NikonVM3020使用方法

1、1. 观察基板，选择起始点第一个起始点一定要选择一个图形独特的点，并且周围无类似的图形。如图1中的基板，可以选择十字架或者方块。图2中就只能选择左上方的“L”型，不能选择方形。如果选择方形，基板在底座上放置的位置如果有偏移，容易识别到到旁边的另一颗基板。 注：该机器识别PR的亮度，选择时最好选择独立的图形，周围无相识的图形。不要选择WB焊线的点，否则在以后建立多层芯片叠层的产品时，一旦焊线，该PR就无法使用。2. 根据图纸的设计要求，找到每个测量点如图所示，FLASH die的位置要求基板的中心偏移与芯片的中心偏移为X：226um，Y：0um基板的中心点为与的中心。芯片的中心可以取芯片两个对角

2、的中心。另外还要取芯片边缘的1条直线，用来测量角度，因此需要在芯片上取3个点，分布于芯片的3个直角。手动测量程序的建立方法1. 点击“”新建一个测量的文件。2. 将机器的坐标重置为原始坐标。点击“”，弹出“”，点击“”。3. 建立列数的坐标例如：MCP162产品为18列3.1 用操作杆移动到第1列第1ea的十字架中心，使用最小的放大倍率（变焦选项进行调节）进行观察，光线使用内圈即可。（光线根据基板的类型有所不同，以看清基板的图形为准。）3.2 点击“”，再点击“”，再单击鼠标右键，可以看到“0”变成“1”， 如下图3.3 点击“”，命名为“01”，表示第1列的坐标。3.4 移动操作杆到第2列，

3、按照3.23.3的方法，记录下第2列的坐标。3.5 依此类推，将18列坐标全部建好。4. 建立坐标轴我们需要在基板上找两个点，这两个点拉一条直线，该直线就是x轴或者y轴。如下两个图片，是第1列和第2列的两个相同位置的点，只要选择2个点，就可以利用2个点建立一条直线，该直线就作为后续测量的坐标轴X轴。4.1 先建立第1列的第1点的坐标4.1.1 将基板移动到第1列第1颗基板，选择“”，从浏览记录中选择“01”，点击确定。4.1.2 选择“（图形记忆）”，将该图形框进去 4.1.3 点击“设置”4.1.4 相似度至少大于600，模式选择“”。4.1.5 点击确定。4.1.6 点击鼠标右键，图形中心

4、会显示红色4.1.7 点击“输入”，弹出一个窗口，点击确定。4.1.8 程序列中就自动生成了第1条程序。4.1.9 点击“”，4.1.10 弹出“”4.1.11 选中程序列的第1条程序。4.1.12 点击确定4.1.13 程序列中新增1行程序代码4.1.14 点击“”4.1.15 点击鼠标右键，机器自动做一次聚焦。4.1.16 再点击“输入”，再点击“确定”4.1.17 程序中就新增1行程序代码。4.1.18 点击“”，（原点z设置）。4.1.19 选中程序列的第3条程序。4.1.20 点击确定，新增1条程序代码4.1.21 将镜头的放大倍率放到。4.1.22 先利用聚焦的功能，建立一次聚焦的

5、参数。方法同4.1.1420，生产2条程序代码“5,6”4.1.23 再利用“”图形记忆，记忆一次该图形，方法同4.1.213，生产2条程序代码“7,8”4.1.24 选择“”取第一个点，要求此处的“”调节为 “0” 或者“90”或者“180”或者“270”。要求绿色的线条放于白色的图形内，红色的线条放外部。4.1.25 点击鼠标右键，点击弹出窗口中的确定。新生成1条程序代码。4.1.26 X轴坐标的第1个基准点建立完毕。4.2 找到第2列的第1点的相同位置的坐标4.2.1 移动操作杆到第2列的第1颗基板4.2.2 后续操作和4.1相同，生产程序代码1014。4.3 建立坐标轴4.3.1 点击

6、“”，选择两个基准点4.3.2 点击确定，生成1条程序代码，4.4 坐标轴建立完毕。4.5 再建立一条直线。点击“”，选择两个点。4.6 直线建立完毕。5. 根据图纸的设计要求，找到基板上的2个测量点，5.1 先找基板上的第一个点：。5.1.1 方法与前面相同，先建好1720共4条程序代码5.1.2 点击“”，将十字架的中心移动到图纸设计的位置。5.1.3 点击鼠标右键，再点击输入，在弹出的对话框中再点击确定。5.1.4 生成1条手动测量的代码。5.2 再找基板上的第2个点：。方法同5.1。5.3 取两个点的中点。5.3.1 点击“”，取两个点的中点。6. 根据图纸的设计要求，找到die上的3

7、个测量点。6.1 第1个测量点：6.26.3 第2个测量点：6.4 第3个测量点：6.5 取芯片的中点：7. 测量芯片中点与基板中点的距离，就是要测试的XY值。点击“”，选中2个中点，生成一条程序代码“”8. 此时需要将第7个步骤中的测试数据导入到excel中8.1 点击如下8.2 选中第44条程序代码，备注填入X，数据选中“”，和“”。8.3 弹出的窗口中按照如下填写，表示X数值输出到excel中的第2行第1列。8.4 点击确定后，生成1条代码X的数值输出完成现在要输出Y的数值，方法相同，只需要更改一下行列数。X Y的数值计算完成之后，就需要计算角度角度的计算就需要利用基板的直线与芯片的直线来计算基板的直线：直接利用已经建立好的第16条代码芯片的直线：利用芯片上的2点，第37和42条代码拉一条直线再找两条直线的交点，再输出交点的角度即可。9. 点击“”运行，选中 ，再弹出的