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文档简介
1、 剥离基板 放电引起的pattern破坏 现场中的不快感 环境方面的对策 应用湿度达到65%以上几乎就不发生静电的物理现象,采取控制周围环境的湿度的方式。这其实是控制环境本身, 所以装置或设备体积就会变大。.除电器的使用方法 -1 除电brush ,ribbon方面的除电(自我放电式)除电brush, ribbon 直接接触在earth,是利用对方的静电能量来 除电。因为不需要电源,设置也简单,是容易采取的对策。 除电 brush,ribbon的构造除电brush,ribbon的除电原理除电brush, ribbon的优点,缺点 除电brush, ribbon是即便宜又容易导入的除电器,但从原
2、理上除电能力受带电物的电位的影响,所以只有对带电量大的物体才会有效果。 具体说的话, 带电量数十kV 的物体只能除去到数kV程度。 不能混入异物的工程上不能使用。这是因为这种维持有可能会中断。 静电 诱导是? 把导体放到带电物体周边时,导体内部的电子就会移动,导致带电量相反面的极性跟带电物的极性会相反,这种现象叫“静电诱导”。 corona 放电是? 是 像针的终端似的在物体的终端部分加高电压时,发生的 现象,指的往地面放电的现象。 近距离用是用于 100mm以内,中,长距离用是由于 300mm以上。 在100mm 300mm范围内是根据特征的重要项目为基准来选择。 采用I.C.C.制御,达到
3、以下两种情况变为了可能 。 高速除电高速除电 稳定的离子稳定的离子 balancebalance( (离子离子 balancebalance的自动制御的自动制御) ) 带电量的 基准为 绿色绿色 1kV 1kV以内以内 一个一个 黄色黄色 3kV 3kV以内以内 两个黄色两个黄色 5kV 5kV以内以内 朱黄色朱黄色 10kV10kV以内以内 紅色紅色 30kV30kV以内以内(但, 随着与对象物的距离和对象物的大小会变化,只要把它把他当基准就好。) 现存 除电器的 情况 若是一般除电器, 如右图 在电极针上施加高电压,在电极针前端引发corona放电,而产生离子 。 这个离子的产生量根据施加
4、的电压和周围环境(主要 湿度)变化而变化。 随之,像右图一样是单纯的构造时,就算施加了一定量的电压,因为周围环境的变化,也会导致所产生的离子量的变化,所以想维持离子 balance是比较困难的。 如右图,在电极针上加-高电压时,根据 corona放电 会 产生 离子。 由于电子离子(电荷)的移动就是电流 ,运用 电流连续的法则,产生的相当与 离子的 电荷从高压电流 向earth。测这时的电流值,使施加 - 高电压时的电流值维持一致,通过制御施加高 压电的时间来保证产生的离子量 +, -一致, 也就是制御离 子balance使之维持 0V。 这就是离子 balance的mechanism. 电流
5、连续的法则 只看一个点的时候,流入这个点的电流总合与 流出的电流总合会相等这就是其法则。在电极针上施加 高电压时 对象物带 +时如右图 在电极针上 加上 高电压时,-离子周围也会产生电场,与对象物的电场会变为一致。 (每个电子力线都向同一个方向,所以电场就会增强)因此,一定电压,一定时间内的离子产生量跟没有带电物的情况比产生量多。总之,无带电物和有带电物时,在earth流的 电流值会不同。 如右图在电极针上施加 +高电压时会产生+离子 ,但在自己周围也会产生电场跟一致的对象物的电场成伴发关系。(每个 电子力线方向相对立,所以电场会变弱 ) 因此,一定电压,一定时间内的离子产生量跟 没有带电物的情况比产生量少。 总之,无带电物和有带电物时,在earth流的 电流值会不同。 SJ系列的 前面有 带+的对象物时,若施加-高电压时的earth电流会增加,施加+高电压时的earth电流会减少 。 从这时的电流值和,可
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