美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪资料

1、美国NANOVEA 公司的三维非接触式表面形貌仪一、 产品简介美国NANOVEA 公司是一家全球公认的在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的领导者，生产的三维非接触式表面形貌仪是目前国际上用在科学研究和工业领域最先进表面轮廓测量设备，采用目前国际最前端的白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。二、产品分类该公司的三维非接触式表面形貌仪主要有4款：JR25、PS50、ST400与HS1000（区别见技术参数）：JR25便携式三维表面轮廓仪：野外操作或不可拆卸部件的理想选择

2、·便携式表面形貌仪 ·结构紧凑，性价比高·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广·测量范围：25mm×25mmPS50表面轮廓仪：科研单位与资金不足企业的最佳选择·性价比高 ·结构紧凑·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广 ·测量范围：50mm×50mmST400表面轮廓仪：·应用范围广·适合大样品的测试·测量范围：150mm×150mm·360O 旋转工作台·带彩色摄像机（测量前可自动识别特征区域）HS1

3、000表面轮廓仪：·适用于高速超快自动测量场合·超高的扫描速度（可达1m/s，数据采集频率可达31KHz，最高可达 324KHz）·能保证超高平整度和稳定性（花岗石平台） 三、测量原理简介：Nanovea 公司的三维非接触式表面形貌测量仪采用的是国际最前端的白光轴向色差技术技术实现先进的高分辨率的三维图像扫描与表面形貌测量。 利用白光点光源，光线经过透镜后产生色差，不同波长的光分开后入射到被测样品上。 位于白光光源的对称位置上的超灵敏探测器系统用来接收经被测样品漫反射后的光。 根据准共聚焦原理，探测器系统只能接收到被测物体上单点反射回来的特定波长的光，从而得到这个

4、点距离透镜的垂直距离。 这个点为点光源与传感器所在的直线的中垂线与样品的交点。 再通过点扫描的方式以S 路径获得物体的三维表面形貌特征。 最后将采集的数据交给专业的三维处理软件进行各种表面参数的分析。 软件能够自动获取用户关心的表面形貌参数。四、 产品技术优势1采用国际最前端的白光轴向色像差技术，可获得最小2nm 的分辨率2测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高3测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿；4适合测量高坡度高曲折度的材料表面（最高坡度为86o ,接近垂直）5不受样品

5、反射率的影响6不受环境光的影响7测量简单，样品无需特殊处理8Z方向最大测量范围为24mm9、测量速度快，最高可达1m/s10、测量样品的范围大，可一次600mm*600mm范围内样品的表面形貌五、仪器功能：三维表面形貌测试系统主要用于自动测量样品的二维、三维表面形貌、表面粗糙度、关键尺寸（包括高度、孔洞深度、长度等）、关键部位的面积和体积等表面参数。六、测试软件：NANOVEA 软件包含两个软件：NANOVEA 3D数据采集软件与专业的3D 分析软件。6.1 3D 数据采集软件功能：1、 可采集每一个测量点的XYZ 三维坐标；2、 线扫描与面扫描两种模式可供选择；3、 可设置测量范围、测量步长

6、、扫描速度等参数；4、 实时显示测量所需时间；5、 实时显示样品的2D 图像与3D 图像6、 具有精确定位功能，可以从已经扫描的区域中重新精确扫描任意特定区域。6.2 专业3D 分析软件功能：1、 创建2D，3D图像；2、 自动得到样品的线粗糙度参数（Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku），面粗糙度（Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku），平整度，波纹度等参数；3、 自动校准功能，例如粗糙度，一般情况下对于曲面样品，首先展平，然后自动给出粗糙度的参数；4、 关键尺寸分析：磨损的深度，空洞的半径，磨损面积，磨损体积等参数；5、 利用计算机远程控制；6、 具有光谱、分形

7、与自相关功能；7、 多种格式的图像与数据输出。七、 技术参数1. 工作台技术参数： 参数X-Y 轴自动移动范围 Z 轴自动移动范围 X-Y 轴向分辨率ST400 150mm 60mm 0.1mPS50 50mm 30mm 0.1m 10mm/sJR25 25 x 25mm 30mm 0.1um 7mm/sHS1000 400 x 600mm50mm 0.005um 1m/sX-Y 方向最大扫描速度 20mm/s备注：其中ST400光学轮廓仪的工作台可进行扩展，扩展后，该仪器的XY 方向的测量范围为200mm*200mm，300mm*300mm，400mm*400mm，500mm*500mm，6

