时， 米拉系数需ME提供,分0.20 且 WO. 50nlm十0.30.40. 2&+0. 15十0. 05a十0. 3%+0.20；>0. 50 且<0.十 0.2 5"0. 15+j+0. 154-0. 05-0, 30+0. 15+芯板铜厚不做 要求20. 70 且WLOOnm+0.20 中0. 16-4-0. 2次+0.16,>L00且式L30i皿+0.*0.10*3-0. 1三+0. 10,>L 30mp+0.1k40. 08+0. 10/+0.08；另：L以上内层预拉伸系数只针对l次压合的多层