烧结炉技术规格书V2

1、Ver 2.002009/11/13 CUC Technology 技 术 规 格 书烘干/烧结炉设备对本规格书所记载内容进行确认后，请在下面署名栏中签字确认。 （用 户）： （日 期）： 北京中联科利技术股份有限公司 （供应商）： （日 期）： 北京中联科利技术股份有限公司工 艺 部：苏 深 伟 TEL：52098523 FAX：52094000总设计师：大 石 满 TEL：52098504 FAX：52094000研 发 部：刘 烨 TEL：52098538 FAX：520940001 设备名称、数量烘干/烧结炉设备 一台2工艺参数 1）处理对象：6”、 8” 硅片； 2）处理批量：客户方

2、自定。3） 温度控制：炉内在网带平面上的控温精度控制在10以内（以同一硅片在炉内的多点温度曲线为检验手段）；炉内在不同时间内的控温误差在10以内（以同一硅片多次在炉内的温度测试曲线为检验手段）。4） 网带速度控制：网带速度的不稳定性需要控制在2%以内。网带运行过程中无明显的上下、前后的抖动。5） 温度升、降控制：从开机到温度稳定，时间不超过15分钟；硅片在炉内加热时，升温曲线斜率（升温速率）大于等于50/秒；降温曲线斜率大于等于-60/秒，且电池片在烧结炉出口温度小于 60。6） 设备可使用率大于95%（维护、维修等时间控制在5%以内）3设备主要结构A. 炉子规格最高温度:1050 C工作温度

3、范围干燥：100-400 C烧结区：200-1000C可控加热温区干燥区：3烧结区：6加热区长度干燥区：228.6厘米（90英寸）烧结区：152.4厘米(60英寸)工作空间尺寸DF1400 网带宽36厘米（14英寸）网带上方高度19厘米（0.75英寸）网带离地高度914厘米（36英寸）B. 炉子结构长度（厘米）干燥区装载台90进口，挡板及排放38收集盘及过渡排放区域61区762区763区76出口，挡板及排放38干燥/烧结过渡及监测区49（分隔节）排胶及烧结区进口，挡板及排放381区382区383区194区195区196区19保温过渡通道及排放13强制水冷区54强制空气冷却区218卸载台90框架

4、余量26整个系统长度1040整个系统宽度94整个系统高度1761C驱动系统 网带宽度DF1400 36厘米 （14英寸）网带材质镍铬金属网带类型多孔速度范围56-560厘米/分钟（22-220英寸/分钟）运行方向进口方向看，从左到右运行 带速是程序闭环控制，通过计算机设定，显示公制或英制单位。网带速度偏离设定值或停止时，计算机自动报警。可以设定速度偏差范围。网带材质是镍铬金属，80%的镍，20%的铬。网带回送系统不接触任何金属，保证炉腔不受污染。D 工艺腔干燥炉和烧结炉的入口挡板安装在一个铝壳内，内衬陶瓷保温材料。喷吹气体由网带上下进入，形成气帘。挡板固定在可以方便拆装的金属滴盘上，炉腔内气体

5、通过金属滴盘上排出炉腔。干燥炉和烧结炉部分都置于铝质炉壳内，内衬莫来石隔热材料。干燥区额定温度为400C，烧结区额定温度为1000C。工艺气体首先被引入一个腔体，该腔体位于铝质外壳和多孔保温材料之间，气体加热后通过保温材料进入工艺腔。这种气体引入方式可以避免大量气体的流入对温度曲线的干扰。而且，这种方式可以消除产品废气在炉膛内壁的聚集。辐射加热通过密闭石英管内的钨丝来完成。在干燥区，加热灯管位于传送网带的上方，发出的辐射波长为3-6um之间。在烧结区，加热灯管位于传送网带的上下方，发出的辐射波长为1.2-2.8um之间。每厘米输出功率达到12.5瓦，干燥区和烧结区内部可以在数分钟内达到一个平衡

6、状态。腔体构成如下：区域 长度灯管数（上和下）灯管间距干燥1区76cm（30”）10-T 0-B73mm（2.875”）干燥2区76cm（30”） 10-T 0-B 73mm（2.875” ）干燥3区76cm（30”） 10-T 0-B 73mm（2.875” ）烧结1区38cm (15”) 6-T 6-B 58.4mm（2.3” ）烧结2区38cm（15”） 6-T 6-B 58.4mm（2.3” ）烧结3区19cm（7.5”） 4-T 4-B 30.5mm（1.2” ）烧结4区19cm（7.5”） 4-T 4-B 30.5mm（1.2”） 烧结5区19c（7.5” ）4-T 4-B 30.