8、00mm*600mm等。 2光学测量探头技术参数：Z 垂直测量范围：最大达24mm，最小为2nm（由选择的光学探头确定）3.原子力显微镜测量模块：由于三维接触式表面形貌仪的横向分辨率最小只能达1µm,如果要想得到横方向在1µm 以内的三维表面形貌就必须加上原子力显微镜AFM 模块，NANOVEA 公司开发了ST400三维表面形貌仪上加载原子力显微镜的整套系统，这样，就解决了三维表面形貌仪横向分辨率低的缺点，加载AFM 模块的三维表面形貌仪ST400具有了目前世界上最强大的三维表面形貌测量功能，可以解决从纳米级到微米量级的高精度三维表面形貌探测，AFM 具体指标如下：/ X方

9、向的扫描范围：110µm； / Y方向的扫描范围：110µm； / Z方向的扫描范围：22µm； / XY方向的扫描分辨率：0.15nm / XY方向的扫描分辨率：0.027nm八、产品应用随着微纳米技术与精密加工技术的发展，对物体的表面参数的测量越来越重要，传统的光学显微镜技术与扫描电镜技术已经不能满足工业开发对样品进行大范围、高精度、高速度、定量测量的需要，三维非接触式表面形貌仪由于其独特的性能，可以解决这些传统技术对三维表面形貌测量限制，越来越多的行业开始使用三维非接触式表面形貌仪来进行产品的质量控制与研发，三维表面形貌仪已经成为研究材料表面特性不可缺少的工

10、具之一。 目前主要的应用方向有：九，测试实例：1、 水泥表面形貌测试：水泥经过酸化腐蚀后在样品的表面形貌三维表面形貌图 粗糙度测试结果2、 砂纸表面形貌测试： 砂纸的二维形貌图与面粗糙度测试结果砂纸的三维表面形貌3.钢球样品：对钢球进行摩擦磨损后，表面有一个磨损的孔洞。 钢球磨损的二维表面图像，不同的颜色代表不同的高度 钢球磨损的三维表面图像，不同的颜色代表不同的高度 4.沟槽沟道测试： 5.金属腐蚀样品：样品经过腐蚀后，表面高低不平 金属腐蚀的三维表面形貌 腐蚀深度的测试结果 选定曲线的等高线图 选定曲线的线粗糙度测试结果十、公司简介（1）美国NANOVEA公司美国NANOVEA公司是一家全

11、球公认的三维表面形貌测试技术的领导者，生产的三维表面形貌仪测试系统是目前国际上用在科学研究和工业领域最先进设备之一，该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面，拥有长期不断发展的专利技术，由于这些专门技术的应用，NANOVEA为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的全方位解决方案。NANOVEA公司原是美国Micro Photonics集团旗下的子公司，2004年开始正式成立NANOVEA品牌，NANOVEA在三维表面形貌测试方面已有17年的专业经验，客户遍及世界各地，其中包含许多世界知名企业，公司的理念是“Todays standard for tomorrows materials”。

12、NANOVEA的专业技术人员能快速和高效的响应世界各地的用户要求，作为一个顶尖的制造和供应商，NANOVEA优先考虑的用户需求。 （2）环球（香港）科技有限公司环球（香港）科技有限公司是一家著名的高科技仪器、设备供应商，始终致力于为国内各行业的用户提供实验室仪器和工业设备的服务。公司创建于1991年，总部设在香港。历经十多年的发展与壮大，公司成为众多世界知名仪器制造商在中国大陆和香港地区的独家代理，在石油化工、材料测试、生命科学、制药、食品、激光和磨料磨具等多种领域拥有大量客户。与其它仪器和设备的供应商相比，产品的多样化加上环球科技专业的销售和技术服务，奠定了我们在业界坚实的领导地位。我们在中

13、国已拥有北京、上海、广州和成都四个办事处，如此广泛的市场覆盖面使得我们能够迅速获得市场的信息，对客户的需求做出及时的反应。我们在香港的总部设有物流管理中心，为所有客户提高进口和交货的效率。公司目前拥有员 工近200多位，其中技术服务人员占公司总人数的40%。为用户提供完善的服务 一贯是环球（香港）科技有限公司的宗旨，迄今为止，没有任何用户对环球（香 港）科技有限公司的售后服务提出质疑。 十一、全球部分知名客户： Applied Materials Benet Labs Conoco Phillips Deloro Satellite Inc. General Motors Fuel Cell

14、Goodrich Corp. Greatbach Hydro-Quebec Intel Corp Johnstech International Kester Kocaeli University Lawrence Livermore National Labs Lilliputian Los Alamos National Labs NASA - Jet Propulsion Lab Rensselaer Polytechnic Institute Rohm & Haas Saint Gobain Southern Illinois University Spectrolab Sub-One Technology Textron Timken Sabana University, Turkey Universidad Federal de Minas Gerais Univer