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文档简介
1、增透膜增透膜的作用是使某一波长或某一波长范围的光几乎全部透过透镜或窗口片。光谱范围从185纳米到16000纳米(16微米)。增透膜主要分为单波长增透膜,双波长增透膜,宽带增透膜。(一)单波长增透膜1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°通光孔径>85%直径2.波长反射率表:波长 (nm)剩余反射率1930.5%2840.5%3550.2%632.80.2%6700.2%7800.2%8080.2%9800.2%10300.2%10530.2%10640.2%1310
2、0.15%15500.15%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(二)双波长增透膜1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°通光孔径>85%直径2.波长反射率表:波长 (nm)剩余反射率166/5320.5%/0.3%351/10530.5%/0.3%373/7450.5%/0.3%532/10640.5%/0.3%1064/15350.5%/0.3%792/20600.5%/0.3%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(三)宽带增透膜1.
3、基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°通光孔径>85%直径2.波长反射率表:波长 (nm)剩余反射率350-6500.5%/0.3%420-6700.5%/0.3%650-10500.5%/0.3%1050-15500.5%/0.3%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产高反射高反射膜分介质高反射膜和金属反射膜,作用是把某一波长范围的光反射回来(0度入射)或折反到其他方向(比如45度入射折反到原光垂直的方向)。由于介质膜光吸收很小,一般用测量透过率的办法来
4、检验它的性能,如透过率T<0.2%,则反射率R>99.8%。特别适合于激光谐振腔和光路折反的应用。金属膜反射镜特点是在很宽的波段范围内具有很高的反射率,但它的机械性能和化学稳定性较差,激光损伤阈值较低,一般要镀介质保护膜或增强反射膜(一)单 波 长 介 质 高 反 膜1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°,45°通光孔径>85%直径2.波长反射率表:波长 (nm)剩余反射率53299.7%632.899.7%78099.7%106499.7%
5、131599.7%2.9499.9%10.699.8%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(二)双 波 长 介 质 高 反 膜1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°,45°通光孔径>85%直径2.波长反射率表:波长 (nm)剩余反射率266/53299%/99.5%351/105399%/99.5%532/106499%/99.5%632.8/106499%/99.5%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(三)宽 带 介 质
6、高 反 膜1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°,45°通光孔径>85%直径半反射膜半反射膜一般用在激光谐振腔的输出窗上,由于激光器增益不同,一般输出窗的反射率要求不同,我公司可制备出反射率从10%到99.7%的任意反射率,如在反射率80%情况下,可作到R=80+-2%。宽带反射膜一般用于某一宽带范围内的分光,一般用于45度入射,如50/50,40/60,30/70,误差5%。 还有一种超宽带半反射镜,它可在紫外、可见和红外范围分光,且和偏振方向无关,用
7、处非常广泛。(一)单 波 长 半 反 膜1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°,45°通光孔径>85%直径背面增透膜R<0.2%中心波长400nm-10.6m2.反射与透射之间的偏差:10±2%,20±3%,30±3%,40±3%,50±3%,60±3%,70±3%, 80±3%, 90±2%, 95±1.5%, 98±1%, 99
8、7;0.5%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(二)宽 波 段 半 反 射 膜波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产分束膜分束镜是把一束光分成反射光和透射光两个部分的镜片,也可以把两种波长的光分开,如倍频激光的基波和倍频波分开,也可以在某一波长(如1064nm)或某一波段范围(如450-650nm)的s偏振光和p偏振光分开。(一)45° 分 光 片1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°,45°通光孔径>85%直径激光损伤阈值&
9、gt;5J/cm2(1.06m,1ns)2.波长入射角:入射角透射波长Tave/Rave分光比Tp/Rp偏差Tp/Rp45°510-50050/50±3%45°78050/50±3%45°632.850/50±3%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(二)双 色 分 束 镜1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°,45°通光孔径>85%直径激光损伤阈值>5J/cm2(1.06m
10、,1ns)2.波长入射角:入射角透射波长(nm)透射率反射波长(nm)反射率(nm)0°808>90%946>99.5%0°808>90%1064>99.5%0°808>90%1320>99.5%0°904>90%1030>99.5%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(三)偏 振 分 光 棱 镜1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角0°, ±2° 通光
