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文档简介

1、溅射薄膜压力传感器溅射薄膜压力芯体溅射薄膜压力芯体利用离子束溅射薄膜技术结合先进的微电子工艺技术制造而成的不锈钢弹性膜片。离子束溅射在合金材料上，在膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变电阻，膜片变形使电阻的几何尺寸和阻值发生改变，电桥输出相应电信号。薄膜应变电阻与弹性体“融”为一体，组成全金属型敏感元件，无任何粘贴剂和紧固件，可长期在-40125工作温度下稳定工作。溅射薄膜压力芯体（合金薄膜压力传感器PPM-216A）具有准确度高，工作温度范围宽，温漂小，高稳定，高可靠，抗振动，抗冲击，抗辐射的工作特性。溅射薄膜压力芯体因使用微束脉冲亚弧焊和激光焊，具有防水、防潮功能，在各种恶劣的环境下能

2、长期稳定的工作。溅射薄膜压力芯体广泛应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控和测量行业。主要技术参数：ü 被测介质：气体，液体及蒸气；ü 压力类型：表压、绝压、差压可选；ü 量程：0120Mpa间任意可选；ü 供电电源：515VDC；ü 输出：1.21.8mv/V；ü 综合精度：±0.1%FS、±0.2%FS、±0.5%FS；ü 非线性：0.060.1%FS；ü 迟滞：0.020.05%FS；ü 重复性

3、：0.030.06%FS；ü 零点温漂：±0.01%FS/；ü 灵敏度温漂：±0.02%FS/；ü 输出阻抗：1.53K；ü 绝缘电阻：1000M/100VDC；ü 工作温度：4085125150可选；ü 过载能力：150%FS；ü 电气连接：高温引出线；ü 压力连接：M10×1双“O”圈密封或用户指定；ü 接液材料：膜片：17-4PH过程连接件1Cr18Ni9Ti；ü 相对湿度：095%RH；ü 密封等级：IP65。溅射式压力传感器采用耐腐蚀不锈钢制作成弹性体钢杯，将压力转换为应变。利用离子束溅射技术在弹性膜片上分别淀积多层薄膜，采用干法刻蚀技术将NiCr膜刻蚀成电阻桥。流体压力P1 （P2为大气或真空）作用在弹性膜片上使膜片产生变形 ,电阻产生相应的变化, 电桥输出与压力成比例的电信号。主要技术特点ü 薄膜技术代替粘贴传感器中的粘贴工艺, 消除了胶的影响，无蠕变、不老化。ü 耐蚀不锈钢与被测量介质直接接触，无须灌充油隔离。ü 弹性体和应变电阻材料都是

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