7、5mm（1.2” ）烧结6区19cm（7.5”）4-T 4-B 30.5mm（1.2” ）网带由炉膛内的石英管支撑。为补偿炉膛两侧的热量损失，加热丝安装在网带两侧的石英管内。左右两个边加热器的功率输出可以按左右能量需求大小比例调节，调整范围从0-100%。炉子过渡通道采用气帘将加热区和冷却区分开，气帘在网带上下形成气刀。冷壁水冷区确保高效的热交换，冷壁位于网带上下，冷却水由用户提供。进口水温和出口水温都有监测，同样水流量也有自动监测。强制空气冷却用来对高速运行的产品进行降温处理。它由两个相同风机驱动的部分组成。安装在顶部的风机将周围环境气体经过过滤后，向下形成正压层流，吹向整个冷却区域。这些气

8、流又经过网带下方收集排出，通过强制排风与用户排放系统相接。上下风机速度通过菜单由炉子控制器来调整控制。烘干区炉膛便于拆卸，定期维护和清理。E控制系统计算机控制系统位于进口装载区。键盘和显示器放置于进口端的摇臂上。温度通过温控仪控制电力调整器来实现闭环控制，计算机操作系统是WINDOWS XP 专业版。通过设置密码来实现安全操作，不同的操作者有不同的操作级别和权限。炉子分成许多加热区， 加热区控制回路构成如下：干燥区烧结区加热区总数36每区控制回路11每区控制热电偶数量11热电偶分度值KK每区可控硅数量12每区过温保护热电偶数量11烧结炉每个温区上下配备独立的功率修正控制，用户使用这个功能可以控

9、制上下加热器的功率输出，调整由温控仪完成。烧结炉配备侧加热器，电阻丝埋置于外侧网带支撑的石英管内，可以进一步调整网带横向的温度均匀性。开环控制，通过电力调整器调整输出功率值。备用过温保护控制是标准配置，如果系统温度超过设定值，独立的过温保护系统将切断加热器电源并报警提示。加热器工作监测系统位标准配置，这样可以连续监测每个温区加热灯管的加热情况，如果加热器出现故障立即报警提示。每个温区独立监测易于发现问题灯管。炉子进口配备六通道曲线热电偶端口，可以捕获、监测和分析工艺曲线。曲线热电偶可以作为选件购买。指示灯塔为系统标准配置，主要用于提示下列三种情况：l 绿色-工艺准备好l 黄色-警告提示l 红色

10、-报警位置流量计量程（SCFH）干燥区进口排放 0-100 干燥区进口挡板0-200 干燥区中部排放0-100 干燥区加热腔（一区）0-400 干燥区加热腔（二区）0-400 干燥区加热腔（三区） 0-400 干燥区出口挡板 0-200 干燥区出口排放0-100 烧结区进口排放0-100 烧结区进口挡板0-200 烧结区加热腔（一区-二区） 0-200 烧结区加热腔（三区-六区） 0-200 保温过渡通道0-200 过渡通道排放0-100 水冷进口空气气刀 0-400 水冷出口空气气刀 0-400 F气氛控制系统从出口方向看，炉子的气体控制位于左侧，流量通过流量计控制，流量计位于控制面板内并上

11、锁，避免意外波动。配备空气过滤器、减压阀和水捕获器以清洁和控制工艺空气。手动调节流量计配置如下：外围压缩空气流量：100 m3/H。供给压力为：0.631.03MPa。G 产能通常工艺带速条件下，完全可以满足电池片25-30兆瓦/年的要求。H 冷却水系统水冷部分主要达到经过烧结区高温后快速降温，减少杂质扩散。水冷部分的长度为540mm，进口水温和出口水温都有热电阻来检测，经过温控表显示到上位机，同样也配备一个水流文量开关，当水流过小时进行报警入口压力：小于0.35MPa。I风冷部分风冷部分的长度为2240mm，强制空气冷却用来对高速运行的产品进行降温处理，它由6个相同恒流风机驱动部分组成。安装

12、在顶部的风机将周围环境气体经过过滤后，向下形成正压层流，吹向整个冷却区域。这些气流又经过网带下方收集排出，通过两个轴流风机与用户排放系统相接。且上面的风机速度可由调速开关来控制。J超声波清洗部分超声波清洗部分主要由超声波槽、振子、加热器、进水管路和出水管路等部分组成。它主要是在网带运行一段时间后进行清洗而设定的。K电力规格最大负载DF1400 150千瓦生产功率消耗DF1400 54千瓦工作电压380VAC， 3相，3线，50/60赫兹208-240VAC作为选件，需配置变压器，详情请咨询工厂炉子电器系统遵守下列安全规定：l NFPA-79工业设备电器标准l NFPA-70国际电工标准l CE（备选）l 配有六个紧急按钮，两个位于进口端面板，两个位于干燥炉和烧结炉部分，两个位于出口