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文档简介

1、实验六扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的： 二、实验仪器(略) 三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。平时敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当传感器受压后芯片电阻发生变化，电桥将失去平衡，给电桥加一个恒定电压源，电桥将输出与压力对应的电压信号，这样传感器的电阻变化通过电桥转换成压力信号输出。 四、实验内容与步骤(略)6保持负压力输入P2压力零不变，增大正压力输入P1的压力到0.01MPa，每隔7保持正压力输入P1

2、压力0.095Mpa不变，增大负压力输入P2的压力，从0.01MPa8保持负压力输入P2压力0.095Mpa不变，减小正压力输入P1的压力，每隔0.005Mpa9保持负压力输入P1压力0Mpa不变，减小正压力输入P2的压力，每隔0.005Mpa五、实验报告1根据表6-1、6-2、6-3所得数据，计算压力传感器输入P（P1-P2）输出Uo2曲线。计算灵敏度L=U/P，非线性误差f。六、实验数据处理1最小二乘法计算如下所示：（1）由上图可得系统灵敏度：S=V/W=0.0466mV/KPa（2）由上图可得非线性误差：m =0.204mV(最大的点)yFS=(5.6-1.57)mV=4.03mVf =m /yFS×100%=5.06%2最小二乘法计算如下所示：（1）由上图可得系统灵敏度：S=V/W=0.0566mV/KPa（2）由上图可得非线性误差：m =0.174mV(最大的点)yFS=(4.64+0.08)mV=4.72mVf =m /yFS×100%=3.69%3最小二乘法计算如下所示：（1）由上图可得系统灵敏度：S=V/W=0.0439mV/KPa（2）由上图可得非线性误差：m =0.34mV(最大的点)yFS=(4.36-0.08)mV=4

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