镀膜机标准作业指导书

1、*公司 * 标准作业指导书版本：1.1编制人： * 审核人： 会签人： 批准人： 1目的： 指导操作人员正确操作设备，防止因操作不当造成的生产异常及安全事故，确保正常运转，保障*站生产正常进行。2适用范围工作站。3修订详情版本修订人详情审核人批准人初*撰写4 职责4.1生产部4.1.1 镀膜站操作员工严格按照本指导书所规定操作步骤进行操作，严禁私自更改操作步骤，出现问题及时上报。4.1.2 镀膜站班长监督当班操作员工作，发现问题及时以书面形式上报，带领当班操作人员做好日常维护工作，在设备正常的情况下保证镀膜生产的正常运行。4.2技术部4.2.1 及时解决蒸发台生产部门上报的技术问题，并做出详尽

2、明确的书面解决方案，同时负责监督实施。4.3设备维护部4.3.1 按照蒸发台设备维护保养表的要求，定期对蒸发台进行日常维护，及时处理生产部门上报的蒸发台设备异常，并按要求填写相应记录表单。5参考文件列表5.1作业流程5.2操作步骤5.3异常处理5.4蒸发台设备维护保养表5.5蒸发台生产记录表5.6蒸发台物料使用表5.7前工艺环境管理规范6文件要求6.1作业流程开门取镀盘清理坩埚确认金属源上片关门检查密封圈挂镀盘开EB-Gun调用程序开门送至下道观察记录数据摘片6.2操作步骤序号操作步骤示意图操作要点和注意事项1开门腔体门打开后，用腔体右上角的挂钩将门固定。如果有金铍等合金物质在腔体内，务必先等

3、腔体降温到30以内再开腔体。2取镀盘操作时要戴乳胶手套，戴口罩，腔体附近操作时严禁说话。固定镀盘的卡子要放在底部防着板的左下角。3清理坩埚先用手术刀片和改锥等工具将坩埚边缘以及内部的金属剔除，再用吸尘器将剔除的金属吸走，最后用蘸酒精的无尘布擦干净坩埚表面。4确认金属源P电极蒸发要确认坩埚内放有钛源和铝源，N电极蒸发要确认坩埚内放有镍源、锗源和金源。其他特殊工艺参看工艺流程单要求或实验申请单要求来确认金属源。5上片上片前先将蒸发台腔体门关闭。将待加工的工件平均放置在三个镀盘上。严禁用手触碰被加工工件，没有加工物的载片盘上放置陪片，禁止私自刮出镀盘上的金属。如需清理，必须至少有两个与此工作站相关人

4、员在场。6挂镀盘用提盘把手将放好工件的镀盘装入腔体，用卡子将镀盘固定好，旋转单个镀盘，确认已经卡紧，再旋转镀盘支架，确保行星转能正常运转。7检查密封圈腔体门的密封圈有时会被挤出，关门前检查密封圈是否完好，如果被挤出，用镊子将挤出的部分回复原状，确认没问题后再进行下一步操作。8关门将腔体门关闭，找到抽真空界面，点击抽真空步骤的“START”，设备自动抽真空，此时严禁拉动开门把手。9开EB-Gun开高压电子枪之前要确认前道步骤已经完成，关门之前严禁开高压电子枪。10调用程序根据工艺的不同，调用相应的镀膜程序。11观察记录数据将蒸发过程中的信息详细记录在蒸镀生产记录表上。12开门取镀盘图略，参考第“1”“2”步骤图片与第“1”“2”步操作相同。13摘片按照投片顺序，依次取出加工完成的工件。14送至下道详细记录相关数据后，将加工完成的工件送至下道操作工序。交接必须有双方交接人员签字6.3异常处理生产部生产异常上报设备维护部生产确认正常提出解决方案上报生产技术部技术确认分析蒸发台问题分析工艺问题处理蒸发台异常生产继续进行技术部跟踪实验生产继续进行生产确认可