11、孔径>85%直径偏振透射率Tp98%; Ts0.2%消光比Tp:Ts>500:1各通光面减反膜R<0.25%2.波长(nm)632.8780830852106413101550420-470备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(四)偏 振 分 光 片1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角56.5°±3°通光孔径>85%直径偏振透射率Tp96%; Ts1%消光比Tp:Ts>100:1波段范围可见区、近红外2.直径
12、波长:直径(mm)波长(nm)20/25.4/3078020/25.4/30106420/25.4/30131020/25.4/301550备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产激光晶体膜Nd:YAG 晶 体 镀 膜Nd:YVO4 晶 体 镀 膜KTP 晶 体 镀 膜LBO 晶 体 镀 膜BBO 晶 体 镀 膜ND:YVO4 胶 合 KTP 晶 体 镀 膜LiNdO3 晶 体 镀 膜 冰 州 石 晶 体 镀 膜红外薄膜(一)大 功 率 CO2 激 光 镀 膜 (10.6m)1.硒化锌/砷化镓聚焦镜:R<0.2%注:锗用于小功率激光2.硒化锌/砷化镓输出窗 PR/HT 20%-
13、98%/T>99注:锗用于小功率激光3.硅/铜基底金反射镜增强金或银反射镜R>99.5%注:K9玻璃基底用于小功率激光 材料、波长、入射角和尺寸可根据客户的需要设计生产(二)Er:YAG 镀 膜 (2.94m)1.氟化钙/白宝石晶体聚焦镜:AR/AR R<0.2%2.氟化钙/白宝石晶体输出窗PR/AR 20%-98%/R<0.2%3.K9/氟化钙/白宝石基底反射镜HR R>99%材料、波长、入射角和尺寸可根据客户的需要设计生产(三)红 外 成 像 系 统 镜 片1.硅透镜AR/AR T>98% 3.5-5mT>60% 7.5-11.5m注:高纯度硅在7
14、.5-11.5m处吸收较大,但它的基底材料价格较低,可部分代替锗、硫化锌、硒化锌等,用在红外成像系统中.2.氟化镁窗口AR/AR 3.5-4.8m T>95%3.硫化锌/硒化锌/锗透镜AR/AR T>98% 3.5-5.5mT>97% 7.5-11.5m 材料、波长、入射角和尺寸可根据客户的需要设计生产紫外膜紫外薄膜主要应用于各种准分子激光及Nd:YAG激光的3倍频(355nm),4倍频激光(266nm)等领域,它的激光损伤阈值是关键,我公司在这方面作了大量工作,取得很大成绩。(一) 紫 外 石 英 / 氟 化 钙 薄 膜波长nm剩余反射率193R<0.3%248R&l
15、t;0.3%266R<0.3%308R<0.3%340R<0.3%355R<0.3%其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(二) 铝 护 反 射 镜波长(nm)反射率180-400nmR>90%其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产.滤光片干涉截止滤光片要求某一波长范围的光束高透过,而偏离这一波长区域的光束骤然变成高反射(或称抑制).它有着广泛的应用,通常我们把抑制短波区透射长波区的滤光片称长波通滤光片,相反为短波通滤光片.而F-B滤光片是种窄带滤光片.硬膜滤光片不仅指薄膜硬度方面,更重要的是它的激光损伤阈值,所以它广泛应用于激光系统当中,面软膜滤光片
16、则主要用于生化分析仪当中。(一)激 光 硬 膜 滤 光 片1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜中心波长可见、近红外通光孔径>85%直径半宽度nm-200nm峰值透过率>50%截止深度<0.1%截止范围可根据客户要求2.波长峰值透过率表:中心波长(nm)半宽(nm)峰值透过率532670%632.81080%6701880%9472888%10641270%13194090%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(二)软 膜 滤 光 片1.基本参数信息:基底材
17、料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜中心波长可见、近红外通光孔径>85%直径半宽度nm-200nm峰值透过率>50%截止深度<0.1%截止范围可根据客户要求2.波长峰值透过率表:中心波长(nm)半宽(nm)峰值透过率4901070%5251070%5461070%5781170%6201270%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产(二)长 波 通 / 短 波 通 滤 光 片1.基本参数信息:底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45&
18、#176;镀膜电子束淀积多层介质膜入射角 0°通光孔径>85%直径激光损伤阈值>5J/cm2(1.06m,1ns)2.波长峰值透过率表:中心波长(nm)半宽(nm)峰值透过率4901070%5251070%5461070%5781170%6201270%备注:其他波长、入射角和尺寸可根据客户要求进行生产光纤薄膜当前光纤通信飞速民展,同时光纤激光、光纤传感及光纤耦合等也都需要高效的光学薄膜, 特别是光纤端面镀膜,如增透膜、高反膜及分光膜;我公司在这此方面开展了研发工作,解决了微小镀膜面不加温镀制硬膜的技术。(一)光 纤 尾 纤 镀 膜(单/双 波 长)1.基本参数信息:基底材料熔石英, K9玻璃面型/10 632.8nm光洁度40-20倒角0.5mm, 45°镀膜电子束淀积多层介质膜入射角56.5°±3°通光孔径>85%直径偏振透射率Tp96%; Ts1%消光比Tp:T
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