隔振平台分类及原理(减振平台 电镜减振台)_第1页
隔振平台分类及原理(减振平台 电镜减振台)_第2页
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文档简介

1、隔振平台分类及原理（减振平台、电镜减振台）理化phychemi一、分类隔振技术分为主动隔振和被动隔振主动隔振：通过传感器和执行器，提供大小相等，方向相反的力，抵消振动对目标的影响被动隔振：通过机械装置限制振动无源隔振：使用弹簧，弹性体，流体，或负刚度组件实现减振有源隔振：使用气动系统实现。二、隔振原理（1）被动隔振技术 - 弹簧一个最简单的无源隔离器。弹簧反作用于被减振物体，通过变形来吸收一定的能量。一个简单的例子就是汽车减振器，在这种情况下，冲击或振动产生机械能，被转换为热能，热能被浸泡弹簧的油吸收，从而减少传递到车身上振动。其固有频率可以做到很低，但是阻尼很小。优点是扰动源频率和系统固有频

2、率差很远时，隔振效果非常好。缺点就是一旦共振放大很严重。（2）被动隔振技术 橡胶橡胶也是通过变形来吸收振动。与弹簧的区别是，橡胶能在各个方向吸收。（3）被动隔振技术 气动平台气动系统采用压缩空气活塞，吸收地面的振动。其缺点是结构与操作复杂，需要外部气源的支持。（4）被动隔振技术 负刚度技术负刚度隔振台提供一个简单，可靠，高效隔振解决方案，可提供6自由度的隔离，低至0.5 Hz或更低的谐振频率。对于一个0.5赫兹系统，可隔离1Hz以上的振动，优于气动平台5-10Hz的范围可让多个隔振台一起使用。负载从几十公斤到几吨。易于使用和调整。比气动平台经济，占用更少的空间，且不需要进行维护。三、隔振设备种

3、类（1）Minus K BM-10 超薄(2) Minus K BM-6 经济型规格: 18" W x 20" D x 4.6" H (457mm W x 508mm D x 117mm H)有效负载范围：10-105 lbs (4.5 - 48 kg)水平：2.5Hz 垂直：1.5Hz真空和洁净室适用(3)隔振工作站 有着更好的人体工程学的舒适，是专门为超低固有频率的应用而设计的产品。 Minus K的专利负刚度隔振器: 具有超低固有频率的简洁被动隔振光学台, 更高的内部结构频率和优秀的垂直和水平隔震动效率 只要调整至0.5Hz固定频率，我们的工作站就能实现2Hz下93%的阻隔效率，5Hz下99%的阻隔效率和10Hz下99.7%的阻隔效率 可以为各种应用定制辅助工作平台,围栏,装架,地震约束,可伸缩的脚轮,和许多其他选项 附带Kinetic System动力系统四、隔振效果五、应用领域理化MinusK隔振平台在显微镜微观领域（显微镜（SPM），扫描电镜（SEM），原子力显微镜（AFM等）、光学领域、生物

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